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產(chǎn)品名稱：
LTM-250激光位移300mm量程300um線性精度，10um重復精度，50Khz響應速度

上市日期： 2025-03-24

Detail

細節(jié)展示

>LTM2-250W產(chǎn)品參數(shù)--下載

>LTM2-250產(chǎn)品參數(shù)--下載

>LTM系列激光位移傳感器產(chǎn)品手冊--下載

核心系列差異

特性	LTM2系列	LTM3系列	LTM5系列
采樣速度	5kHz	10kHz	以太網(wǎng)31.25kHz 模擬量50kHz
軟件支持	不支持電腦連接	支持TSLaserStudio軟件及數(shù)據(jù)保存	支持TSLaserStudio軟件及數(shù)據(jù)保存
接口類型	RS485/模擬信號（二選一）	以太網(wǎng)+RS485+模擬信號	以太網(wǎng)+RS485+模擬信號

詳細參數(shù)對比（250mm量程型號）

型號	測量范圍	光斑尺寸	重復精度	線性誤差	重量	采樣頻率	核心功能
LTM2-250	250±150mm	Φ180μm	10μm	<±450μm	230g	5kHz	經(jīng)濟型，獨立工作
LTM2-250W	250±150mm	Φ180*2600μm	10μm	<±300μm	230g	5kHz	寬光斑優(yōu)化，更高精度
LTM3-250	250±150mm	Φ180μm	10μm	<±450μm	150g	10kHz	中速采樣，支持軟件調試
LTM3-250W	250±150mm	Φ180*2600μm	10μm	<±300μm	150g	10kHz	寬光斑+軟件調試
LTM5-250	250±150mm	Φ180μm	10μm	<±450μm	150g	50kHz（模擬量）	超高速采樣，數(shù)據(jù)存儲
LTM5-250W	250±150mm	Φ180*2600μm	10μm	<±300μm	150g	50kHz（模擬量）	高速+寬光斑優(yōu)化

產(chǎn)品亮點

LTM2系列：

經(jīng)濟實用：無需控制器，獨立工作，適合大范圍基礎測量（如大型機械臂位置監(jiān)測）。
寬光斑型號（W型）：光斑擴展至2600μm，提升對粗糙或高反光表面的適應性（線性誤差優(yōu)化至**<±300μm**）。

LTM3系列：

中速采樣+軟件支持：10kHz采樣頻率，搭配以太網(wǎng)接口，可連接電腦實時調試和數(shù)據(jù)記錄。
寬光斑優(yōu)化（W型）：適配不規(guī)則表面（如鑄造件、焊接面），減少噪點干擾。

LTM5系列：

超高速動態(tài)測量：模擬量輸出下可達50kHz，適用于高速場景（如飛行物體軌跡追蹤）。
數(shù)據(jù)存儲與開發(fā)：支持TSLaserStudio軟件保存歷史數(shù)據(jù)，并提供C++/C#開發(fā)包，便于系統(tǒng)集成。

共同優(yōu)勢

工業(yè)級防護：IP67防護等級，耐粉塵、油污及潮濕環(huán)境，適應嚴苛工業(yè)場景。
多接口兼容：支持RS485、模擬量（±10V/4-20mA），M3/M5額外配備以太網(wǎng)，適配復雜工業(yè)網(wǎng)絡。
低功耗穩(wěn)定運行：9-36V寬電壓輸入，功耗僅2.0W，支持長期連續(xù)工作。
人機交互便捷：數(shù)字屏顯+物理按鍵，實時顯示測量值，支持閾值報警設置。

選型建議

基礎大范圍測量：選擇LTM2系列（如LTM2-250W），成本低且寬光斑適配性強。
中端調試需求：LTM3系列（如LTM3-250W）兼顧速度與軟件功能，適合產(chǎn)線質檢或表面檢測。
高端動態(tài)監(jiān)測：LTM5系列（如LTM5-250W）50kHz超高速采樣，適配高速自動化產(chǎn)線或科研實驗。

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1nm重復精度的白光干涉測厚儀LTS系列，可測厚度范圍1-100um

發(fā)布時間: 2023 - 12 - 09

10kHz的超快采樣速度LTS采用了高亮度的彩色光源、高效率的光學鏡組和高靈敏度的電子器件，能夠實現(xiàn)行業(yè)領先的采樣速度，從而幫助客戶提高測量效率和加快產(chǎn)線的節(jié)拍。+20nm的超高線性精度獨立設計的高空間分辨率的白光干涉光學探頭，能夠帶來極為出色的線性特性。基于干涉原理的測厚探頭，無原理層面引入的非線性因素，只需要考慮光譜分析過程中的非線性誤差。1nm的超高重復精度采用高靈敏度、高信噪比的元器件，同時在探頭中實現(xiàn)內部信號數(shù)字化，大大減小了噪聲干擾。同時基于干涉的測厚方式能夠大大提高傳感器對外部擾動的抑制能力。

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帶可見紅色指引光的5Mhz高頻激光測振傳感器

發(fā)布時間: 2021 - 09 - 06

基于調頻連續(xù)波（FMCW）的相干接收原理，高精度的測距。實現(xiàn)微米級的遠距準確測距。通過集成光學原理實現(xiàn)超高精度的測量硅基光電集成技術，一體化的光學封裝技術，實現(xiàn)半導體激光器和探測器集成統(tǒng)一光學傳感模組。非凡的抗干擾性和穩(wěn)定性不受材質顏色、環(huán)境光等干擾同軸測量無死角輕量、便攜無需控制器、放大器等，只一個傳感器即可測量。數(shù)字化可與多個開放式現(xiàn)場網(wǎng)絡兼容。檢測不受限通過物體的表面反射或遮光量進行檢測，可檢測大多數(shù)物體（玻璃、金屬、塑料、木料及液體等）。長距離高功率傳感器，輕松進行長距離檢測。非接觸采用激光非接觸測量方法，對被測設備無任何影響且不會產(chǎn)生接觸劃痕。壽命較長，無需進行維護。同軸回光支持狹小空間間隙檢測。高精度小光斑可精確檢測小微型物體。穩(wěn)定檢測根據(jù)工件設置最優(yōu)的激光發(fā)射功率以及增益。

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光譜共焦位移傳感器/同軸光位移傳感器LT-C系列可替代基恩士CL-3000系列

發(fā)布時間: 2021 - 08 - 12

泓川科技LTC全系列光譜共焦傳感器，量程橫跨±0.05mm至±25mm，0.02%FS線性精度+30kHz超高速采樣，支持Φ1.7μmΦ400μm三級光斑配置。深孔內壁（LTCR側向出光）、透明多層測厚（LTC7000S）、超高溫場景（200°C定制）全覆蓋，適配21kHz高速控制器（LT-CCH）及16通道同步系統(tǒng)。專為半導體晶圓、新能源極片、航空航天精密件、醫(yī)療植入物等高端制造領域提供國產(chǎn)高性價比替代方案，重新定義工業(yè)檢測新標準！

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高速高精度激光位移傳感器LTP系列可替代keyence基恩士LK-G系列

發(fā)布時間: 2021 - 04 - 20

高韌性線纜，配備至機器人時也可放心使用。完全符合 IP67 標準的連接器，在潮濕或粉塵較多的現(xiàn)場環(huán)境中也可放心使用，傳感頭也完全符合 IP67 標準。光量自動調節(jié)功能，有效提高光亮調整的靈敏度，自動根據(jù)不同被測物的反光度調節(jié)激光亮度范圍。定制物鏡可將不規(guī)則的光束消除，同時將畸變的影響降至最低，大幅提高測量系統(tǒng)的線性精度。

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關于泓川科技

專業(yè)從事激光位移傳感器，激光焊縫跟蹤系統(tǒng)研發(fā)及銷售的科技公司

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激光測距傳感器的功能，你了解多少呢？

2022 - 12 - 03

激光測距傳感器的功能，你了解多少呢？大家好，我是無錫宏川傳感學堂的李同學。激光測距傳感器的功能可分為距離測量和窗口測量。其中距離測量在測距應用中傳感器可以隨時投入使用。直接給出與物體之間的距離。測量值可用于系統(tǒng)控制或者物體的精準定位。此外還可以選擇對數(shù)字量模擬，量輸出進行調整。如果需要檢測尺寸較小的物體。可直接進行窗口測量。通過對參照物進行自學習，傳感器可直接測得與標稱尺寸的偏差。在這種情況下，數(shù)字量輸出也可以進行相應的參數(shù)進行。除了傳感器的尺寸和測量范圍。光斑的形狀也尤其重要，點擊光代表精準聚焦。能精確測量小尺寸的物體。線激光能可靠測量粗糙度比較大的表面積。帶紋理的彩色表面。在光澤不均勻或極其粗糙的表面上也能進行穩(wěn)定的測量。
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新品牌發(fā)布："新吳科之匠，泓川科創(chuàng)新力場。高精度傳感技術，探索未知，領航未來。"

2023 - 10 - 01

'新吳科之匠'，泓川科技有限公司全新打造的傳感器新標桿，我們凝聚高端技術力量，專注于高精度、高性能的激光位移傳感器LTP系列，光譜共焦傳感器LTC系列，白光干涉測厚傳感器，線光譜共焦傳感器，以及3D結構光和3D線激光。強大的研發(fā)能力和對細節(jié)無窮追求，讓我們的產(chǎn)品在每個細微處都彰顯出卓越品質。'新吳科之匠'不僅寓意著尖端科技的集中體現(xiàn)，更代表著對品質的極致追求。我們相信，只有最好，才能過硬。
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泓川科技國產(chǎn)激光位移傳感器HC16-15與進口Micro-Epsilon米銥ILD1420-10技術對比及國產(chǎn)替代可行性研究

2025 - 04 - 02

以下為HC16-15國產(chǎn)激光位移傳感器與進口ILD1420-10的對比分析報告，重點圍繞技術參數(shù)、性能指標及國產(chǎn)替代可行性展開：一、核心參數(shù)對比指標HC16-15（泓川科技）ILD1420-10（Micro-Epsilon）測量范圍±5mm（總10mm）10mm（SMR 20mm至EMR 30mm）線性度±0.1% F.S.±0.08% F.S.重復精度1μm0.5μm采樣頻率3000Hz（最高）4000Hz（最高）光源波長655nm（可見紅光）670nm（可見紅光）輸出接口RS485（Modbus RTU）、0-10V/4-20mARS422、4-20mA/1-5V工作溫度-10°C ~ +50°C0°C ~ +50°C防護等級IP67IP65尺寸（mm）44×31×18約47.5×14（主體）重量70g（含線纜）60g（含線纜）激光安全等級Class 2Class 2（ILD1420）/ Class 1（CL1版本）二、性能深度分析1. 精度與穩(wěn)定性HC16-15：線性度±0.1% F.S.（優(yōu)于多數(shù)國產(chǎn)傳感器），1μm重復精度滿足工業(yè)級需求，溫度特性0.05% F.S/°C，適合寬溫環(huán)境。ILD1420-10：線性度±0.08% F.S....
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如何利用光譜共焦傳感器來檢測薄膜生產(chǎn)中的薄厚偏差？

2023 - 09 - 25

在高精度的生產(chǎn)工序中，薄膜偏差是一項極為重要的控制指標。由于微觀材料結構的敏感性，稍有偏差就可能會導致產(chǎn)品的細微變形，從而引發(fā)性能下降、使用壽命縮短等一系列問題。因此，對薄膜偏差的精確檢測與實時調控具有至關重要的意義。對于這樣的需求，光譜共焦位移傳感器便能發(fā)揮出它重要的作用。通過實現(xiàn)對薄膜厚度的非接觸式實時監(jiān)視，它可以有效地預防或及時地調整可能發(fā)生的偏差，提高生產(chǎn)過程中的精準度和穩(wěn)定性。原理上，光譜共焦位移傳感器利用光源通過物體后的干涉進行測量，借助高精度的光學系統(tǒng)和高靈敏的光電檢測設備，最終得出偏差情況。另一方面，光譜共焦位移傳感器具有小型化的優(yōu)勢。它采用集成設計，尺寸小巧，可以安裝在設備內的有限空間中，且不會影響主機性能。這大大擴展了其使用場景，讓即使是較為狹小的環(huán)境也能實現(xiàn)精確的監(jiān)控?？偨Y來說，光譜共焦位移傳感器代表著未來高精密度生產(chǎn)領域的主流趨。其不僅具備高精度、快反應、難以受到環(huán)境干擾等優(yōu)點，還由于其小型化、適用于狹窄環(huán)境等特性，使其逐漸被更多的高科技領域所接受和采納。
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激光三角測量法是如何實現(xiàn)對透明物體測量的？折射率校正在這個過程中起到了什么作用？

2024 - 03 - 05

激光三角測量法：精確測量透明物體的科技新突破在精密測量領域，激光三角測量法已成為一種非常重要的技術手段。這種測量方法尤其適用于透明物體的測量，因為它可以有效地解決透明物體測量中的諸多難題。本文將詳細介紹激光三角測量法的原理、步驟，以及折射率校正在此過程中所起到的關鍵作用。一、激光三角測量法的原理激光三角測量法是一種基于光學三角測量原理的非接觸式測量方法。其基本原理是：半導體激光器發(fā)出的激光束照射在目標物體上，接收器透鏡聚集目標物體反射的光線并聚焦到感光元件上。當目標物體與測量設備之間的距離發(fā)生改變時，通過接收器透鏡的反射光的位置也會相應改變，光線聚焦在感光元件上的部分也會有所不同。通過精確測量這些變化，就可以得出目標物體的位移、形狀等參數(shù)。二、激光三角測量法的步驟設定參照距離：首先，需要設定一個參照距離，即在此距離下，激光束與感光元件之間的位置關系已知且穩(wěn)定。照射激光：然后，通過半導體激光器發(fā)出激光束，照射在待測的透明物體上。接收反射光：接收器透鏡會聚集從透明物體反射回來的光線，并將其聚焦到感光元件上。分析數(shù)據(jù)：當透明物體移動或形狀發(fā)生變化時，反射光在感光元件上的位置也會發(fā)生變化。通過精確分析這些變化，就可以得出透明物體的位移、形狀等參數(shù)。三、折射率校正的作用在測量透明物體時，一個關鍵的問題是需要考慮光的折射現(xiàn)象。由于透明物體的折射率與空氣不同，光線在從空氣進入透明物體時會發(fā)生折射...
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關于德國米銥（Micro-Epsilon）optoNCDT 1420 系列激光位移傳感器的深度研究報告

2025 - 04 - 02

一、引言1.1 研究背景與意義在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)與精密測量領域，對高精度、高可靠性位移測量技術的需求與日俱增。激光位移傳感器憑借其非接觸測量、高精度、高響應速度以及抗干擾能力強等顯著優(yōu)勢，已成為實現(xiàn)自動化生產(chǎn)、質量控制與精密檢測的關鍵技術手段，廣泛應用于汽車制造、電子生產(chǎn)、機械加工、航空航天等眾多行業(yè)。optoNCDT 1420 系列激光位移傳感器作為德國米銥（Micro-Epsilon）公司推出的微型化、高精度位移測量解決方案，在尺寸、性能與功能集成等方面展現(xiàn)出獨特的優(yōu)勢。其緊湊的設計使其能夠輕松集成到空間受限的設備與系統(tǒng)中，滿足了現(xiàn)代工業(yè)對設備小型化、集成化的發(fā)展需求；同時，該系列傳感器具備出色的測量精度與穩(wěn)定性，可實現(xiàn)對微小位移變化的精確檢測，為精密測量與控制提供了可靠的數(shù)據(jù)支持。深入研究 optoNCDT 1420 系列激光位移傳感器的技術原理、性能特點及應用場景，對于推動激光位移測量技術的發(fā)展，拓展其在各行業(yè)的應用范圍，提升工業(yè)生產(chǎn)的自動化水平與產(chǎn)品質量具有重要的理論與實際意義。通過對該系列傳感器的全面剖析，能夠為相關領域的工程師、技術人員提供有價值的參考依據(jù)，幫助他們更好地選擇與應用激光位移傳感器，解決實際工程中的測量難題。1.2 研究目標與范圍本研究旨在全面深入地探究 optoNCDT 1420 系列激光位移傳感器，具體目標包括：詳細闡述該傳感器的工作原理，深入分析其技術...
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激光測量技術在（ADAS）駕駛輔助系統(tǒng)的應用案例（二）

2025 - 01 - 16

四、彩色激光同軸位移計應用實例洞察4.1 鏡面相關測量4.1.1 鏡面的傾斜及運動檢測在眾多光學設備以及對鏡面精度要求極高的工業(yè)場景中，準確檢測鏡面的傾斜及運動狀態(tài)是確保設備正常運行和產(chǎn)品質量的關鍵環(huán)節(jié)。彩色激光同軸位移計 CL 系列在這一領域展現(xiàn)出了卓越的性能。該系列位移計主要基于同軸測量原理，其獨特之處在于采用了彩色共焦方式。在工作時，設備發(fā)射出特定的光束，這些光束垂直照射到鏡面上。由于鏡面具有良好的反射特性，光束會被垂直反射回來。CL 系列位移計通過精確分析反射光的波長、強度以及相位等信息，能夠精準計算出鏡面的傾斜角度以及運動的位移變化。在實際應用場景中，以高端投影儀的鏡頭鏡面檢測為例。投影儀鏡頭鏡面的微小傾斜或運動偏差都可能導致投影畫面出現(xiàn)變形、模糊等問題，嚴重影響投影效果。使用 CL 系列彩色激光同軸位移計，在投影儀生產(chǎn)線上，對每一個鏡頭鏡面進行實時檢測。當鏡面發(fā)生傾斜時，位移計能夠迅速捕捉到反射光的變化，并通過內置的算法立即計算出傾斜角度。一旦檢測到傾斜角度超出預設的標準范圍，系統(tǒng)會及時發(fā)出警報，提示操作人員進行調整。對于鏡頭鏡面在使用過程中的微小運動，該位移計同樣能夠敏銳感知，并將運動數(shù)據(jù)精確反饋給控制系統(tǒng)，以便對投影畫面進行實時校正，確保投影質量始終保持在最佳狀態(tài)。 4.1.2 MEMS 鏡傾斜檢測在微機電系統(tǒng)（MEMS）領域，MEMS 鏡作為核心部件，其...
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泓川科技 LTC 光譜共焦傳感器：全系列 200℃耐高溫定制，突破高溫測量精度瓶頸

2025 - 04 - 08

在高溫工業(yè)環(huán)境中，精密測量設備的穩(wěn)定性與精度始終是行業(yè)難題。傳統(tǒng)傳感器在高溫下易出現(xiàn)信號漂移、材料老化等問題，導致測量數(shù)據(jù)失真，甚至設備故障。作為工業(yè)測量領域的創(chuàng)新者，泓川科技推出的 LTC 光譜共焦傳感器系列，突破性實現(xiàn)全型號 200℃耐高溫定制，以 “精度不妥協(xié)、性能無衰減” 的核心優(yōu)勢，為高溫場景測量樹立新標桿，成為替代基恩士等進口品牌高溫版本的理想之選。一、全系列耐高溫定制：200℃環(huán)境下精度如初，打破行業(yè)局限區(qū)別于市場上僅部分型號支持高溫的傳感器，泓川科技 LTC 系列全系產(chǎn)品均可定制 200℃耐高溫版本，涵蓋 LTC100B、LTC400、LTC2000、LTCR 系列等數(shù)十款型號，滿足從微米級精密測量到超大范圍檢測的多樣化需求。通過材料升級與結構優(yōu)化：核心部件耐高溫設計：采用航空級耐高溫光學元件及特殊封裝工藝，確保光源發(fā)射、光譜接收模塊在 200℃長期運行下無熱漂移，重復精度保持 3nm-850nm（依型號），線性誤差≤±0.03μm 起，與常溫環(huán)境一致。耐高溫光纖傳輸：標配專用耐高溫光纖，可承受 200℃持續(xù)高溫，抗彎曲性能提升 30%，有效避免傳統(tǒng)光纖在高溫下的信號衰減與斷裂風險，保障長距離測量信號穩(wěn)定。相較基恩士等品牌僅部分型號支持高溫（通常最高 150℃且精度下降 10%-20%），泓川 LTC 系列實現(xiàn)溫度范圍、型號覆蓋、精度保持三大突破，成為高溫...

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藍光光源激光位移傳感器：優(yōu)勢、原理與特殊場景解決方案 —— 泓川科技 LTP 系列 405nm 定制... 2025 - 10 - 21 在工業(yè)精密測量中，傳統(tǒng)紅光激光位移傳感器常受高反射、半透明、高溫紅熱等特殊場景限制，而藍光光源（405nm 波長）憑借獨特物理特性實現(xiàn)突破。以下通過 “一問一答” 形式，詳解藍光傳感器的優(yōu)勢、原理構造，并結合泓川科技 LTP 系列定制方案，看其如何解決特殊環(huán)境測量難題。1. 藍光光源激光位移傳感器相比傳統(tǒng)紅光，核心優(yōu)勢是什么？藍光傳感器的核心優(yōu)勢源于 405nm 波長的物理特性，相比傳統(tǒng) 655nm 左右的紅光，主要體現(xiàn)在三方面：更高橫向分辨率：根據(jù)瑞利判據(jù)，光學分辨率與波長成反比。藍光波長僅為紅光的 62%（405nm/655nm≈0.62），相同光學系統(tǒng)下橫向分辨率可提升約 38%，能形成更小光斑（如泓川 LTP025 藍光版光斑最小達 Φ18μm），適配芯片針腳、晶圓等微米級結構測量。更強信號穩(wěn)定性：藍光單光子能量達 3.06eV，遠高于紅光的 2.05eV。在低反射率材料（如橡膠、有機涂層）表面，能激發(fā)出更強散射信號；同時穿透性更低，僅在材料表層作用，避免內部折射干擾，適合表面精準測量。更優(yōu)抗干擾能力：藍光波段與紅熱輻射（500nm 以上）、戶外強光（可見光為主）重疊度低，搭配專用濾光片后，可有效隔絕高溫物體自發(fā)光、陽光直射等干擾，這是紅光難以實現(xiàn)的。2. 藍光激光位移傳感器的原理構造是怎樣的？為何能實現(xiàn)高精度測量？藍光傳感器的高精度的核心是 “光學設計 + 信號處理 + ...

泓川科技國產(chǎn)系列光譜共焦/激光位移傳感器/白光干涉測厚產(chǎn)品性能一覽 2025 - 09 - 05 高精度測量傳感器全系列：賦能精密制造，適配多元檢測需求聚焦半導體、光學膜、機械加工等領域的精密檢測核心痛點，我們推出全系列高性能測量傳感器，覆蓋 “測厚、對焦、位移” 三大核心應用場景，以 “高精準、高速度、高適配” 為設計核心，為您的工藝控制與質量檢測提供可靠技術支撐。以下為各產(chǎn)品系列的詳細介紹：1.LTS-IR 紅外干涉測厚傳感器：半導體材料測厚專屬核心用途：專為硅、碳化硅、砷化鎵等半導體材料設計，精準實現(xiàn)晶圓等器件的厚度測量。性能優(yōu)點：精度卓越：±0.1μm 線性精度 + 2nm 重復精度，確保測量數(shù)據(jù)穩(wěn)定可靠；量程適配：覆蓋 10μm2mm 測厚范圍，滿足多數(shù)半導體材料檢測需求；高效高速：40kHz 采樣速度，快速捕捉厚度數(shù)據(jù)，適配在線檢測節(jié)奏；靈活適配：寬范圍工作距離設計，可靈活匹配不同規(guī)格的檢測設備與場景。2. 分體式對焦傳感器：半導體 / 面板缺陷檢測的 “高速對焦助手”核心用途：針對半導體、面板領域的高精度缺陷檢測場景，提供高速實時對焦支持，尤其適配顯微對焦類檢測設備。性能優(yōu)點：對焦速度快：50kHz 高速對焦，同步匹配缺陷檢測的實時性需求；對焦精度高：0.5μm 對焦精度，保障缺陷成像清晰、檢測無偏差；設計靈活：分體式結構，可根據(jù)檢測設備的安裝空間與布局靈活調整，降低適配難度。3. LT-R 反射膜厚儀：極薄膜厚檢測的 “精密管家”核心用途：專注于極薄膜...

多方面研究泓川科技LTP系列大量程全國產(chǎn)激光位移傳感器 2025 - 09 - 02 泓川科技激光位移傳感器產(chǎn)品技術報告尊敬的客戶：感謝您對泓川科技激光位移傳感器產(chǎn)品的關注與信任。為幫助您全面了解我司產(chǎn)品，現(xiàn)將激光位移傳感器相關技術信息從參數(shù)指標、設計原理、結構設計等八大核心維度進行詳細說明，為您的選型、使用及維護提供專業(yè)參考。一、參數(shù)指標我司激光位移傳感器涵蓋 LTP400 系列與 LTP450 系列，各型號核心參數(shù)經(jīng)納米級高精度激光干涉儀標定驗證，確保數(shù)據(jù)精準可靠，具體參數(shù)如下表所示：表 1：LTP400EA參數(shù)表參數(shù)類別具體參數(shù)LTP400EA備注基礎測量參數(shù)測量中心距離400mm以量程中心位置計算（*1）量程200mm-重復精度（靜態(tài)）3μm測量標準白色陶瓷樣件，50kHz 無平均，取 65536 組數(shù)據(jù)均方根偏差（*2）線性度±0.03%F.S.（F.S.=200mm）采用納米級激光干涉儀標定（*3）光源與光斑光源類型-激光功率可定制，部分型號提供 405nm 藍光版本（*4）光束直徑聚焦點光斑 Φ300μm中心位置直徑，兩端相對變大（*5）電氣參數(shù)電源電壓DC9-36V-功耗約 2.5W-短路保護反向連接保護、過電流保護-輸出與通信模擬量輸出（選配）電壓：0-5V/010V/-1010V；電流：420mA探頭可獨立提供電壓、電流與 RS485 輸出（*6）通訊接口RS485 串口、TCP/IP 網(wǎng)口可選配模擬電壓 / 電流輸出模塊（*7）響應...

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