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在工業(yè)精密測(cè)量中,傳統(tǒng)紅光激光位移傳感器常受高反射、半透明、高溫紅熱等特殊場(chǎng)景限制,而藍(lán)光光源(405nm 波長)憑借獨(dú)特物理特性實(shí)現(xiàn)突破。以下通過 “一問一答” 形式,詳解藍(lán)光傳感器的優(yōu)勢(shì)、原理構(gòu)造,并結(jié)合泓川科技 LTP 系列定制方案,看其如何解決特殊環(huán)境測(cè)量難題。1. 藍(lán)光光源激光位移傳感器相比傳統(tǒng)紅光,核心優(yōu)勢(shì)是什么?藍(lán)光傳感器的核心優(yōu)勢(shì)源于 405nm 波長的物理特性,相比傳統(tǒng) 655nm 左右的紅光,主要體現(xiàn)在三方面:更高橫向分辨率:根據(jù)瑞利判據(jù),光學(xué)分辨率與波長成反比。藍(lán)光波長僅為紅光的 62%(405nm/655nm≈0.62),相同光學(xué)系統(tǒng)下橫向分辨率可提升約 38%,能形成更小光斑(如泓川 LTP025 藍(lán)光版光斑最小達(dá) Φ18μm),適配芯片針腳、晶圓等微米級(jí)結(jié)構(gòu)測(cè)量。更強(qiáng)信號(hào)穩(wěn)定性:藍(lán)光單光子能量達(dá) 3.06eV,遠(yuǎn)高于紅光的 2.05eV。在低反射率材料(如橡膠、有機(jī)涂層)表面,能激發(fā)出更強(qiáng)散射信號(hào);同時(shí)穿透性更低,僅在材料表層作用,避免內(nèi)部折射干擾,適合表面精準(zhǔn)測(cè)量。更優(yōu)抗干擾能力:藍(lán)光波段與紅熱輻射(500nm 以上)、戶外強(qiáng)光(可見光為主)重疊度低,搭配專用濾光片后,可有效隔絕高溫物體自發(fā)光、陽光直射等干擾,這是紅光難以實(shí)現(xiàn)的。2. 藍(lán)光激光位移傳感器的原理構(gòu)造是怎樣的?為何能實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量?藍(lán)光傳感器的高精度的核心是 “光學(xué)設(shè)計(jì) + 信號(hào)處理 + 機(jī)械結(jié)構(gòu)” 的協(xié)同,以泓川 LTP 系列為例,構(gòu)造可拆解為四部分:(1)光學(xué)模塊:精準(zhǔn)控光的 “核心”光源:定制 405nm 藍(lán)色激光二極管(功率可定制,如 LTP025 藍(lán)光版 Max 4.9mW),輸出穩(wěn)定單色光,避免多波長干擾;物鏡系統(tǒng):分 “聚焦型” 和 “寬光斑型”—— 聚焦型(如 LTPD08)用高精度透鏡組形成 Φ20-35μm 小光斑,測(cè)細(xì)小組件;寬光斑型(如 LTP030W)用圓...
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更新日期: 2025 - 10 - 21
高精度測(cè)量傳感器全系列:賦能精密制造,適配多元檢測(cè)需求聚焦半導(dǎo)體、光學(xué)膜、機(jī)械加工等領(lǐng)域的精密檢測(cè)核心痛點(diǎn),我們推出全系列高性能測(cè)量傳感器,覆蓋 “測(cè)厚、對(duì)焦、位移” 三大核心應(yīng)用場(chǎng)景,以 “高精準(zhǔn)、高速度、高適配” 為設(shè)計(jì)核心,為您的工藝控制與質(zhì)量檢測(cè)提供可靠技術(shù)支撐。以下為各產(chǎn)品系列的詳細(xì)介紹:1.LTS-IR 紅外干涉測(cè)厚傳感器:半導(dǎo)體材料測(cè)厚專屬核心用途:專為硅、碳化硅、砷化鎵等半導(dǎo)體材料設(shè)計(jì),精準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)晶圓等器件的厚度測(cè)量。性能優(yōu)點(diǎn):精度卓越:±0.1μm 線性精度 + 2nm 重復(fù)精度,確保測(cè)量數(shù)據(jù)穩(wěn)定可靠;量程適配:覆蓋 10μm2mm 測(cè)厚范圍,滿足多數(shù)半導(dǎo)體材料檢測(cè)需求;高效高速:40kHz 采樣速度,快速捕捉厚度數(shù)據(jù),適配在線檢測(cè)節(jié)奏;靈活適配:寬范圍工作距離設(shè)計(jì),可靈活匹配不同規(guī)格的檢測(cè)設(shè)備與場(chǎng)景。2. 分體式對(duì)焦傳感器:半導(dǎo)體 / 面板缺陷檢測(cè)的 “高速對(duì)焦助手”核心用途:針對(duì)半導(dǎo)體、面板領(lǐng)域的高精度缺陷檢測(cè)場(chǎng)景,提供高速實(shí)時(shí)對(duì)焦支持,尤其適配顯微對(duì)焦類檢測(cè)設(shè)備。性能優(yōu)點(diǎn):對(duì)焦速度快:50kHz 高速對(duì)焦,同步匹配缺陷檢測(cè)的實(shí)時(shí)性需求;對(duì)焦精度高:0.5μm 對(duì)焦精度,保障缺陷成像清晰、檢測(cè)無偏差;設(shè)計(jì)靈活:分體式結(jié)構(gòu),可根據(jù)檢測(cè)設(shè)備的安裝空間與布局靈活調(diào)整,降低適配難度。3. LT-R 反射膜厚儀:極薄膜厚檢測(cè)的 “精密管家”核心用途:專注于極薄膜厚度測(cè)量,廣泛適用于光學(xué)膜、功能膜、半導(dǎo)體工藝中的極薄涂層 / 薄膜檢測(cè)。性能優(yōu)點(diǎn):極薄檢測(cè)能力:最小測(cè)量厚度低至 20nm,20nm 測(cè)厚范圍覆蓋多數(shù)極薄膜場(chǎng)景;超高準(zhǔn)確度:±1nm 準(zhǔn)確度 + 0.05nm 重復(fù)精度,精準(zhǔn)捕捉極細(xì)微厚度變化,嚴(yán)控工藝偏差;在線適配:最高 100Hz 采樣速度,可融入生產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)快速在線檢測(cè),不影響生產(chǎn)節(jié)奏。4. LT-C 光譜共焦位移傳感器:復(fù)雜環(huán)境測(cè)...
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更新日期: 2025 - 09 - 05
摘要 隨著制造業(yè)對(duì)高精度、高效率檢測(cè)需求的提升,非接觸式測(cè)量技術(shù)逐漸成為工業(yè)檢測(cè)領(lǐng)域的重要發(fā)展方向。本文以基恩士CL-3000系列彩色激光同軸位移計(jì)為研究對(duì)象,通過樹脂板、胚料和玻璃薄膜三類典型應(yīng)用案例,系統(tǒng)分析了其技術(shù)原理、測(cè)量優(yōu)勢(shì)及實(shí)際應(yīng)用效果。研究表明,該技術(shù)通過共焦光路設(shè)計(jì)、光軸校準(zhǔn)算法及多傳感器融合技術(shù),能夠?qū)崿F(xiàn)±0.2μm級(jí)測(cè)量精度,解決了傳統(tǒng)接觸式測(cè)量存在的效率低、誤差大、損傷工件等痛點(diǎn),為工業(yè)檢測(cè)智能化轉(zhuǎn)型提供了有效解決方案。1. 引言 在精密制造領(lǐng)域,厚度作為關(guān)鍵尺寸參數(shù)直接影響產(chǎn)品質(zhì)量。傳統(tǒng)接觸式測(cè)量工具(如千分尺、接觸式傳感器)存在檢測(cè)效率低(單次測(cè)量耗時(shí)3-5秒)、人為誤差率高(約0.5%-1.2%)、易損傷工件等問題。非接觸式激光測(cè)量技術(shù)因具有無磨損、高速度(可達(dá)10kHz采樣率)等優(yōu)勢(shì),逐漸成為行業(yè)主流方案?;魇緾L-3000系列通過彩色同軸共焦技術(shù),在復(fù)雜表面適應(yīng)性、測(cè)量穩(wěn)定性等方面實(shí)現(xiàn)突破,本文通過具體案例驗(yàn)證其應(yīng)用價(jià)值。2. 技術(shù)原理與創(chuàng)新 2.1 彩色共焦測(cè)量系統(tǒng) CL-3000采用同軸光路設(shè)計(jì),通過分光棱鏡將多波長激光束(紅、綠、藍(lán))聚焦于被測(cè)物表面。各波長對(duì)應(yīng)不同焦距(圖1),當(dāng)目標(biāo)物高度變化時(shí),反射光經(jīng)針孔濾光后在Quad CMOS陣列上形成特征光譜。通過解析光譜峰值波長,系統(tǒng)可計(jì)算物距變化量,實(shí)現(xiàn)0.1μm級(jí)分辨率。相較于傳統(tǒng)...
發(fā)布時(shí)間: 2025 - 03 - 05
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一、引言1.1 研究背景與目的在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)與科學(xué)研究中,精確測(cè)量物體的尺寸、形狀、位置及位移等參數(shù)至關(guān)重要,其對(duì)于保證產(chǎn)品質(zhì)量、提高生產(chǎn)效率、推動(dòng)技術(shù)創(chuàng)新有著不可或缺的作用。傳統(tǒng)接觸式測(cè)量方法因需與被測(cè)物體直接接觸,容易對(duì)物體表面造成損傷,在面對(duì)柔軟、易變形、高精度或特殊材質(zhì)的物體時(shí),測(cè)量精度與效率大打折扣。此外,在高速運(yùn)動(dòng)物體測(cè)量以及復(fù)雜環(huán)境下的測(cè)量任務(wù)中,接觸式測(cè)量方法更是難以滿足需求。隨著激光技術(shù)、光電探測(cè)技術(shù)以及信號(hào)處理技術(shù)的迅猛發(fā)展,非接觸激光測(cè)量傳感器應(yīng)運(yùn)而生。非接觸激光測(cè)量傳感器憑借高精度、高速度、非接觸、抗干擾能力強(qiáng)等顯著優(yōu)勢(shì),在工業(yè)自動(dòng)化、航空航天、汽車制造、電子半導(dǎo)體、醫(yī)療等眾多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用,成為現(xiàn)代測(cè)量技術(shù)的重要發(fā)展方向。本研究旨在深入剖析非接觸激光測(cè)量傳感器的工作原理、關(guān)鍵技術(shù)、性能特點(diǎn)以及應(yīng)用領(lǐng)域,全面評(píng)估其在不同場(chǎng)景下的測(cè)量精度與可靠性,通過對(duì)市場(chǎng)上主流產(chǎn)品的對(duì)比分析,為相關(guān)行業(yè)在選擇和應(yīng)用非接觸激光測(cè)量傳感器時(shí)提供科學(xué)、系統(tǒng)的參考依據(jù),推動(dòng)該技術(shù)在更多領(lǐng)域的推廣與應(yīng)用,助力產(chǎn)業(yè)升級(jí)與技術(shù)創(chuàng)新。1.2 研究方法與數(shù)據(jù)來源本研究綜合運(yùn)用了多種研究方法,以確保研究的全面性與深入性。在理論研究方面,廣泛查閱國內(nèi)外相關(guān)文獻(xiàn)資料,涵蓋學(xué)術(shù)期刊論文、專利文獻(xiàn)、技術(shù)報(bào)告等,深入研究非接觸激光測(cè)量傳感器的工作原理、技術(shù)發(fā)展歷程以及最新研究成果,構(gòu)建起系統(tǒng)的理論框架...
發(fā)布時(shí)間: 2025 - 03 - 05
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激光測(cè)距的工作原理,激光測(cè)距儀、激光測(cè)距傳感器,一般采用兩種方式來測(cè)量距離。脈沖法和相位法。        激光測(cè)距激光測(cè)距望遠(yuǎn)鏡主要運(yùn)用領(lǐng)域是由于激光測(cè)距望遠(yuǎn)鏡使用方便操作簡單等優(yōu)勢(shì)已被廣泛應(yīng)用于電力安防,建筑,地質(zhì),消防,鐵路,農(nóng)業(yè)林業(yè),房地產(chǎn)等領(lǐng)域。區(qū)別激光測(cè)距儀所謂的安全和不安全之分,顧名思義激光測(cè)距望遠(yuǎn)鏡使用激光作為主要工作物質(zhì)來進(jìn)行工作的。        目前市場(chǎng)上手持式激光測(cè)距傳感器的工作物質(zhì)主要是有以下幾種。工作波長905納米和1540納米的半導(dǎo)體激光。工作波長為1064納米的Y ag激光。1064納米的波長對(duì)人體皮膚和眼睛是有害的,特別是眼睛不小心接觸到了106 10納米波長的激光,會(huì)造成不可逆的損傷。而對(duì)于波長為905納米和1540納米的激光,我們就稱之為安全的。對(duì)于1064納米的激光測(cè)距網(wǎng)已經(jīng)由于它對(duì)人體目前具有潛在的危害性。所以我們就稱之為不安全的。       總結(jié)購買激光測(cè)距傳感器,激光測(cè)距望遠(yuǎn)鏡,首先從測(cè)量距離和精度入手,基本上就不會(huì)錯(cuò)了。
發(fā)布時(shí)間: 2022 - 12 - 13
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大家好,我是無錫泓川傳感器學(xué)堂的李同學(xué),今天給大家介紹的是光電測(cè)距傳感器的三角測(cè)量法距離測(cè)量是基于三角測(cè)量原理,激光束打在物體上形成一個(gè)小點(diǎn),傳感器的接收器對(duì)該點(diǎn)的位置進(jìn)行檢測(cè)。入射角隨距離而變化,因而激光點(diǎn)在接收器上的位置也相應(yīng)變化。光電二極管陣列由內(nèi)置微控制器讀取??刂破鞲鶕?jù)光電二極管陣列上的光分布精確的計(jì)算角度,然后據(jù)此計(jì)算出與目標(biāo)物之間的距離。此距離值可以通過串口發(fā)送,也可以轉(zhuǎn)換為與距離成正比的輸出電流或者電壓模擬量信號(hào)。微處理器確保獲得很高的線性度和測(cè)量精度,光電二極管陣列與微控制器相結(jié)合,抑制了干擾性反射光。從而提供可靠的南側(cè)表面數(shù)據(jù)。傳感器通過調(diào)節(jié)內(nèi)部靈敏度來適應(yīng)不同的顏色,從而使其不受物體顏色的影響如果在測(cè)量范圍內(nèi)沒有物體,或者如果所接受的光不足以準(zhǔn)確的檢測(cè)物體。則將觸發(fā)一個(gè)數(shù)字量輸出,分辨率和精度會(huì)隨著距離的變化而變化,對(duì)于相同的距離變化三角形D在靠近傳感器處它是角阿爾法一發(fā)生較大的變化,而在遠(yuǎn)距離傳感器則使角阿爾法二發(fā)生較小的變化這種非線性控制器可以通過微控制器進(jìn)行矯正,從而使輸出信號(hào)與距離保持線性關(guān)系。
發(fā)布時(shí)間: 2022 - 12 - 03
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2025 - 10 - 21
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在工業(yè)精密測(cè)量中,傳統(tǒng)紅光激光位移傳感器常受高反射、半透明、高溫紅熱等特殊場(chǎng)景限制,而藍(lán)光光源(405nm 波長)憑借獨(dú)特物理特性實(shí)現(xiàn)突破。以下通過 “一問一答” 形式,詳解藍(lán)光傳感器的優(yōu)勢(shì)、原理構(gòu)造,并結(jié)合泓川科技 LTP 系列定制方案,看其如何解決特殊環(huán)境測(cè)量難題。1. 藍(lán)光光源激光位移傳感器相比傳統(tǒng)紅光,核心優(yōu)勢(shì)是什么?藍(lán)光傳感器的核心優(yōu)勢(shì)源于 405nm 波長的物理特性,相比傳統(tǒng) 655n...
2025 - 09 - 05
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高精度測(cè)量傳感器全系列:賦能精密制造,適配多元檢測(cè)需求聚焦半導(dǎo)體、光學(xué)膜、機(jī)械加工等領(lǐng)域的精密檢測(cè)核心痛點(diǎn),我們推出全系列高性能測(cè)量傳感器,覆蓋 “測(cè)厚、對(duì)焦、位移” 三大核心應(yīng)用場(chǎng)景,以 “高精準(zhǔn)、高速度、高適配” 為設(shè)計(jì)核心,為您的工藝控制與質(zhì)量檢測(cè)提供可靠技術(shù)支撐。以下為各產(chǎn)品系列的詳細(xì)介紹:1.LTS-IR 紅外干涉測(cè)厚傳感器:半導(dǎo)體材料測(cè)厚專屬核心用途:專為硅、碳化硅、砷化鎵等半導(dǎo)體材料...
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藍(lán)光光源激光位移傳感器:優(yōu)勢(shì)、原理與特殊場(chǎng)景解決方案 —— 泓川科技 LTP 系列 405nm 定制... 2025 - 10 - 21 在工業(yè)精密測(cè)量中,傳統(tǒng)紅光激光位移傳感器常受高反射、半透明、高溫紅熱等特殊場(chǎng)景限制,而藍(lán)光光源(405nm 波長)憑借獨(dú)特物理特性實(shí)現(xiàn)突破。以下通過 “一問一答” 形式,詳解藍(lán)光傳感器的優(yōu)勢(shì)、原理構(gòu)造,并結(jié)合泓川科技 LTP 系列定制方案,看其如何解決特殊環(huán)境測(cè)量難題。1. 藍(lán)光光源激光位移傳感器相比傳統(tǒng)紅光,核心優(yōu)勢(shì)是什么?藍(lán)光傳感器的核心優(yōu)勢(shì)源于 405nm 波長的物理特性,相比傳統(tǒng) 655nm 左右的紅光,主要體現(xiàn)在三方面:更高橫向分辨率:根據(jù)瑞利判據(jù),光學(xué)分辨率與波長成反比。藍(lán)光波長僅為紅光的 62%(405nm/655nm≈0.62),相同光學(xué)系統(tǒng)下橫向分辨率可提升約 38%,能形成更小光斑(如泓川 LTP025 藍(lán)光版光斑最小達(dá) Φ18μm),適配芯片針腳、晶圓等微米級(jí)結(jié)構(gòu)測(cè)量。更強(qiáng)信號(hào)穩(wěn)定性:藍(lán)光單光子能量達(dá) 3.06eV,遠(yuǎn)高于紅光的 2.05eV。在低反射率材料(如橡膠、有機(jī)涂層)表面,能激發(fā)出更強(qiáng)散射信號(hào);同時(shí)穿透性更低,僅在材料表層作用,避免內(nèi)部折射干擾,適合表面精準(zhǔn)測(cè)量。更優(yōu)抗干擾能力:藍(lán)光波段與紅熱輻射(500nm 以上)、戶外強(qiáng)光(可見光為主)重疊度低,搭配專用濾光片后,可有效隔絕高溫物體自發(fā)光、陽光直射等干擾,這是紅光難以實(shí)現(xiàn)的。2. 藍(lán)光激光位移傳感器的原理構(gòu)造是怎樣的?為何能實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量?藍(lán)光傳感器的高精度的核心是 “光學(xué)設(shè)計(jì) + 信號(hào)處理 + ...
泓川科技國產(chǎn)系列光譜共焦/激光位移傳感器/白光干涉測(cè)厚產(chǎn)品性能一覽 2025 - 09 - 05 高精度測(cè)量傳感器全系列:賦能精密制造,適配多元檢測(cè)需求聚焦半導(dǎo)體、光學(xué)膜、機(jī)械加工等領(lǐng)域的精密檢測(cè)核心痛點(diǎn),我們推出全系列高性能測(cè)量傳感器,覆蓋 “測(cè)厚、對(duì)焦、位移” 三大核心應(yīng)用場(chǎng)景,以 “高精準(zhǔn)、高速度、高適配” 為設(shè)計(jì)核心,為您的工藝控制與質(zhì)量檢測(cè)提供可靠技術(shù)支撐。以下為各產(chǎn)品系列的詳細(xì)介紹:1.LTS-IR 紅外干涉測(cè)厚傳感器:半導(dǎo)體材料測(cè)厚專屬核心用途:專為硅、碳化硅、砷化鎵等半導(dǎo)體材料設(shè)計(jì),精準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)晶圓等器件的厚度測(cè)量。性能優(yōu)點(diǎn):精度卓越:±0.1μm 線性精度 + 2nm 重復(fù)精度,確保測(cè)量數(shù)據(jù)穩(wěn)定可靠;量程適配:覆蓋 10μm2mm 測(cè)厚范圍,滿足多數(shù)半導(dǎo)體材料檢測(cè)需求;高效高速:40kHz 采樣速度,快速捕捉厚度數(shù)據(jù),適配在線檢測(cè)節(jié)奏;靈活適配:寬范圍工作距離設(shè)計(jì),可靈活匹配不同規(guī)格的檢測(cè)設(shè)備與場(chǎng)景。2. 分體式對(duì)焦傳感器:半導(dǎo)體 / 面板缺陷檢測(cè)的 “高速對(duì)焦助手”核心用途:針對(duì)半導(dǎo)體、面板領(lǐng)域的高精度缺陷檢測(cè)場(chǎng)景,提供高速實(shí)時(shí)對(duì)焦支持,尤其適配顯微對(duì)焦類檢測(cè)設(shè)備。性能優(yōu)點(diǎn):對(duì)焦速度快:50kHz 高速對(duì)焦,同步匹配缺陷檢測(cè)的實(shí)時(shí)性需求;對(duì)焦精度高:0.5μm 對(duì)焦精度,保障缺陷成像清晰、檢測(cè)無偏差;設(shè)計(jì)靈活:分體式結(jié)構(gòu),可根據(jù)檢測(cè)設(shè)備的安裝空間與布局靈活調(diào)整,降低適配難度。3. LT-R 反射膜厚儀:極薄膜厚檢測(cè)的 “精密管家”核心用途:專注于極薄膜...
多方面研究泓川科技LTP系列大量程全國產(chǎn)激光位移傳感器 2025 - 09 - 02 泓川科技激光位移傳感器產(chǎn)品技術(shù)報(bào)告尊敬的客戶: 感謝您對(duì)泓川科技激光位移傳感器產(chǎn)品的關(guān)注與信任。為幫助您全面了解我司產(chǎn)品,現(xiàn)將激光位移傳感器相關(guān)技術(shù)信息從參數(shù)指標(biāo)、設(shè)計(jì)原理、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)等八大核心維度進(jìn)行詳細(xì)說明,為您的選型、使用及維護(hù)提供專業(yè)參考。一、參數(shù)指標(biāo)我司激光位移傳感器涵蓋 LTP400 系列與 LTP450 系列,各型號(hào)核心參數(shù)經(jīng)納米級(jí)高精度激光干涉儀標(biāo)定驗(yàn)證,確保數(shù)據(jù)精準(zhǔn)可靠,具體參數(shù)如下表所示:表 1:LTP400EA參數(shù)表參數(shù)類別具體參數(shù)LTP400EA備注基礎(chǔ)測(cè)量參數(shù)測(cè)量中心距離400mm以量程中心位置計(jì)算(*1)量程200mm-重復(fù)精度(靜態(tài))3μm測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)白色陶瓷樣件,50kHz 無平均,取 65536 組數(shù)據(jù)均方根偏差(*2)線性度±0.03%F.S.(F.S.=200mm)采用納米級(jí)激光干涉儀標(biāo)定(*3)光源與光斑光源類型-激光功率可定制,部分型號(hào)提供 405nm 藍(lán)光版本(*4)光束直徑聚焦點(diǎn)光斑 Φ300μm中心位置直徑,兩端相對(duì)變大(*5)電氣參數(shù)電源電壓DC9-36V-功耗約 2.5W-短路保護(hù)反向連接保護(hù)、過電流保護(hù)-輸出與通信模擬量輸出(選配)電壓:0-5V/010V/-1010V;電流:420mA探頭可獨(dú)立提供電壓、電流與 RS485 輸出(*6)通訊接口RS485 串口、TCP/IP 網(wǎng)口可選配模擬電壓 / 電流輸出模塊(*7)響應(yīng)...
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