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Case 光譜共聚焦

非球面鏡片面型測不準(zhǔn)、良品率暴跌?光譜共焦破解手機(jī)鏡頭量產(chǎn)死局

日期: 2026-03-19
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做光學(xué)鏡片量產(chǎn)的人,最怕遇到這種“看不見摸不著”的爛攤子。

上個(gè)月對接一家頭部手機(jī)鏡頭廠商,車間整條模壓產(chǎn)線直接摁了暫停鍵:φ6mm塑料非球面鏡片,模具精度反復(fù)校驗(yàn)沒問題,模壓參數(shù)調(diào)了十幾輪,可終檢環(huán)節(jié)的面型數(shù)據(jù)始終亂跳,報(bào)告上全是細(xì)碎的異常波紋。這批鏡片裝到主攝鏡頭里,成像邊緣直接發(fā)糊,客戶拒收函堆了一摞,良品率死死卡在85%,每停線一小時(shí)都是實(shí)打?qū)嵉膿p失。

坦白講,這不是工藝的鍋,是傳統(tǒng)測量工具在非球面曲面前徹底“失明”。這款手機(jī)主攝非球面沒有對稱球心,曲率從中心到邊緣連續(xù)漸變,局部坡面傾角接近30°,屬于典型的“無規(guī)則精密曲面”。常規(guī)檢測手段要么抓不住真實(shí)面型,要么跟不上產(chǎn)線節(jié)拍,看似測出了數(shù)據(jù),實(shí)則全是失真的假象,根本沒法指導(dǎo)工藝調(diào)試。

非球面鏡片面型測不準(zhǔn)、良品率暴跌?光譜共焦破解手機(jī)鏡頭量產(chǎn)死局

傳統(tǒng)測量全線踩坑,不是精度不夠,是天生適配不了非球面

產(chǎn)線最先翻出來的家底,是接觸式輪廓儀、白光干涉儀和激光三角測頭,三套設(shè)備輪番上陣,沒一個(gè)能扛住非球面的嚴(yán)苛考驗(yàn)。
接觸式輪廓儀靠探針針尖劃過曲面,聽起來直接,實(shí)則隱患拉滿。塑料非球面質(zhì)地偏軟,針尖壓力稍大就會留下壓痕,直接報(bào)廢鏡片;遇上陡峭坡面,針尖很容易滑移跑偏,掃出來的輪廓線硬生生缺了一截,邊緣區(qū)域的面型誤差完全測不到。更糟的是,單點(diǎn)接觸的掃描速度極慢,單件檢測要耗幾分鐘,根本跟不上模壓機(jī)的節(jié)拍,只能做抽檢,漏檢率高得嚇人。
換成實(shí)驗(yàn)室常用的白光干涉儀,精度倒是夠,可一進(jìn)產(chǎn)線就水土不服。它靠垂直掃描干涉成像,對振動(dòng)極其敏感,車間里風(fēng)機(jī)、機(jī)臺的微振動(dòng)都會讓干涉條紋模糊;而且掃描景深有限,非球面的矢高稍大就會超出測量范圍,加上掃描耗時(shí)久,量產(chǎn)線上只能當(dāng)“擺設(shè)”,沒法做全檢。
激光三角法看似速度快、非接觸,卻栽在了坡面角度上。它依賴斜射反射光取數(shù),非球面曲率連續(xù)變化,坡面傾角忽大忽小,反射光要么偏離接收端,要么被鏡面反光淹沒,數(shù)據(jù)頻繁跳變。工程師試圖用多點(diǎn)擬合修補(bǔ)缺陷,結(jié)果反而把真實(shí)的面型波紋平滑掉,誤差越修越大,完全誤導(dǎo)工藝調(diào)試方向。

說到底,非球面的特殊性——曲率無規(guī)律漸變、局部坡度陡峭、鏡面高反光、量產(chǎn)節(jié)拍快,把傳統(tǒng)測量的先天短板無限放大,想靠微調(diào)參數(shù)補(bǔ)窟窿,根本是徒勞。


光譜共焦破局:點(diǎn)測量+高角度適配,抓住非球面的真實(shí)輪廓

我們帶著光譜共焦測頭進(jìn)場調(diào)試時(shí),沒急著堆參數(shù),而是先盯著產(chǎn)線痛點(diǎn)找匹配度:非球面需要非接觸無損傷、陡坡不跑偏、高速掃得完、數(shù)據(jù)夠真實(shí),而光譜共焦的核心特性,剛好踩中所有需求。
它不靠接觸施壓,也不依賴干涉成像,而是利用白光色散聚焦原理,把不同波長的光聚焦在不同高度,通過解析反射光的波長,精準(zhǔn)算出測點(diǎn)的位移值。這套邏輯放在非球面測量上,優(yōu)勢直接拉滿:
首先是角度適應(yīng)性極強(qiáng),主流測頭能覆蓋±60°的坡面傾角,對付30°左右的非球面陡坡綽綽有余。不管曲面曲率怎么變,反射光都能原路回傳接收端,不會出現(xiàn)三角法的信號逃逸,陡坡區(qū)域也能穩(wěn)穩(wěn)抓到有效數(shù)據(jù)。
其次是純點(diǎn)測量、無損傷掃描,光斑聚焦在微米級,不接觸鏡片表面,杜絕壓痕、劃傷風(fēng)險(xiǎn),塑料、玻璃材質(zhì)的非球面都能適配。而且點(diǎn)測量的模式支持離散采樣,想密就密、想疏就疏,剛好匹配非球面面型重建的點(diǎn)云需求。

最后是高速采樣不拖節(jié)拍,測頭采樣頻率能拉到10kHz以上,配合二維掃描平臺,能快速鋪滿整個(gè)鏡片曲面,生成高密度點(diǎn)云,把傳統(tǒng)設(shè)備漏掉的細(xì)微波紋、局部凹凸,全都還原得清清楚楚。


量產(chǎn)落地關(guān)鍵:參數(shù)配錯(cuò)白搭,踩坑點(diǎn)往往藏在細(xì)節(jié)里

光譜共焦不是插上電就能用,想把面型測準(zhǔn)、把良品率拉起來,參數(shù)配置和產(chǎn)線細(xì)節(jié)必須摳到位,這也是實(shí)驗(yàn)室精度和量產(chǎn)精度的核心鴻溝。
針對這款φ6mm、中心厚0.8mm、面型PV<0.3μm的手機(jī)非球面鏡片,我們敲定了一套量產(chǎn)級參數(shù):
光斑選φ5-8μm,口徑不大的鏡片用小光斑,既能捕捉微米級的面型瑕疵,又不會因?yàn)楣獍哌^小受鏡片表面微塵干擾;量程定±2mm,剛好覆蓋鏡片矢高,小量程能換得更高的垂直分辨率,避免大量程帶來的精度損耗;采樣密度設(shè)為100×100點(diǎn),既保證面型重建完整,又不浪費(fèi)掃描時(shí)間,平衡精度與效率。
說起來,產(chǎn)線最容易踩的坑,從來不是設(shè)備本身,而是配套細(xì)節(jié)。這家客戶最初調(diào)試時(shí),數(shù)據(jù)反復(fù)漂移,排查半天才發(fā)現(xiàn)三個(gè)致命問題:
一是裝夾應(yīng)力變形,硬質(zhì)夾具夾得太緊,薄型塑料鏡片發(fā)生微米級形變,測出來的面型誤差全是假的;二是溫度漂移沒補(bǔ)償,車間溫差2℃,測頭和鏡片的熱脹冷縮就會帶來數(shù)據(jù)偏移;三是基準(zhǔn)沒對齊,直接把原始點(diǎn)云當(dāng)面型誤差算,忽略了鏡片裝夾的傾斜偏差,結(jié)果越算越錯(cuò)。

整改也很簡單:換柔性真空吸盤裝夾,杜絕應(yīng)力形變;給測頭加恒溫護(hù)套,開機(jī)預(yù)熱30分鐘;先做基準(zhǔn)平面校準(zhǔn),再做曲面點(diǎn)云擬合,把裝夾誤差剝離干凈。調(diào)整之后,數(shù)據(jù)穩(wěn)定性立刻翻了倍。


量化結(jié)果說話:從85%到98%,良品率的逆襲

方案落地后,我們做了連續(xù)72小時(shí)量產(chǎn)驗(yàn)證,數(shù)據(jù)遠(yuǎn)比實(shí)驗(yàn)室報(bào)表更有說服力:
  • 面型重復(fù)性:單件鏡片連續(xù)測量10次,PV值波動(dòng)≤0.02μm,RMS一致性控制在0.01μm以內(nèi),數(shù)據(jù)穩(wěn)定性遠(yuǎn)超傳統(tǒng)設(shè)備;

  • 量產(chǎn)效率:單件全檢時(shí)間壓縮至8秒,完全跟上模壓產(chǎn)線節(jié)拍,實(shí)現(xiàn)全檢無遺漏;

  • 良品率提升:精準(zhǔn)捕捉到模壓過程中微小的面型波紋,工藝工程師依據(jù)真實(shí)點(diǎn)云數(shù)據(jù)微調(diào)模溫、壓力參數(shù),短短兩天,良品率從85%飆升至98%,客訴問題徹底解決。

當(dāng)然,光譜共焦也不是萬能的。遇到口徑>50mm的超大非球面,或是矢高過深、坡度接近60°的極限陡面,光斑覆蓋范圍和信號強(qiáng)度會有所衰減,面型重建的邊緣精度會略有下降,需要搭配轉(zhuǎn)臺、變倍鏡頭做專項(xiàng)優(yōu)化,才能達(dá)到理想效果。


復(fù)盤反思:自由曲面時(shí)代,測量的挑戰(zhàn)才剛剛開始

這次案例解決的是當(dāng)下手機(jī)非球面的量產(chǎn)痛點(diǎn),可站在光學(xué)行業(yè)迭代的角度,這只是個(gè)開始。
現(xiàn)在車載光學(xué)、醫(yī)療內(nèi)窺鏡已經(jīng)開始普及自由曲面鏡片,相比非球面,它的曲面更無規(guī)律、曲率變化更極端,對面型測量的點(diǎn)云密度、算法擬合速度、精度要求都翻了倍。
我一直在和客戶探討一個(gè)問題:當(dāng)自由曲面成為主流,現(xiàn)有的光譜共焦掃描速度和點(diǎn)云處理算法,能不能扛住更高密度的采樣需求?如何在極致精度和量產(chǎn)效率之間找到新的平衡點(diǎn)?
精密光學(xué)測量從來不是拼參數(shù)榜單,而是貼著產(chǎn)線的真實(shí)痛點(diǎn),把“測得到”變成“測得準(zhǔn)、測得快、能量產(chǎn)”。如果你也在鏡片面型檢測上踩過坑,或是有自由曲面測量的實(shí)操難題,歡迎一起聊聊落地解法。


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    2025 - 03 - 04
    一、核心參數(shù)對比表參數(shù)項(xiàng)LK-G08(基恩士)LTPD08(泓川科技國產(chǎn))參考距離8 mm8 mm檢測范圍±0.8 mm±0.8 mm線性度±0.05% F.S.±0.03% F.S.重復(fù)精度0.02 μm0.03 μm采樣頻率20 μs1 ms(6檔可調(diào))6.25 μs1 ms(多檔可調(diào))激光類別1類(JIS C6802)2類(安全等級更高)光源功率0.3 mW0.5 mW(可定制更高功率)防護(hù)等級未標(biāo)注IP67工作溫度+10+40°C0+50°C(可定制-4070°C)通訊接口未標(biāo)注RS485、TCP/IP、開發(fā)包支持供電電壓-DC 936V(±10%波動(dòng)兼容)重量245 g213 g二、性能差異深度解析1. 測量性能精度與速度: LK-G08在重復(fù)精度(0.02μm)上略優(yōu),適合超精密場景;而LTPD08的線性度(±0.03% F.S.)更優(yōu),且在采樣頻率上支持最高6.25μs(縮小量程時(shí)可達(dá)160kHz),動(dòng)態(tài)響應(yīng)能力更強(qiáng)。激光適應(yīng)性: LTPD08提供405nm藍(lán)光版本可選,可應(yīng)對高反光或透明材質(zhì)測量,基恩士僅支持655nm紅光。2. 環(huán)境適應(yīng)性防護(hù)等級: LTPD08的IP67防護(hù)顯著優(yōu)于未標(biāo)注防護(hù)的LK-G08,適...
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    2023 - 09 - 16
    大家好,今天給大家詳細(xì)說明下目前我們市面上用的激光位移傳感器內(nèi)部構(gòu)造及詳細(xì)原理、應(yīng)用、市場種類、及未來發(fā)展,我在網(wǎng)上搜索了很多資料,發(fā)現(xiàn)各大平臺或者廠商提供的信息大多千篇一律或者式只言片語,要么是之說出大概原理,要買只講出產(chǎn)品應(yīng)用,對于真正想了解激光位移傳感器三角回差原理的朋友們來說總是沒有用辦法說透,我今天花點(diǎn)時(shí)間整理了各大平臺的大牛們的解釋,再結(jié)合自己對產(chǎn)品這么多年來的認(rèn)識,整理出以下這篇文章,希望能給想要了解這種原理的小伙伴一點(diǎn)幫助!好了廢話不多說我們直接上干貨首先我們要說明市面上的激光測量位移或者距離的原理有很多,比如最常用的激光三角原理,TOF時(shí)間飛行原理,光譜共焦原理和相位干涉原理,我們今天給大家詳細(xì)介紹的是激光三角測量法和激光回波分析法,激光三角測量法一般適用于高精度、短距離的測量,而激光回波分析法則用于遠(yuǎn)距離測量,下面分別介紹激光三角測量原理和激光回波分析原理。讓我們給大家分享一個(gè)激光位移傳感器原理圖,一般激光位移傳感器采用的基本原理是光學(xué)三角法:半導(dǎo)體激光器:半導(dǎo)體激光器①被鏡片②聚焦到被測物體⑥。反射光被鏡片③收集,投射到CMOS陣列④上;信號處理器⑤通過三角函數(shù)計(jì)算陣列④上的光點(diǎn)位置得到距物體的距離。一 、激光位移傳感器原理之激光三角測量法原理1.激光發(fā)射器通過鏡頭將可見紅色激光射向被測物體表面,經(jīng)物體反射的激光通過接收器鏡頭,被內(nèi)部的CCD線性相機(jī)接收,根據(jù)...
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    2024 - 01 - 21
    白光干涉測厚儀是一種非接觸式測量設(shè)備,廣泛應(yīng)用于測量晶圓上液體薄膜的厚度。其原理基于分光干涉原理,通過利用反射光的光程差來測量被測物的厚度。白光干涉測厚儀工作原理是將寬譜光(白光)投射到待測薄膜表面上,并分析返回光的光譜。被測物的上下表面各形成一個(gè)反射,兩個(gè)反射面之間的光程差會導(dǎo)致不同波長(顏色)的光互相增強(qiáng)或者抵消。通過詳細(xì)分析返回光的光譜,可以得到被測物的厚度信息。白光干涉測厚儀在晶圓水膜厚度測量中具有以下優(yōu)勢:1. 測量范圍廣:能夠測量幾微米到1mm左右范圍的厚度。2. 小光斑和高速測量:采用SLD(Superluminescent Diode)作為光源,具有小光斑和高速測量的特點(diǎn),能夠?qū)崿F(xiàn)快速準(zhǔn)確的測量。下面是使用白光干涉測厚儀測量晶圓上水膜厚度的詳細(xì)步驟:1. 準(zhǔn)備工作:確保待測晶圓樣品表面清潔平整,無雜質(zhì)和氣泡。2. 參數(shù)設(shè)置:調(diào)整白光干測厚涉儀到合適的工作模式,并確定合適的測量參數(shù)和光學(xué)系統(tǒng)設(shè)置。根據(jù)具體要求選擇光譜范圍、采集速度等參數(shù)。3. 樣品放置:將待測晶圓放置在白光干涉測厚儀的測量臺上,并固定好位置,使其與光學(xué)系統(tǒng)保持穩(wěn)定的接觸。確保樣品與測量臺平行,并避免外界干擾因素。4. 啟動(dòng)測量:啟動(dòng)白光干涉測厚儀,開始測量水膜厚度。通過記錄和分析返回光的光譜,可以得到晶圓上水膜的厚度信息??梢酝ㄟ^軟件實(shí)時(shí)顯示和記錄數(shù)據(jù)。5. 連續(xù)監(jiān)測:對于需要連續(xù)監(jiān)測晶圓上水膜厚度變...
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    2025 - 03 - 27
    1. 引言在工業(yè)自動(dòng)化領(lǐng)域,激光位移傳感器是實(shí)現(xiàn)高精度非接觸測量的核心器件?;魇?IL-S025 作為市場主流產(chǎn)品,以其 1μm 重復(fù)精度和穩(wěn)定性能著稱。然而,隨著國產(chǎn)傳感器技術(shù)的突破,泓川科技 LTM3-030/LTM3-030W 型號憑借更高的性能參數(shù)和經(jīng)濟(jì)性,為用戶提供了新的選擇。本文將從技術(shù)參數(shù)、性能表現(xiàn)、應(yīng)用場景等方面,深入對比分析兩者的替代可行性。 2. 核心技術(shù)參數(shù)對比參數(shù)基恩士 IL-S025泓川科技 LTM3-030/LTM3-030W對比結(jié)論重復(fù)精度1μm0.25μm(LTM3-030)/ 0.25μm(LTM3-030W)LTM3 系列更優(yōu)(4 倍精度提升)線性誤差±0.075% F.S.(±5mm 范圍)LTM3-030W 更優(yōu)(接近 IL-S025)測量范圍±5mm(參考距離 25mm)±5mm(參考距離 30mm)等效采樣頻率3kHz(采樣周期 0.33ms)10kHzLTM3 系列更優(yōu)(3倍速度提升)光斑尺寸25×1200μm(線性光斑)Φ35μm(M3-030)/ Φ35×400μm(M3-030W)LTM3 系列光斑更?。c(diǎn)光斑更聚焦)光源類型660nm 激光(Class 2)655nm 激光(Class 2)等效接口配置需外接放大器單元(支持 EtherNet/IP 等)...
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藍(lán)光光源激光位移傳感器:優(yōu)勢、原理與特殊場景解決方案 —— 泓川科技 LTP 系列 405nm 定制... 2025 - 10 - 21 在工業(yè)精密測量中,傳統(tǒng)紅光激光位移傳感器常受高反射、半透明、高溫紅熱等特殊場景限制,而藍(lán)光光源(405nm 波長)憑借獨(dú)特物理特性實(shí)現(xiàn)突破。以下通過 “一問一答” 形式,詳解藍(lán)光傳感器的優(yōu)勢、原理構(gòu)造,并結(jié)合泓川科技 LTP 系列定制方案,看其如何解決特殊環(huán)境測量難題。1. 藍(lán)光光源激光位移傳感器相比傳統(tǒng)紅光,核心優(yōu)勢是什么?藍(lán)光傳感器的核心優(yōu)勢源于 405nm 波長的物理特性,相比傳統(tǒng) 655nm 左右的紅光,主要體現(xiàn)在三方面:更高橫向分辨率:根據(jù)瑞利判據(jù),光學(xué)分辨率與波長成反比。藍(lán)光波長僅為紅光的 62%(405nm/655nm≈0.62),相同光學(xué)系統(tǒng)下橫向分辨率可提升約 38%,能形成更小光斑(如泓川 LTP025 藍(lán)光版光斑最小達(dá) Φ18μm),適配芯片針腳、晶圓等微米級結(jié)構(gòu)測量。更強(qiáng)信號穩(wěn)定性:藍(lán)光單光子能量達(dá) 3.06eV,遠(yuǎn)高于紅光的 2.05eV。在低反射率材料(如橡膠、有機(jī)涂層)表面,能激發(fā)出更強(qiáng)散射信號;同時(shí)穿透性更低,僅在材料表層作用,避免內(nèi)部折射干擾,適合表面精準(zhǔn)測量。更優(yōu)抗干擾能力:藍(lán)光波段與紅熱輻射(500nm 以上)、戶外強(qiáng)光(可見光為主)重疊度低,搭配專用濾光片后,可有效隔絕高溫物體自發(fā)光、陽光直射等干擾,這是紅光難以實(shí)現(xiàn)的。2. 藍(lán)光激光位移傳感器的原理構(gòu)造是怎樣的?為何能實(shí)現(xiàn)高精度測量?藍(lán)光傳感器的高精度的核心是 “光學(xué)設(shè)計(jì) + 信號處理 + ...
泓川科技國產(chǎn)系列光譜共焦/激光位移傳感器/白光干涉測厚產(chǎn)品性能一覽 2025 - 09 - 05 高精度測量傳感器全系列:賦能精密制造,適配多元檢測需求聚焦半導(dǎo)體、光學(xué)膜、機(jī)械加工等領(lǐng)域的精密檢測核心痛點(diǎn),我們推出全系列高性能測量傳感器,覆蓋 “測厚、對焦、位移” 三大核心應(yīng)用場景,以 “高精準(zhǔn)、高速度、高適配” 為設(shè)計(jì)核心,為您的工藝控制與質(zhì)量檢測提供可靠技術(shù)支撐。以下為各產(chǎn)品系列的詳細(xì)介紹:1.LTS-IR 紅外干涉測厚傳感器:半導(dǎo)體材料測厚專屬核心用途:專為硅、碳化硅、砷化鎵等半導(dǎo)體材料設(shè)計(jì),精準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)晶圓等器件的厚度測量。性能優(yōu)點(diǎn):精度卓越:±0.1μm 線性精度 + 2nm 重復(fù)精度,確保測量數(shù)據(jù)穩(wěn)定可靠;量程適配:覆蓋 10μm2mm 測厚范圍,滿足多數(shù)半導(dǎo)體材料檢測需求;高效高速:40kHz 采樣速度,快速捕捉厚度數(shù)據(jù),適配在線檢測節(jié)奏;靈活適配:寬范圍工作距離設(shè)計(jì),可靈活匹配不同規(guī)格的檢測設(shè)備與場景。2. 分體式對焦傳感器:半導(dǎo)體 / 面板缺陷檢測的 “高速對焦助手”核心用途:針對半導(dǎo)體、面板領(lǐng)域的高精度缺陷檢測場景,提供高速實(shí)時(shí)對焦支持,尤其適配顯微對焦類檢測設(shè)備。性能優(yōu)點(diǎn):對焦速度快:50kHz 高速對焦,同步匹配缺陷檢測的實(shí)時(shí)性需求;對焦精度高:0.5μm 對焦精度,保障缺陷成像清晰、檢測無偏差;設(shè)計(jì)靈活:分體式結(jié)構(gòu),可根據(jù)檢測設(shè)備的安裝空間與布局靈活調(diào)整,降低適配難度。3. LT-R 反射膜厚儀:極薄膜厚檢測的 “精密管家”核心用途:專注于極薄膜...
多方面研究泓川科技LTP系列大量程全國產(chǎn)激光位移傳感器 2025 - 09 - 02 泓川科技激光位移傳感器產(chǎn)品技術(shù)報(bào)告尊敬的客戶: 感謝您對泓川科技激光位移傳感器產(chǎn)品的關(guān)注與信任。為幫助您全面了解我司產(chǎn)品,現(xiàn)將激光位移傳感器相關(guān)技術(shù)信息從參數(shù)指標(biāo)、設(shè)計(jì)原理、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)等八大核心維度進(jìn)行詳細(xì)說明,為您的選型、使用及維護(hù)提供專業(yè)參考。一、參數(shù)指標(biāo)我司激光位移傳感器涵蓋 LTP400 系列與 LTP450 系列,各型號核心參數(shù)經(jīng)納米級高精度激光干涉儀標(biāo)定驗(yàn)證,確保數(shù)據(jù)精準(zhǔn)可靠,具體參數(shù)如下表所示:表 1:LTP400EA參數(shù)表參數(shù)類別具體參數(shù)LTP400EA備注基礎(chǔ)測量參數(shù)測量中心距離400mm以量程中心位置計(jì)算(*1)量程200mm-重復(fù)精度(靜態(tài))3μm測量標(biāo)準(zhǔn)白色陶瓷樣件,50kHz 無平均,取 65536 組數(shù)據(jù)均方根偏差(*2)線性度±0.03%F.S.(F.S.=200mm)采用納米級激光干涉儀標(biāo)定(*3)光源與光斑光源類型-激光功率可定制,部分型號提供 405nm 藍(lán)光版本(*4)光束直徑聚焦點(diǎn)光斑 Φ300μm中心位置直徑,兩端相對變大(*5)電氣參數(shù)電源電壓DC9-36V-功耗約 2.5W-短路保護(hù)反向連接保護(hù)、過電流保護(hù)-輸出與通信模擬量輸出(選配)電壓:0-5V/010V/-1010V;電流:420mA探頭可獨(dú)立提供電壓、電流與 RS485 輸出(*6)通訊接口RS485 串口、TCP/IP 網(wǎng)口可選配模擬電壓 / 電流輸出模塊(*7)響應(yīng)...
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