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在工業(yè)精密測(cè)量中,傳統(tǒng)紅光激光位移傳感器常受高反射、半透明、高溫紅熱等特殊場(chǎng)景限制,而藍(lán)光光源(405nm 波長(zhǎng))憑借獨(dú)特物理特性實(shí)現(xiàn)突破。以下通過 “一問一答” 形式,詳解藍(lán)光傳感器的優(yōu)勢(shì)、原理構(gòu)造,并結(jié)合泓川科技 LTP 系列定制方案,看其如何解決特殊環(huán)境測(cè)量難題。1. 藍(lán)光光源激光位移傳感器相比傳統(tǒng)紅光,核心優(yōu)勢(shì)是什么?藍(lán)光傳感器的核心優(yōu)勢(shì)源于 405nm 波長(zhǎng)的物理特性,相比傳統(tǒng) 655nm 左右的紅光,主要體現(xiàn)在三方面:更高橫向分辨率:根據(jù)瑞利判據(jù),光學(xué)分辨率與波長(zhǎng)成反比。藍(lán)光波長(zhǎng)僅為紅光的 62%(405nm/655nm≈0.62),相同光學(xué)系統(tǒng)下橫向分辨率可提升約 38%,能形成更小光斑(如泓川 LTP025 藍(lán)光版光斑最小達(dá) Φ18μm),適配芯片針腳、晶圓等微米級(jí)結(jié)構(gòu)測(cè)量。更強(qiáng)信號(hào)穩(wěn)定性:藍(lán)光單光子能量達(dá) 3.06eV,遠(yuǎn)高于紅光的 2.05eV。在低反射率材料(如橡膠、有機(jī)涂層)表面,能激發(fā)出更強(qiáng)散射信號(hào);同時(shí)穿透性更低,僅在材料表層作用,避免內(nèi)部折射干擾,適合表面精準(zhǔn)測(cè)量。更優(yōu)抗干擾能力:藍(lán)光波段與紅熱輻射(500nm 以上)、戶外強(qiáng)光(可見光為主)重疊度低,搭配專用濾光片后,可有效隔絕高溫物體自發(fā)光、陽光直射等干擾,這是紅光難以實(shí)現(xiàn)的。2. 藍(lán)光激光位移傳感器的原理構(gòu)造是怎樣的?為何能實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量?藍(lán)光傳感器的高精度的核心是 “光學(xué)設(shè)計(jì) + 信號(hào)處理 + 機(jī)械結(jié)構(gòu)” 的協(xié)同,以泓川 LTP 系列為例,構(gòu)造可拆解為四部分:(1)光學(xué)模塊:精準(zhǔn)控光的 “核心”光源:定制 405nm 藍(lán)色激光二極管(功率可定制,如 LTP025 藍(lán)光版 Max 4.9mW),輸出穩(wěn)定單色光,避免多波長(zhǎng)干擾;物鏡系統(tǒng):分 “聚焦型” 和 “寬光斑型”—— 聚焦型(如 LTPD08)用高精度透鏡組形成 Φ20-35μm 小光斑,測(cè)細(xì)小組件;寬光斑型(如 LTP030W)用圓...
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更新日期: 2025 - 10 - 21
高精度測(cè)量傳感器全系列:賦能精密制造,適配多元檢測(cè)需求聚焦半導(dǎo)體、光學(xué)膜、機(jī)械加工等領(lǐng)域的精密檢測(cè)核心痛點(diǎn),我們推出全系列高性能測(cè)量傳感器,覆蓋 “測(cè)厚、對(duì)焦、位移” 三大核心應(yīng)用場(chǎng)景,以 “高精準(zhǔn)、高速度、高適配” 為設(shè)計(jì)核心,為您的工藝控制與質(zhì)量檢測(cè)提供可靠技術(shù)支撐。以下為各產(chǎn)品系列的詳細(xì)介紹:1.LTS-IR 紅外干涉測(cè)厚傳感器:半導(dǎo)體材料測(cè)厚專屬核心用途:專為硅、碳化硅、砷化鎵等半導(dǎo)體材料設(shè)計(jì),精準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)晶圓等器件的厚度測(cè)量。性能優(yōu)點(diǎn):精度卓越:±0.1μm 線性精度 + 2nm 重復(fù)精度,確保測(cè)量數(shù)據(jù)穩(wěn)定可靠;量程適配:覆蓋 10μm2mm 測(cè)厚范圍,滿足多數(shù)半導(dǎo)體材料檢測(cè)需求;高效高速:40kHz 采樣速度,快速捕捉厚度數(shù)據(jù),適配在線檢測(cè)節(jié)奏;靈活適配:寬范圍工作距離設(shè)計(jì),可靈活匹配不同規(guī)格的檢測(cè)設(shè)備與場(chǎng)景。2. 分體式對(duì)焦傳感器:半導(dǎo)體 / 面板缺陷檢測(cè)的 “高速對(duì)焦助手”核心用途:針對(duì)半導(dǎo)體、面板領(lǐng)域的高精度缺陷檢測(cè)場(chǎng)景,提供高速實(shí)時(shí)對(duì)焦支持,尤其適配顯微對(duì)焦類檢測(cè)設(shè)備。性能優(yōu)點(diǎn):對(duì)焦速度快:50kHz 高速對(duì)焦,同步匹配缺陷檢測(cè)的實(shí)時(shí)性需求;對(duì)焦精度高:0.5μm 對(duì)焦精度,保障缺陷成像清晰、檢測(cè)無偏差;設(shè)計(jì)靈活:分體式結(jié)構(gòu),可根據(jù)檢測(cè)設(shè)備的安裝空間與布局靈活調(diào)整,降低適配難度。3. LT-R 反射膜厚儀:極薄膜厚檢測(cè)的 “精密管家”核心用途:專注于極薄膜厚度測(cè)量,廣泛適用于光學(xué)膜、功能膜、半導(dǎo)體工藝中的極薄涂層 / 薄膜檢測(cè)。性能優(yōu)點(diǎn):極薄檢測(cè)能力:最小測(cè)量厚度低至 20nm,20nm 測(cè)厚范圍覆蓋多數(shù)極薄膜場(chǎng)景;超高準(zhǔn)確度:±1nm 準(zhǔn)確度 + 0.05nm 重復(fù)精度,精準(zhǔn)捕捉極細(xì)微厚度變化,嚴(yán)控工藝偏差;在線適配:最高 100Hz 采樣速度,可融入生產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)快速在線檢測(cè),不影響生產(chǎn)節(jié)奏。4. LT-C 光譜共焦位移傳感器:復(fù)雜環(huán)境測(cè)...
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更新日期: 2025 - 09 - 05
在工業(yè)應(yīng)用中,經(jīng)常會(huì)使用激光測(cè)距傳感器,因?yàn)檫@種傳感器可以檢測(cè)到非常微弱的光信號(hào),并且還會(huì)記錄、處理從光脈沖發(fā)出到返回被接收的時(shí)間,從而對(duì)目標(biāo)距離進(jìn)行準(zhǔn)確的測(cè)量。那么,在使用性價(jià)比好的激光測(cè)距傳感器之時(shí)需要注意什么問題呢?1、注意使用檢查并避免使用有故障的儀器如果激光測(cè)距傳感器已經(jīng)存在故障,或者被猛烈撞擊過、私自改造過,那么在測(cè)距的時(shí)候就有可能導(dǎo)致結(jié)果有誤差。因此,在使用激光測(cè)距傳感器的時(shí)候一定要注意對(duì)其進(jìn)行檢查,在確認(rèn)傳感器沒有任何異常情況之后再使用,以免出現(xiàn)檢測(cè)結(jié)果有誤差的問題。2、注意測(cè)距時(shí)不要瞄準(zhǔn)強(qiáng)光源或反光物體表面雖然大家需要獲得準(zhǔn)確額距離測(cè)量結(jié)果,但是大家也要注意保護(hù)好自己的健康,所以,在使用激光測(cè)距傳感器對(duì)物體的距離進(jìn)行檢測(cè)的時(shí)候,要注意不要將其直接瞄準(zhǔn)強(qiáng)烈的光源,或者金屬、鏡面以及棱鏡等可以放光物體的表面,否則,操作者的眼睛容易受到反射光的傷害。3、注意避免對(duì)不合適的物體表面進(jìn)行測(cè)量對(duì)不合適的物體使用激光測(cè)距傳感器來測(cè)距,獲得測(cè)量結(jié)果可能不會(huì)準(zhǔn)確。因此,要想獲得理想的數(shù)據(jù)結(jié)果就要注意避開一些不合適的表面,例如粗糙的表面;透明的表面;潮濕、光滑或高光澤的物表面等等。要想獲得準(zhǔn)確的距離測(cè)量結(jié)果,大家不僅要使用受人稱贊的激光測(cè)距傳感器,而且在用其來測(cè)量距離的時(shí)候還一定要注意先做一番檢查,避免因?yàn)槭褂糜泄收系膫鞲衅鞫鴮?dǎo)致測(cè)距失誤。此外,還應(yīng)該注意不要將傳感器瞄準(zhǔn)強(qiáng)光和鏡面反...
發(fā)布時(shí)間: 2020 - 03 - 16
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在眾多行業(yè)的生產(chǎn)中都需要對(duì)物體或者材料進(jìn)行測(cè)量,隨著社會(huì)對(duì)生產(chǎn)率要求的不斷提高,進(jìn)而作為提高生產(chǎn)的輔助工具也隨之產(chǎn)生。由激光器、激光檢測(cè)器和測(cè)量電路組成的激光位移傳感器作為測(cè)量的一種新型工具,下面就一同來看看它有著哪些優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)從而成就了其不斷發(fā)展。一、體積小巧、精準(zhǔn)度高從外形上來看深受歡迎的激光位移傳感器的體積小巧,無需占用特別的大的空間便能進(jìn)行工作。另一方面,激光位移傳感器是利用激光直線的原理來進(jìn)行測(cè)量,由探頭發(fā)出一束激光,在被測(cè)物體表面發(fā)生漫反射,反射的一束光線可以到達(dá)探頭的接收器件,所得到的測(cè)量值誤差幾乎沒有。二、靈活度強(qiáng)、應(yīng)用廣泛如果對(duì)激光位移傳感器有所了解便知道它的靈活性是比超聲波傳感器更強(qiáng),它成功地由靜轉(zhuǎn)換成了動(dòng)態(tài)的測(cè)量。關(guān)于激光位移傳感器的應(yīng)用范圍是很新的也是很為廣泛的一種,小到商場(chǎng)的人流量監(jiān)測(cè),大到高速公路的車輛監(jiān)測(cè)都運(yùn)用了位移的特點(diǎn),在市場(chǎng)中也有被運(yùn)用于無人機(jī)等高科技領(lǐng)域。三、性價(jià)比高、經(jīng)濟(jì)耐用作為新型的測(cè)量?jī)x,大部分人都很樂意選擇使用,作為薄利多銷的激光位移傳感器給出了消費(fèi)者合理的價(jià)格。激光位移傳感器雖然科技成分高,但是價(jià)格很為實(shí)惠,盡管看起來體積較小但是耐用。從市場(chǎng)來看這種傳感器的使用壽命很長(zhǎng),在各種復(fù)雜的環(huán)境中的耐用性都高于普通傳感器。以上便是激光位移傳感器優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)的一種說明,希望能夠給人們以參考。它所具有體型小巧和精準(zhǔn)度高的特點(diǎn),既不占用空間又能發(fā)揮重要的...
發(fā)布時(shí)間: 2020 - 03 - 03
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隨著傳感器在技術(shù)方面的不斷突破,已經(jīng)從人體移動(dòng)傳感到激光直線傳感的重大轉(zhuǎn)變。在工業(yè)生產(chǎn)行業(yè)及建筑行業(yè)經(jīng)常使用傳感器進(jìn)行一些數(shù)值的測(cè)量,激光位移傳感器的出現(xiàn)可以說是又為這些行業(yè)創(chuàng)造了新的動(dòng)力。那么下文就其幾個(gè)重點(diǎn)關(guān)注的方面來為大家介紹利用激光進(jìn)行測(cè)量的傳感器。一、產(chǎn)品的分類在市場(chǎng)中由于多樣化的規(guī)律使得激光位移傳感器也有著不同的分類,可以肯定的是分類主要是方便不同場(chǎng)景的使用。在選擇品種多樣的激光位移傳感器之前需要了解自己所需作用在何處,具體是用于車流量監(jiān)控,車輛行人違法監(jiān)測(cè),還是無人機(jī)、無人搬運(yùn)車、自動(dòng)駕駛有著不同的產(chǎn)品。二、作用的對(duì)象激光位移傳感器主要是由探頭發(fā)射出光來進(jìn)行物體的位移、平整度、厚度等進(jìn)行檢測(cè),這個(gè)時(shí)候就需要了解它主要作用的對(duì)象具體是什么。如果激光位移傳感器在使用過程中的作用對(duì)象具有強(qiáng)光或者是透明的物體,那么這個(gè)時(shí)候就需要引起人們的關(guān)注,因?yàn)橛捎谶@些因素可能導(dǎo)致傳感值有所誤差。三、參數(shù)的選擇深受歡迎的激光位移傳感器在于參數(shù)性能是非常可靠的,這里所說的參數(shù)具有幾個(gè)方面的值。它的常用參數(shù)主要是指?jìng)鞲衅鞯木龋部梢猿蔀槠畛潭?,這直接決定了機(jī)器測(cè)得是否準(zhǔn)確。除外還有分辨率、測(cè)量速度等其他重要參數(shù),把握好對(duì)參數(shù)的了解可以知道激光位移傳感器的性能高低。以上的就是對(duì)激光位移傳感器的重點(diǎn)方面知識(shí)的介紹,通過介紹可以加速對(duì)此類產(chǎn)品的了解。多樣性的產(chǎn)品需要關(guān)注不同的產(chǎn)品分類和它的主要作...
發(fā)布時(shí)間: 2020 - 03 - 03
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據(jù)悉激光位移檢測(cè)的方式在現(xiàn)如今公共領(lǐng)域之中發(fā)揮了尤為重要的價(jià)值,能夠精準(zhǔn)的檢測(cè)其圖像的位移情況和相應(yīng)的制造效果,而如今高精度激光位移傳感器則能夠有效的提高其檢測(cè)的品質(zhì),為高精度的檢測(cè)效果帶來更加全面的保障基礎(chǔ),而這種高精度激光位移傳感器呈現(xiàn)良好品質(zhì)的原因更是豐富多樣。1.圖像采集和分析技術(shù)更專業(yè)據(jù)悉目前市面上高品質(zhì)的傳感器采用了更加專業(yè)的圖像采集系統(tǒng),在其圖像拍攝和數(shù)據(jù)分析的過程之中,能夠有效的減少圖像之中存在的噪點(diǎn),提升其分析的精準(zhǔn)度。而如今質(zhì)量佳的高精度激光位移傳感器則引進(jìn)了這種圖像視覺技術(shù),通過其原件成像的效果進(jìn)行改良讓其優(yōu)化后的圖像擁有更好的品質(zhì)能夠精準(zhǔn)的應(yīng)用于機(jī)器視覺系統(tǒng)的檢測(cè)過程中,為其精準(zhǔn)的數(shù)據(jù)分析和其輸出帶來了更長(zhǎng)期的基礎(chǔ)保障。2.可靠的視覺檢測(cè)工具更匹配專業(yè)的工藝設(shè)備能夠有效的提高其本身的定位和測(cè)量能力,而目前品質(zhì)優(yōu)良的高精度激光位移傳感器則實(shí)現(xiàn)了多種工具的有效匹配,在檢測(cè)的過程之中,保證物品定位和測(cè)量等一系列的流程更加穩(wěn)定。就此而言,品質(zhì)可靠的高精度激光位移傳感器提供了更加集成式的開發(fā)環(huán)境,讓各種優(yōu)良的檢測(cè)技術(shù)同時(shí)兼?zhèn)溥_(dá)成良好的檢測(cè)品質(zhì)??傊咂焚|(zhì)高精度激光位移傳感器為其本身的分析和檢測(cè)帶來了更加優(yōu)質(zhì)的條件,而良好的測(cè)量效果也從其本身精密的屬性設(shè)計(jì)之中得以凸顯。就此而言將這種品質(zhì)可靠的高精度激光位移傳感器應(yīng)用在其數(shù)據(jù)分析和其原件的檢測(cè)過程之中,也能夠讓目前工業(yè)領(lǐng)...
發(fā)布時(shí)間: 2020 - 03 - 02
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2025 - 10 - 21
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在工業(yè)精密測(cè)量中,傳統(tǒng)紅光激光位移傳感器常受高反射、半透明、高溫紅熱等特殊場(chǎng)景限制,而藍(lán)光光源(405nm 波長(zhǎng))憑借獨(dú)特物理特性實(shí)現(xiàn)突破。以下通過 “一問一答” 形式,詳解藍(lán)光傳感器的優(yōu)勢(shì)、原理構(gòu)造,并結(jié)合泓川科技 LTP 系列定制方案,看其如何解決特殊環(huán)境測(cè)量難題。1. 藍(lán)光光源激光位移傳感器相比傳統(tǒng)紅光,核心優(yōu)勢(shì)是什么?藍(lán)光傳感器的核心優(yōu)勢(shì)源于 405nm 波長(zhǎng)的物理特性,相比傳統(tǒng) 655n...
2025 - 09 - 05
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高精度測(cè)量傳感器全系列:賦能精密制造,適配多元檢測(cè)需求聚焦半導(dǎo)體、光學(xué)膜、機(jī)械加工等領(lǐng)域的精密檢測(cè)核心痛點(diǎn),我們推出全系列高性能測(cè)量傳感器,覆蓋 “測(cè)厚、對(duì)焦、位移” 三大核心應(yīng)用場(chǎng)景,以 “高精準(zhǔn)、高速度、高適配” 為設(shè)計(jì)核心,為您的工藝控制與質(zhì)量檢測(cè)提供可靠技術(shù)支撐。以下為各產(chǎn)品系列的詳細(xì)介紹:1.LTS-IR 紅外干涉測(cè)厚傳感器:半導(dǎo)體材料測(cè)厚專屬核心用途:專為硅、碳化硅、砷化鎵等半導(dǎo)體材料...
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藍(lán)光光源激光位移傳感器:優(yōu)勢(shì)、原理與特殊場(chǎng)景解決方案 —— 泓川科技 LTP 系列 405nm 定制... 2025 - 10 - 21 在工業(yè)精密測(cè)量中,傳統(tǒng)紅光激光位移傳感器常受高反射、半透明、高溫紅熱等特殊場(chǎng)景限制,而藍(lán)光光源(405nm 波長(zhǎng))憑借獨(dú)特物理特性實(shí)現(xiàn)突破。以下通過 “一問一答” 形式,詳解藍(lán)光傳感器的優(yōu)勢(shì)、原理構(gòu)造,并結(jié)合泓川科技 LTP 系列定制方案,看其如何解決特殊環(huán)境測(cè)量難題。1. 藍(lán)光光源激光位移傳感器相比傳統(tǒng)紅光,核心優(yōu)勢(shì)是什么?藍(lán)光傳感器的核心優(yōu)勢(shì)源于 405nm 波長(zhǎng)的物理特性,相比傳統(tǒng) 655nm 左右的紅光,主要體現(xiàn)在三方面:更高橫向分辨率:根據(jù)瑞利判據(jù),光學(xué)分辨率與波長(zhǎng)成反比。藍(lán)光波長(zhǎng)僅為紅光的 62%(405nm/655nm≈0.62),相同光學(xué)系統(tǒng)下橫向分辨率可提升約 38%,能形成更小光斑(如泓川 LTP025 藍(lán)光版光斑最小達(dá) Φ18μm),適配芯片針腳、晶圓等微米級(jí)結(jié)構(gòu)測(cè)量。更強(qiáng)信號(hào)穩(wěn)定性:藍(lán)光單光子能量達(dá) 3.06eV,遠(yuǎn)高于紅光的 2.05eV。在低反射率材料(如橡膠、有機(jī)涂層)表面,能激發(fā)出更強(qiáng)散射信號(hào);同時(shí)穿透性更低,僅在材料表層作用,避免內(nèi)部折射干擾,適合表面精準(zhǔn)測(cè)量。更優(yōu)抗干擾能力:藍(lán)光波段與紅熱輻射(500nm 以上)、戶外強(qiáng)光(可見光為主)重疊度低,搭配專用濾光片后,可有效隔絕高溫物體自發(fā)光、陽光直射等干擾,這是紅光難以實(shí)現(xiàn)的。2. 藍(lán)光激光位移傳感器的原理構(gòu)造是怎樣的?為何能實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量?藍(lán)光傳感器的高精度的核心是 “光學(xué)設(shè)計(jì) + 信號(hào)處理 + ...
泓川科技國(guó)產(chǎn)系列光譜共焦/激光位移傳感器/白光干涉測(cè)厚產(chǎn)品性能一覽 2025 - 09 - 05 高精度測(cè)量傳感器全系列:賦能精密制造,適配多元檢測(cè)需求聚焦半導(dǎo)體、光學(xué)膜、機(jī)械加工等領(lǐng)域的精密檢測(cè)核心痛點(diǎn),我們推出全系列高性能測(cè)量傳感器,覆蓋 “測(cè)厚、對(duì)焦、位移” 三大核心應(yīng)用場(chǎng)景,以 “高精準(zhǔn)、高速度、高適配” 為設(shè)計(jì)核心,為您的工藝控制與質(zhì)量檢測(cè)提供可靠技術(shù)支撐。以下為各產(chǎn)品系列的詳細(xì)介紹:1.LTS-IR 紅外干涉測(cè)厚傳感器:半導(dǎo)體材料測(cè)厚專屬核心用途:專為硅、碳化硅、砷化鎵等半導(dǎo)體材料設(shè)計(jì),精準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)晶圓等器件的厚度測(cè)量。性能優(yōu)點(diǎn):精度卓越:±0.1μm 線性精度 + 2nm 重復(fù)精度,確保測(cè)量數(shù)據(jù)穩(wěn)定可靠;量程適配:覆蓋 10μm2mm 測(cè)厚范圍,滿足多數(shù)半導(dǎo)體材料檢測(cè)需求;高效高速:40kHz 采樣速度,快速捕捉厚度數(shù)據(jù),適配在線檢測(cè)節(jié)奏;靈活適配:寬范圍工作距離設(shè)計(jì),可靈活匹配不同規(guī)格的檢測(cè)設(shè)備與場(chǎng)景。2. 分體式對(duì)焦傳感器:半導(dǎo)體 / 面板缺陷檢測(cè)的 “高速對(duì)焦助手”核心用途:針對(duì)半導(dǎo)體、面板領(lǐng)域的高精度缺陷檢測(cè)場(chǎng)景,提供高速實(shí)時(shí)對(duì)焦支持,尤其適配顯微對(duì)焦類檢測(cè)設(shè)備。性能優(yōu)點(diǎn):對(duì)焦速度快:50kHz 高速對(duì)焦,同步匹配缺陷檢測(cè)的實(shí)時(shí)性需求;對(duì)焦精度高:0.5μm 對(duì)焦精度,保障缺陷成像清晰、檢測(cè)無偏差;設(shè)計(jì)靈活:分體式結(jié)構(gòu),可根據(jù)檢測(cè)設(shè)備的安裝空間與布局靈活調(diào)整,降低適配難度。3. LT-R 反射膜厚儀:極薄膜厚檢測(cè)的 “精密管家”核心用途:專注于極薄膜...
多方面研究泓川科技LTP系列大量程全國(guó)產(chǎn)激光位移傳感器 2025 - 09 - 02 泓川科技激光位移傳感器產(chǎn)品技術(shù)報(bào)告尊敬的客戶: 感謝您對(duì)泓川科技激光位移傳感器產(chǎn)品的關(guān)注與信任。為幫助您全面了解我司產(chǎn)品,現(xiàn)將激光位移傳感器相關(guān)技術(shù)信息從參數(shù)指標(biāo)、設(shè)計(jì)原理、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)等八大核心維度進(jìn)行詳細(xì)說明,為您的選型、使用及維護(hù)提供專業(yè)參考。一、參數(shù)指標(biāo)我司激光位移傳感器涵蓋 LTP400 系列與 LTP450 系列,各型號(hào)核心參數(shù)經(jīng)納米級(jí)高精度激光干涉儀標(biāo)定驗(yàn)證,確保數(shù)據(jù)精準(zhǔn)可靠,具體參數(shù)如下表所示:表 1:LTP400EA參數(shù)表參數(shù)類別具體參數(shù)LTP400EA備注基礎(chǔ)測(cè)量參數(shù)測(cè)量中心距離400mm以量程中心位置計(jì)算(*1)量程200mm-重復(fù)精度(靜態(tài))3μm測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)白色陶瓷樣件,50kHz 無平均,取 65536 組數(shù)據(jù)均方根偏差(*2)線性度±0.03%F.S.(F.S.=200mm)采用納米級(jí)激光干涉儀標(biāo)定(*3)光源與光斑光源類型-激光功率可定制,部分型號(hào)提供 405nm 藍(lán)光版本(*4)光束直徑聚焦點(diǎn)光斑 Φ300μm中心位置直徑,兩端相對(duì)變大(*5)電氣參數(shù)電源電壓DC9-36V-功耗約 2.5W-短路保護(hù)反向連接保護(hù)、過電流保護(hù)-輸出與通信模擬量輸出(選配)電壓:0-5V/010V/-1010V;電流:420mA探頭可獨(dú)立提供電壓、電流與 RS485 輸出(*6)通訊接口RS485 串口、TCP/IP 網(wǎng)口可選配模擬電壓 / 電流輸出模塊(*7)響應(yīng)...
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