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利用高速高精度激光位移傳感器測量低頻物體振動以降低使用成本

日期: 2023-08-21
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來自 泓川科技
發(fā)表于: 2023-08-21
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摘要:

本報(bào)告提出了一種利用高精度激光位移傳感器測量物體振動的方案。通過測量被測物的位移量,并確定振動的時間點(diǎn),可以計(jì)算出振動頻率和振動模式。相比多普勒測振儀,激光位移傳感器具有更低的成本,在低頻范圍內(nèi)(1000Hz以下)可以進(jìn)行振動測量。本方案詳細(xì)介紹了方案設(shè)計(jì)、設(shè)備選擇、實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證以及成本核算,并通過實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)和算法驗(yàn)證了方案的可行性和準(zhǔn)確性。

利用高速高精度激光位移傳感器測量低頻物體振動以降低使用成本

  1. 引言
    物體振動是許多領(lǐng)域的重要研究對象,包括機(jī)械、汽車、航空航天等。傳統(tǒng)的多普勒測振儀可以用于高頻振動測量,但其成本較高,對于低頻振動測量(1000Hz以下)不適用。因此,本方案提出了一種利用高精度激光位移傳感器測量物體振動的方案,以滿足低頻振動測量的需求。


  2. 方案設(shè)計(jì)

    利用高精度激光位移傳感器測量物體振動的方案設(shè)計(jì)如下:


利用高速高精度激光位移傳感器測量低頻物體振動以降低使用成本

2.1 設(shè)備選擇
選擇一臺高精度激光位移傳感器,具備以下特點(diǎn):

  • 高測量精度:具備亞微米級的測量精度,滿足振動測量的要求。

  • 高響應(yīng)頻率:能夠以高速響應(yīng)的方式進(jìn)行位移測量,捕捉到物體振動的細(xì)微變化。

  • 寬測量范圍:具備較大的測量范圍,適應(yīng)不同物體振動的需求。

2.2 傳感器布置與測量原理
將激光位移傳感器布置在被測物體附近,并對其進(jìn)行校準(zhǔn)和調(diào)試。在物體振動過程中,傳感器測量物體的位移量。傳感器工作原理基于激光光束照射到物體表面,測量光斑的位置隨時間的變化,從而獲得物體的位移信息。

2.3 數(shù)據(jù)處理與振動頻率計(jì)算
根據(jù)傳感器測得的位移量數(shù)據(jù),通過數(shù)據(jù)處理和信號分析算法,可以確定物體振動的時間點(diǎn),并計(jì)算出振動頻率。常用的方法包括傅里葉變換、自相關(guān)函數(shù),以及基于模態(tài)分析的方法。

  1. 實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證和結(jié)果分析
    在實(shí)驗(yàn)中,選擇了一個旋轉(zhuǎn)齒輪作為被測物體,其轉(zhuǎn)速為36000轉(zhuǎn)每分鐘。通過激光位移傳感器測量齒輪的振動,并計(jì)算出振動頻率。通過數(shù)據(jù)分析和結(jié)果比對,可以得出以下結(jié)論:

3.1 振動頻率計(jì)算
通過對位移數(shù)據(jù)進(jìn)行傅里葉變換,可以得到振動頻譜圖,并從中確定主要的振動頻率。通過對振動頻譜進(jìn)行進(jìn)一步分析,可以確定齒輪的旋轉(zhuǎn)頻率和振動模式。


利用高速高精度激光位移傳感器測量低頻物體振動以降低使用成本

3.2 測試結(jié)果
根據(jù)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)和算法計(jì)算,得出了齒輪的振動頻率以及相應(yīng)的振動模態(tài)。與理論計(jì)算結(jié)果進(jìn)行對比,驗(yàn)證了方案的準(zhǔn)確性和可靠性。

  1. 成本核算與優(yōu)勢分析
    通過對激光位移傳感器和多普勒測振儀的成本進(jìn)行核算,發(fā)現(xiàn)激光位移傳感器的成本要比多普勒測振儀低很多。同時,該方案具有非接觸式測量、高精度、可使用在低頻范圍內(nèi)的優(yōu)勢。

  2. 結(jié)論
    本報(bào)告提出的利用高精度激光位移傳感器測量物體振動的方案,在低頻振動測量方面具有明顯的優(yōu)勢。通過實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證和數(shù)據(jù)分析,證明了方案的可行性和準(zhǔn)確性。該方案不僅在成本上具有優(yōu)勢,還能夠?qū)崿F(xiàn)非接觸測量,并提供高精度的振動頻率和振動模式分析結(jié)果。

參考文獻(xiàn):

  1. Chen, P. et al. (2020). High-precision laser displacement sensor based on heterodyne detection and long-distance calibration. Optics Express, 28(3), 4096-4106.

  2. Park, Y. et al. (2018). Measurement of vibration frequencies and modes using non-contact displacement sensors for machine tool condition monitoring. Mechanical Systems and Signal Processing, 101, 839-854.


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    2025 - 01 - 14
    一、引言1.1 激光位移傳感器概述激光位移傳感器,作為工業(yè)測量領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備,憑借其卓越的非接觸測量特性,正日益成為眾多行業(yè)實(shí)現(xiàn)高精度測量與自動化控制的核心技術(shù)。它主要利用激光的反射特性,通過精確測量反射光的相關(guān)參數(shù),實(shí)現(xiàn)對目標(biāo)物體的位移、距離、厚度等幾何量的精準(zhǔn)測定。這一技術(shù)的誕生,為現(xiàn)代制造業(yè)、科研實(shí)驗(yàn)以及諸多工業(yè)生產(chǎn)過程,提供了高效、可靠且精準(zhǔn)的測量手段。其工作原理基于激光三角測量法和激光回波分析法。激光三角測量法常用于高精度、短距離測量場景。在該方法中,激光位移傳感器發(fā)射出一束激光,射向被測物體表面,物體表面反射的激光經(jīng)由特定的光學(xué)系統(tǒng),被傳感器內(nèi)部的探測器接收。根據(jù)激光發(fā)射點(diǎn)、反射點(diǎn)以及探測器接收點(diǎn)之間所構(gòu)成的三角幾何關(guān)系,通過精密的計(jì)算,能夠精確得出物體與傳感器之間的距離 。激光回波分析法更適用于遠(yuǎn)距離測量,傳感器以每秒發(fā)射大量激光脈沖的方式,向被測物體發(fā)送信號,隨后依據(jù)激光脈沖從發(fā)射到被接收的時間差,精確計(jì)算出物體與傳感器之間的距離。在工業(yè)測量領(lǐng)域,激光位移傳感器的重要地位不容小覷。在汽車制造行業(yè),它被廣泛應(yīng)用于車身零部件的尺寸檢測、裝配精度控制等環(huán)節(jié)。通過對汽車零部件的精確測量,能夠確保各個部件的尺寸符合設(shè)計(jì)要求,從而提升整車的裝配質(zhì)量和性能。在電子制造領(lǐng)域,激光位移傳感器可用于檢測芯片的尺寸、平整度以及電子元件的貼裝精度等。在芯片制造過程中,其微小的尺寸和極高的精...
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    2025 - 01 - 29
    五、光譜共焦傳感器測量厚度的局限性及解決措施5.1 局限性分析5.1.1 測量范圍限制光譜共焦傳感器的測量范圍相對有限,一般在幾毫米到幾十毫米之間。這是由于其測量原理基于色散物鏡對不同波長光的聚焦特性,測量范圍主要取決于色散物鏡的軸向色差范圍以及光譜儀的工作波段。在實(shí)際應(yīng)用中,對于一些大尺寸物體的厚度測量,如厚壁管材、大型板材等,可能需要多次測量拼接數(shù)據(jù),增加了測量的復(fù)雜性和誤差來源。例如,在測量厚度超過傳感器量程的大型金屬板材時,需要移動傳感器進(jìn)行多次測量,然后將測量數(shù)據(jù)進(jìn)行拼接處理,但在拼接過程中可能會因測量位置的定位誤差、測量角度的變化等因素導(dǎo)致測量結(jié)果的不準(zhǔn)確。5.1.2 對被測物體表面狀態(tài)的要求雖然光譜共焦傳感器對多種材料具有良好的適用性,但被測物體表面的粗糙度、平整度等因素仍會對測量精度產(chǎn)生一定影響。當(dāng)被測物體表面粗糙度較大時,表面的微觀起伏會導(dǎo)致反射光的散射和漫反射增強(qiáng),使得反射光的強(qiáng)度分布不均勻,從而影響光譜儀對反射光波長的準(zhǔn)確檢測,導(dǎo)致測量誤差增大。對于表面平整度較差的物體,如存在明顯翹曲或彎曲的板材,會使傳感器與物體表面的距離在不同位置發(fā)生變化,超出傳感器的測量精度范圍,進(jìn)而影響厚度測量的準(zhǔn)確性。例如,在測量表面粗糙的橡膠板材時,由于橡膠表面的微觀紋理和不規(guī)則性,測量精度會明顯下降,難以達(dá)到對光滑表面測量時的高精度水平。5.1.3 成本相對較高光譜共焦傳感器作為...
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    2023 - 02 - 26
    今天我為大家展示安全激光掃描儀產(chǎn)品,安全激光掃描儀適用于各種應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域,      在設(shè)備開發(fā)期間我們給予了特別關(guān)注,以確保它能夠在廣泛應(yīng)用中發(fā)揮最佳功能,尤其重視大型工作區(qū)域的防護(hù),例如機(jī)床正面區(qū)域或機(jī)器人工作區(qū)域。      其他應(yīng)用包括移動車輛的防護(hù),例如側(cè)向滑動裝置或移動運(yùn)輸設(shè)備,無人駕駛運(yùn)輸系統(tǒng)。甚至垂直安裝激光掃描儀的出入口保護(hù)系統(tǒng)。盡管我們在安全激光掃描與領(lǐng)域,已經(jīng)有數(shù)10年的經(jīng)驗(yàn)了,但該應(yīng)用領(lǐng)域仍然面對許多挑戰(zhàn)。不過我們的激光安全掃描儀具有獨(dú)一無二的功能屬性,例如具有8.25米檢測距離和270度掃描范圍。       屬于目前市場上的高端設(shè)備,非常適合側(cè)向滑動裝置正面區(qū)域等大型區(qū)域或長距離的防護(hù)。該設(shè)備的另一個亮點(diǎn)就是能夠同時監(jiān)測兩個保護(hù)功能。這在許多應(yīng)用領(lǐng)域中,獨(dú)具優(yōu)勢以前需要使用兩個設(shè)備,如今只需要使用一臺這樣的安全激光掃描儀,即可完成兩臺設(shè)備的功能。               實(shí)踐中遇到的一項(xiàng)挑戰(zhàn)是設(shè)計(jì)一款異常強(qiáng)骨的激光安全掃描儀。能夠適應(yīng)周圍環(huán)境中可能存在的灰塵和顆粒等惡劣條件,因此我們提供了較分辨率達(dá)到0.1度的設(shè)備。它在目前市場上具有非常高的價值。   ...
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藍(lán)光光源激光位移傳感器:優(yōu)勢、原理與特殊場景解決方案 —— 泓川科技 LTP 系列 405nm 定制... 2025 - 10 - 21 在工業(yè)精密測量中,傳統(tǒng)紅光激光位移傳感器常受高反射、半透明、高溫紅熱等特殊場景限制,而藍(lán)光光源(405nm 波長)憑借獨(dú)特物理特性實(shí)現(xiàn)突破。以下通過 “一問一答” 形式,詳解藍(lán)光傳感器的優(yōu)勢、原理構(gòu)造,并結(jié)合泓川科技 LTP 系列定制方案,看其如何解決特殊環(huán)境測量難題。1. 藍(lán)光光源激光位移傳感器相比傳統(tǒng)紅光,核心優(yōu)勢是什么?藍(lán)光傳感器的核心優(yōu)勢源于 405nm 波長的物理特性,相比傳統(tǒng) 655nm 左右的紅光,主要體現(xiàn)在三方面:更高橫向分辨率:根據(jù)瑞利判據(jù),光學(xué)分辨率與波長成反比。藍(lán)光波長僅為紅光的 62%(405nm/655nm≈0.62),相同光學(xué)系統(tǒng)下橫向分辨率可提升約 38%,能形成更小光斑(如泓川 LTP025 藍(lán)光版光斑最小達(dá) Φ18μm),適配芯片針腳、晶圓等微米級結(jié)構(gòu)測量。更強(qiáng)信號穩(wěn)定性:藍(lán)光單光子能量達(dá) 3.06eV,遠(yuǎn)高于紅光的 2.05eV。在低反射率材料(如橡膠、有機(jī)涂層)表面,能激發(fā)出更強(qiáng)散射信號;同時穿透性更低,僅在材料表層作用,避免內(nèi)部折射干擾,適合表面精準(zhǔn)測量。更優(yōu)抗干擾能力:藍(lán)光波段與紅熱輻射(500nm 以上)、戶外強(qiáng)光(可見光為主)重疊度低,搭配專用濾光片后,可有效隔絕高溫物體自發(fā)光、陽光直射等干擾,這是紅光難以實(shí)現(xiàn)的。2. 藍(lán)光激光位移傳感器的原理構(gòu)造是怎樣的?為何能實(shí)現(xiàn)高精度測量?藍(lán)光傳感器的高精度的核心是 “光學(xué)設(shè)計(jì) + 信號處理 + ...
泓川科技國產(chǎn)系列光譜共焦/激光位移傳感器/白光干涉測厚產(chǎn)品性能一覽 2025 - 09 - 05 高精度測量傳感器全系列:賦能精密制造,適配多元檢測需求聚焦半導(dǎo)體、光學(xué)膜、機(jī)械加工等領(lǐng)域的精密檢測核心痛點(diǎn),我們推出全系列高性能測量傳感器,覆蓋 “測厚、對焦、位移” 三大核心應(yīng)用場景,以 “高精準(zhǔn)、高速度、高適配” 為設(shè)計(jì)核心,為您的工藝控制與質(zhì)量檢測提供可靠技術(shù)支撐。以下為各產(chǎn)品系列的詳細(xì)介紹:1.LTS-IR 紅外干涉測厚傳感器:半導(dǎo)體材料測厚專屬核心用途:專為硅、碳化硅、砷化鎵等半導(dǎo)體材料設(shè)計(jì),精準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)晶圓等器件的厚度測量。性能優(yōu)點(diǎn):精度卓越:±0.1μm 線性精度 + 2nm 重復(fù)精度,確保測量數(shù)據(jù)穩(wěn)定可靠;量程適配:覆蓋 10μm2mm 測厚范圍,滿足多數(shù)半導(dǎo)體材料檢測需求;高效高速:40kHz 采樣速度,快速捕捉厚度數(shù)據(jù),適配在線檢測節(jié)奏;靈活適配:寬范圍工作距離設(shè)計(jì),可靈活匹配不同規(guī)格的檢測設(shè)備與場景。2. 分體式對焦傳感器:半導(dǎo)體 / 面板缺陷檢測的 “高速對焦助手”核心用途:針對半導(dǎo)體、面板領(lǐng)域的高精度缺陷檢測場景,提供高速實(shí)時對焦支持,尤其適配顯微對焦類檢測設(shè)備。性能優(yōu)點(diǎn):對焦速度快:50kHz 高速對焦,同步匹配缺陷檢測的實(shí)時性需求;對焦精度高:0.5μm 對焦精度,保障缺陷成像清晰、檢測無偏差;設(shè)計(jì)靈活:分體式結(jié)構(gòu),可根據(jù)檢測設(shè)備的安裝空間與布局靈活調(diào)整,降低適配難度。3. LT-R 反射膜厚儀:極薄膜厚檢測的 “精密管家”核心用途:專注于極薄膜...
多方面研究泓川科技LTP系列大量程全國產(chǎn)激光位移傳感器 2025 - 09 - 02 泓川科技激光位移傳感器產(chǎn)品技術(shù)報(bào)告尊敬的客戶: 感謝您對泓川科技激光位移傳感器產(chǎn)品的關(guān)注與信任。為幫助您全面了解我司產(chǎn)品,現(xiàn)將激光位移傳感器相關(guān)技術(shù)信息從參數(shù)指標(biāo)、設(shè)計(jì)原理、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)等八大核心維度進(jìn)行詳細(xì)說明,為您的選型、使用及維護(hù)提供專業(yè)參考。一、參數(shù)指標(biāo)我司激光位移傳感器涵蓋 LTP400 系列與 LTP450 系列,各型號核心參數(shù)經(jīng)納米級高精度激光干涉儀標(biāo)定驗(yàn)證,確保數(shù)據(jù)精準(zhǔn)可靠,具體參數(shù)如下表所示:表 1:LTP400EA參數(shù)表參數(shù)類別具體參數(shù)LTP400EA備注基礎(chǔ)測量參數(shù)測量中心距離400mm以量程中心位置計(jì)算(*1)量程200mm-重復(fù)精度(靜態(tài))3μm測量標(biāo)準(zhǔn)白色陶瓷樣件,50kHz 無平均,取 65536 組數(shù)據(jù)均方根偏差(*2)線性度±0.03%F.S.(F.S.=200mm)采用納米級激光干涉儀標(biāo)定(*3)光源與光斑光源類型-激光功率可定制,部分型號提供 405nm 藍(lán)光版本(*4)光束直徑聚焦點(diǎn)光斑 Φ300μm中心位置直徑,兩端相對變大(*5)電氣參數(shù)電源電壓DC9-36V-功耗約 2.5W-短路保護(hù)反向連接保護(hù)、過電流保護(hù)-輸出與通信模擬量輸出(選配)電壓:0-5V/010V/-1010V;電流:420mA探頭可獨(dú)立提供電壓、電流與 RS485 輸出(*6)通訊接口RS485 串口、TCP/IP 網(wǎng)口可選配模擬電壓 / 電流輸出模塊(*7)響應(yīng)...
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