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高速高精度激光位移傳感器LTP系列 可替代keyence基恩士LK-G系列

上市日期: 2021-04-20

高韌性線纜,配備至機(jī)器人時(shí)也可放心使用。

完全符合 IP67 標(biāo)準(zhǔn)的連接器,在潮濕或粉塵較多的現(xiàn)場(chǎng)環(huán)

境中也可放心使用,傳感頭也完全符合 IP67 標(biāo)準(zhǔn)。

光量自動(dòng)調(diào)節(jié)功能,有效提高光亮調(diào)整的靈敏度,自動(dòng)根據(jù)

不同被測(cè)物的反光度調(diào)節(jié)激光亮度范圍。

定制物鏡可將不規(guī)則的光束消除,同時(shí)將畸變的影響降至最

低,大幅提高測(cè)量系統(tǒng)的線性精度。


Top / 精選推薦
  • 發(fā)布時(shí)間: 2023 - 12 - 09
    10kHz的超快采樣速度LTS采用了高亮度的彩色光源、高效率的光學(xué)鏡組和高靈敏度的電子器件,能夠?qū)崿F(xiàn)行業(yè)領(lǐng)先的采樣 速度,從而幫助客戶提高測(cè)量效率和加快產(chǎn)線的節(jié)拍。+20nm的超高線性精度獨(dú)立設(shè)計(jì)的高空間分辨率的白光干涉光學(xué)探頭,能夠帶來(lái)極為出色的線性特性?;诟缮嬖淼臏y(cè)厚探頭,無(wú)原理層面引入的非線性因素,只需要考慮光譜分析過(guò)程中的非線性誤差。1nm的超高重復(fù)精度采用高靈敏度、高信噪比的元器件,同時(shí)在探頭中實(shí)現(xiàn)內(nèi)部信號(hào)數(shù)字化,大大減小了噪聲干擾。同時(shí)基于干涉的測(cè)厚方式能夠大大提高傳感器對(duì)外部擾動(dòng)的抑制能力。
  • 發(fā)布時(shí)間: 2021 - 09 - 06
    基于調(diào)頻連續(xù)波(FMCW)的相干接收原理,高精度的測(cè)距。實(shí)現(xiàn)微米級(jí)的遠(yuǎn)距準(zhǔn)確測(cè)距。通過(guò)集成光學(xué)原理實(shí)現(xiàn)超高精度的測(cè)量硅基光電集成技術(shù),一體化的光學(xué)封裝技術(shù),實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體激光器和探測(cè)器集成統(tǒng)一光學(xué)傳感模組。非凡的抗干擾性和穩(wěn)定性不受材質(zhì)顏色、環(huán)境光等干擾同軸測(cè)量無(wú)死角輕量、便攜無(wú)需控制器、放大器等,只一個(gè)傳感器即可測(cè)量。數(shù)字化 可與多個(gè)開(kāi)放式現(xiàn)場(chǎng)網(wǎng)絡(luò)兼容。檢測(cè)不受限通過(guò)物體的表面反射或遮光量進(jìn)行檢測(cè),可檢測(cè)大多數(shù)物體(玻璃、金屬、塑料、木料及液體等)。長(zhǎng)距離 高功率傳感器,輕松進(jìn)行長(zhǎng)距離檢測(cè)。非接觸采用激光非接觸測(cè)量方法,對(duì)被測(cè)設(shè)備無(wú)任何影響且不會(huì)產(chǎn)生接觸劃痕。壽命較長(zhǎng),無(wú)需進(jìn)行維護(hù)。同軸回光 支持狹小空間間隙檢測(cè)。高精度 小光斑可精確檢測(cè)小微型物體。穩(wěn)定檢測(cè) 根據(jù)工件設(shè)置最優(yōu)的激光發(fā)射功率以及增益。
  • 發(fā)布時(shí)間: 2021 - 08 - 12
    泓川科技LTC全系列光譜共焦傳感器,量程橫跨±0.05mm至±25mm,0.02%FS線性精度+30kHz超高速采樣,支持Φ1.7μmΦ400μm三級(jí)光斑配置。深孔內(nèi)壁(LTCR側(cè)向出光)、透明多層測(cè)厚(LTC7000S)、超高溫場(chǎng)景(200°C定制)全覆蓋,適配21kHz高速控制器(LT-CCH)及16通道同步系統(tǒng)。專(zhuān)為半導(dǎo)體晶圓、新能源極片、航空航天精密件、醫(yī)療植入物等高端制造領(lǐng)域提供國(guó)產(chǎn)高性價(jià)比替代方案,重新定義工業(yè)檢測(cè)新標(biāo)準(zhǔn)!
  • 發(fā)布時(shí)間: 2021 - 04 - 20
    高韌性線纜,配備至機(jī)器人時(shí)也可放心使用。完全符合 IP67 標(biāo)準(zhǔn)的連接器,在潮濕或粉塵較多的現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境中也可放心使用,傳感頭也完全符合 IP67 標(biāo)準(zhǔn)。光量自動(dòng)調(diào)節(jié)功能,有效提高光亮調(diào)整的靈敏度,自動(dòng)根據(jù)不同被測(cè)物的反光度調(diào)節(jié)激光亮度范圍。定制物鏡可將不規(guī)則的光束消除,同時(shí)將畸變的影響降至最低,大幅提高測(cè)量系統(tǒng)的線性精度。
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  • 1
    2023 - 09 - 20
    首先,讓我們對(duì)TOF進(jìn)行一次短暫的“速讀”——它全稱叫'time-of-flight',中文怎么說(shuō)呢?風(fēng)格灑脫地稱之為“飛行時(shí)間”。你沒(méi)聽(tīng)錯(cuò),就是“飛行時(shí)間”。所有的顛覆與創(chuàng)新始于赤裸裸的想象,對(duì)吧?再來(lái)回過(guò)頭,看看我們的主角TOF激光測(cè)距傳感器。激光這東西,我想你肯定不陌生??苹么笃t(yī)美廣告里都被頻繁提及。對(duì)這位明星,我們暫時(shí)按下暫停鍵, 我們聊一聊測(cè)距傳感器——那可是能把復(fù)雜的三維世界,硬是證明成一串串精準(zhǔn)數(shù)據(jù)的硬核工具。當(dāng)然,他倆的組合,并不是偶然撞壁造成的火花。在“鷹眼”TOF的身上,激光變得更加酷炫,傳感器技術(shù)也變得更為深邃。他們共舞的主線,就是光的飛行時(shí)間。想象一下,要在現(xiàn)實(shí)世界計(jì)算出光從物體發(fā)射出來(lái),然后反射回傳感器的時(shí)間。你愣了一秒,覺(jué)得好像進(jìn)入了'黑洞'的領(lǐng)域。實(shí)則不然,TOF激光測(cè)距傳感器就是這樣“耳提面命”。它以光速旅行者的姿態(tài),穿越空間,告訴我們物體與之間的距離。親,你有聽(tīng)說(shuō)過(guò)光速嗎?大約每秒走30萬(wàn)公里哦,這個(gè)速度足夠你在一秒鐘內(nèi)去繞地球七點(diǎn)五圈了!TOF激光測(cè)距傳感器就是他們利用這么一個(gè)迅疾的光速,再加上高精度的時(shí)鐘,來(lái)高效精確地計(jì)算出飛行時(shí)間并轉(zhuǎn)化為距離數(shù)據(jù)。小編想說(shuō),TOF不僅玩科技,他更玩智謀,戰(zhàn)勝了同類(lèi)的超聲波、紅外線等測(cè)距設(shè)備。畢竟,被物的顏色、亮度、表面材質(zhì),或者環(huán)境的溫濕度對(duì)他來(lái)說(shuō)都不構(gòu)成鎖鏈。準(zhǔn)確到“下毛...
  • 2
    2025 - 03 - 06
    背景與挑戰(zhàn)隨著電子封裝技術(shù)的快速發(fā)展,直接鍍銅陶瓷基板(DPC)因具備優(yōu)異的導(dǎo)熱性、機(jī)械強(qiáng)度及耐高溫性能,被廣泛應(yīng)用于大功率LED、IGBT模塊等領(lǐng)域。然而,其表面金屬鍍層的厚度均勻性直接影響器件的散熱效率與可靠性。某客戶需對(duì)一批DPC基板進(jìn)行全檢,要求**在正反面各選取10個(gè)金屬塊(含2個(gè)重復(fù)基準(zhǔn)點(diǎn))**進(jìn)行高精度厚度測(cè)量,并同步獲取表面輪廓與中心區(qū)高度數(shù)據(jù),以滿足嚴(yán)格的工藝質(zhì)量控制標(biāo)準(zhǔn)。解決方案針對(duì)客戶需求,我們采用LTC1200系列光譜共焦傳感器(配套高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)與測(cè)控軟件),設(shè)計(jì)了一套非接觸式三維測(cè)厚方案:設(shè)備選型量程:±600μm(覆蓋金屬層典型厚度范圍)重復(fù)精度:0.03μm(靜態(tài),確保基準(zhǔn)點(diǎn)數(shù)據(jù)一致性)線性誤差:<±0.3μm(滿足亞微米級(jí)公差要求)采樣頻率:10kHz(高速掃描提升檢測(cè)效率)選用LTC1200B型號(hào)傳感器(光斑直徑約19μm),兼顧測(cè)量精度與金屬表面反射特性需求,其技術(shù)參數(shù)如下:搭配亞微米級(jí)定位平臺(tái),確保掃描路徑精確控制?;鶞?zhǔn)點(diǎn)設(shè)定以陶瓷基板裸露區(qū)域作為基準(zhǔn)面,在正反面各設(shè)置2個(gè)重復(fù)測(cè)量點(diǎn),通過(guò)傳感器實(shí)時(shí)比對(duì)基準(zhǔn)高度數(shù)據(jù),消除基板翹曲或裝夾誤差對(duì)厚度計(jì)算的影響。實(shí)施流程數(shù)據(jù)采集:沿預(yù)設(shè)路徑掃描金屬塊,同步記錄輪廓點(diǎn)云與中心區(qū)高度(軟件自動(dòng)擬合最高點(diǎn)作為厚度參考值)。厚度計(jì)算:基于公式:\text{金屬層厚度} = \text{金...
  • 3
    2023 - 09 - 25
    由于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的復(fù)雜性和精密性,對(duì)晶圓切割的技術(shù)要求極高,傳統(tǒng)的機(jī)械切割方式已經(jīng)無(wú)法滿足現(xiàn)代電子行業(yè)的需求。在這種情況下,光譜共焦位移傳感器配合激光隱切技術(shù)(激光隱形切割)在晶圓切割中發(fā)揮了重要作用。以下將詳細(xì)介紹這種新型高效切割技術(shù)的應(yīng)用案例及其優(yōu)勢(shì)。原理:利用小功率的激光被光譜共焦位移傳感器設(shè)定的預(yù)定路徑所導(dǎo),聚焦在直徑只有100多納米的光斑上,形成巨大的局部能量,然后根據(jù)這個(gè)能量將晶圓切割開(kāi)。光譜共焦位移傳感器在切割過(guò)程中實(shí)時(shí)檢測(cè)切口深度和位置,確保切口的深廣和位置的精確性。激光隱切與光譜共焦位移傳感器結(jié)合的應(yīng)用案例:以某種先進(jìn)的半導(dǎo)體制程為例,晶圓經(jīng)過(guò)深刻蝕、清洗、擴(kuò)散等步驟后,需要進(jìn)行精確切割。在這個(gè)過(guò)程中,首先,工程師根據(jù)需要的切割圖案在軟件上設(shè)定好切割路徑,然后切割機(jī)通過(guò)光譜共焦位移傳感器引導(dǎo)激光按照預(yù)定的路徑且此過(guò)程工程師可以實(shí)時(shí)觀察和測(cè)量切口深度和位置。優(yōu)點(diǎn):這種技術(shù)最大的優(yōu)勢(shì)就是它能夠?qū)崿F(xiàn)超微細(xì)切割,避免了大功率激光對(duì)芯片可能會(huì)帶來(lái)的影響。另外,因?yàn)榍懈畹纳疃群臀恢每梢詫?shí)時(shí)調(diào)控,這 法也非常具有靈活性。同時(shí),由于使用光譜共焦位移傳感器精確控制切割的深度和位置,所以切割出來(lái)的晶圓表面平整,質(zhì)量更好。總的來(lái)看,光譜共焦位移傳感器配合激光隱切在晶圓切割中的應(yīng)用,不僅提升了生產(chǎn)效率,減少了廢品率,而且大幅度提升了產(chǎn)品質(zhì)量,對(duì)于當(dāng)前和未來(lái)的半導(dǎo)體行業(yè)都將是一個(gè)革新的技...
  • 4
    2024 - 03 - 05
    非接觸式激光位移傳感器在生產(chǎn)線上的應(yīng)用具有多方面的優(yōu)勢(shì),下面將從精度、速度、可靠性、靈活性和安全性等方面進(jìn)行逐一分析,并通過(guò)具體的應(yīng)用場(chǎng)景來(lái)說(shuō)明其應(yīng)用價(jià)值。同時(shí),還會(huì)與傳統(tǒng)的接觸式傳感器進(jìn)行比較,以突顯非接觸式激光位移傳感器的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)。精度:非接觸式激光位移傳感器采用激光三角測(cè)量法,具有極高的測(cè)量精度。例如,在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,需要精確控制薄膜的厚度,非接觸式激光位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)微米級(jí)的測(cè)量精度,從而確保產(chǎn)品質(zhì)量。相比之下,傳統(tǒng)接觸式傳感器可能會(huì)因?yàn)榻佑|力度的不同而影響測(cè)量精度。速度:非接觸式激光位移傳感器具有快速響應(yīng)的特點(diǎn),可以在生產(chǎn)線上實(shí)現(xiàn)高速測(cè)量。例如,在包裝機(jī)械中,需要實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)包裝材料的位置和速度,非接觸式激光位移傳感器可以迅速捕捉到這些變化,從而確保包裝過(guò)程的順利進(jìn)行。而傳統(tǒng)接觸式傳感器可能會(huì)因?yàn)榻佑|摩擦等因素而影響測(cè)量速度??煽啃裕悍墙佑|式激光位移傳感器無(wú)需與目標(biāo)物體直接接觸,因此可以避免因摩擦、磨損等因素導(dǎo)致的傳感器損壞。此外,非接觸式傳感器還具有較好的抗干擾能力,可以在惡劣的生產(chǎn)環(huán)境中穩(wěn)定工作。相比之下,傳統(tǒng)接觸式傳感器更容易受到環(huán)境因素的影響而出現(xiàn)故障。靈活性:非接觸式激光位移傳感器可以適應(yīng)不同的測(cè)量需求,通過(guò)調(diào)整激光發(fā)射角度、接收透鏡焦距等參數(shù),可以實(shí)現(xiàn)不同距離、不同角度的測(cè)量。此外,非接觸式傳感器還可以與計(jì)算機(jī)、PLC等設(shè)備進(jìn)行連接,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制和數(shù)據(jù)處理...
  • 5
    2025 - 03 - 27
    1. 引言在工業(yè)自動(dòng)化領(lǐng)域,激光位移傳感器是實(shí)現(xiàn)高精度非接觸測(cè)量的核心器件?;魇?IL-S025 作為市場(chǎng)主流產(chǎn)品,以其 1μm 重復(fù)精度和穩(wěn)定性能著稱。然而,隨著國(guó)產(chǎn)傳感器技術(shù)的突破,泓川科技 LTM3-030/LTM3-030W 型號(hào)憑借更高的性能參數(shù)和經(jīng)濟(jì)性,為用戶提供了新的選擇。本文將從技術(shù)參數(shù)、性能表現(xiàn)、應(yīng)用場(chǎng)景等方面,深入對(duì)比分析兩者的替代可行性。 2. 核心技術(shù)參數(shù)對(duì)比參數(shù)基恩士 IL-S025泓川科技 LTM3-030/LTM3-030W對(duì)比結(jié)論重復(fù)精度1μm0.25μm(LTM3-030)/ 0.25μm(LTM3-030W)LTM3 系列更優(yōu)(4 倍精度提升)線性誤差±0.075% F.S.(±5mm 范圍)LTM3-030W 更優(yōu)(接近 IL-S025)測(cè)量范圍±5mm(參考距離 25mm)±5mm(參考距離 30mm)等效采樣頻率3kHz(采樣周期 0.33ms)10kHzLTM3 系列更優(yōu)(3倍速度提升)光斑尺寸25×1200μm(線性光斑)Φ35μm(M3-030)/ Φ35×400μm(M3-030W)LTM3 系列光斑更小(點(diǎn)光斑更聚焦)光源類(lèi)型660nm 激光(Class 2)655nm 激光(Class 2)等效接口配置需外接放大器單元(支持 EtherNet/IP 等)...
  • 6
    2025 - 01 - 16
    一、引言1.1 研究背景與目的在汽車(chē)行業(yè)邁向智能化與自動(dòng)化的進(jìn)程中,先進(jìn)駕駛輔助系統(tǒng)(ADAS)作為關(guān)鍵技術(shù),正發(fā)揮著愈發(fā)重要的作用。ADAS 憑借多種傳感器與智能算法,能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)車(chē)輛周邊環(huán)境,為駕駛員提供預(yù)警與輔助控制,極大地提升了駕駛的安全性與舒適性。本報(bào)告旨在深入剖析《ADAS 相關(guān)工具 核心功能 & 技術(shù)》中所涉及的 ADAS 相關(guān)工具應(yīng)用案例,通過(guò)詳細(xì)描述各案例的具體應(yīng)用場(chǎng)景、工作原理及達(dá)成的效果,深度挖掘這些工具在汽車(chē)制造及 ADAS 系統(tǒng)開(kāi)發(fā)過(guò)程中的重要價(jià)值,為行業(yè)內(nèi)相關(guān)人員提供具有實(shí)際參考意義的信息,助力推動(dòng) ADAS 技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展與廣泛應(yīng)用。 1.2 研究方法與數(shù)據(jù)來(lái)源本報(bào)告通過(guò)對(duì)《ADAS 相關(guān)工具 核心功能 & 技術(shù)》進(jìn)行全面細(xì)致的整理與深入分析,從中系統(tǒng)地提取出各類(lèi) ADAS 相關(guān)工具的應(yīng)用案例。在分析過(guò)程中,對(duì)每個(gè)案例的技術(shù)原理、應(yīng)用場(chǎng)景以及所實(shí)現(xiàn)的功能進(jìn)行了詳細(xì)闡述,并結(jié)合實(shí)際情況進(jìn)行了深入探討。本文所引用的 ADAS 相關(guān)工具的應(yīng)用案例及技術(shù)原理均來(lái)自《ADAS 相關(guān)工具 核心功能 & 技術(shù)》文檔,該文檔為此次研究提供了豐富且詳實(shí)的一手資料,確保了研究的準(zhǔn)確性與可靠性。 二、車(chē)載相機(jī)應(yīng)用案例剖析2.1 底部填充膠涂抹高度測(cè)量2.1.1 案例描述在汽車(chē)電子制造中,車(chē)載相機(jī)的底部填充膠涂抹高度對(duì)于確保相機(jī)的...
  • 7
    2022 - 12 - 03
    激光測(cè)距傳感器的功能,你了解多少呢?大家好,我是無(wú)錫宏川傳感學(xué)堂的李同學(xué)。激光測(cè)距傳感器的功能可分為距離測(cè)量和窗口測(cè)量。其中距離測(cè)量在測(cè)距應(yīng)用中傳感器可以隨時(shí)投入使用。直接給出與物體之間的距離。測(cè)量值可用于系統(tǒng)控制或者物體的精準(zhǔn)定位。此外還可以選擇對(duì)數(shù)字量模擬,量輸出進(jìn)行調(diào)整。如果需要檢測(cè)尺寸較小的物體??芍苯舆M(jìn)行窗口測(cè)量。通過(guò)對(duì)參照物進(jìn)行自學(xué)習(xí),傳感器可直接測(cè)得與標(biāo)稱尺寸的偏差。在這種情況下,數(shù)字量輸出也可以進(jìn)行相應(yīng)的參數(shù)進(jìn)行。除了傳感器的尺寸和測(cè)量范圍。光斑的形狀也尤其重要,點(diǎn)擊光代表精準(zhǔn)聚焦。能精確測(cè)量小尺寸的物體。線激光能可靠測(cè)量粗糙度比較大的表面積。帶紋理的彩色表面。在光澤不均勻或極其粗糙的表面上也能進(jìn)行穩(wěn)定的測(cè)量。
  • 8
    2023 - 10 - 01
    '新吳科之匠',泓川科技有限公司全新打造的傳感器新標(biāo)桿,我們凝聚高端技術(shù)力量,專(zhuān)注于高精度、高性能的激光位移傳感器LTP系列,光譜共焦傳感器LTC系列,白光干涉測(cè)厚傳感器,線光譜共焦傳感器,以及3D結(jié)構(gòu)光和3D線激光。 強(qiáng)大的研發(fā)能力和對(duì)細(xì)節(jié)無(wú)窮追求,讓我們的產(chǎn)品在每個(gè)細(xì)微處都彰顯出卓越品質(zhì)。'新吳科之匠'不僅寓意著尖端科技的集中體現(xiàn),更代表著對(duì)品質(zhì)的極致追求。我們相信,只有最好,才能過(guò)硬。
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藍(lán)光光源激光位移傳感器:優(yōu)勢(shì)、原理與特殊場(chǎng)景解決方案 —— 泓川科技 LTP 系列 405nm 定制... 2025 - 10 - 21 在工業(yè)精密測(cè)量中,傳統(tǒng)紅光激光位移傳感器常受高反射、半透明、高溫紅熱等特殊場(chǎng)景限制,而藍(lán)光光源(405nm 波長(zhǎng))憑借獨(dú)特物理特性實(shí)現(xiàn)突破。以下通過(guò) “一問(wèn)一答” 形式,詳解藍(lán)光傳感器的優(yōu)勢(shì)、原理構(gòu)造,并結(jié)合泓川科技 LTP 系列定制方案,看其如何解決特殊環(huán)境測(cè)量難題。1. 藍(lán)光光源激光位移傳感器相比傳統(tǒng)紅光,核心優(yōu)勢(shì)是什么?藍(lán)光傳感器的核心優(yōu)勢(shì)源于 405nm 波長(zhǎng)的物理特性,相比傳統(tǒng) 655nm 左右的紅光,主要體現(xiàn)在三方面:更高橫向分辨率:根據(jù)瑞利判據(jù),光學(xué)分辨率與波長(zhǎng)成反比。藍(lán)光波長(zhǎng)僅為紅光的 62%(405nm/655nm≈0.62),相同光學(xué)系統(tǒng)下橫向分辨率可提升約 38%,能形成更小光斑(如泓川 LTP025 藍(lán)光版光斑最小達(dá) Φ18μm),適配芯片針腳、晶圓等微米級(jí)結(jié)構(gòu)測(cè)量。更強(qiáng)信號(hào)穩(wěn)定性:藍(lán)光單光子能量達(dá) 3.06eV,遠(yuǎn)高于紅光的 2.05eV。在低反射率材料(如橡膠、有機(jī)涂層)表面,能激發(fā)出更強(qiáng)散射信號(hào);同時(shí)穿透性更低,僅在材料表層作用,避免內(nèi)部折射干擾,適合表面精準(zhǔn)測(cè)量。更優(yōu)抗干擾能力:藍(lán)光波段與紅熱輻射(500nm 以上)、戶外強(qiáng)光(可見(jiàn)光為主)重疊度低,搭配專(zhuān)用濾光片后,可有效隔絕高溫物體自發(fā)光、陽(yáng)光直射等干擾,這是紅光難以實(shí)現(xiàn)的。2. 藍(lán)光激光位移傳感器的原理構(gòu)造是怎樣的?為何能實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量?藍(lán)光傳感器的高精度的核心是 “光學(xué)設(shè)計(jì) + 信號(hào)處理 + ...
泓川科技國(guó)產(chǎn)系列光譜共焦/激光位移傳感器/白光干涉測(cè)厚產(chǎn)品性能一覽 2025 - 09 - 05 高精度測(cè)量傳感器全系列:賦能精密制造,適配多元檢測(cè)需求聚焦半導(dǎo)體、光學(xué)膜、機(jī)械加工等領(lǐng)域的精密檢測(cè)核心痛點(diǎn),我們推出全系列高性能測(cè)量傳感器,覆蓋 “測(cè)厚、對(duì)焦、位移” 三大核心應(yīng)用場(chǎng)景,以 “高精準(zhǔn)、高速度、高適配” 為設(shè)計(jì)核心,為您的工藝控制與質(zhì)量檢測(cè)提供可靠技術(shù)支撐。以下為各產(chǎn)品系列的詳細(xì)介紹:1.LTS-IR 紅外干涉測(cè)厚傳感器:半導(dǎo)體材料測(cè)厚專(zhuān)屬核心用途:專(zhuān)為硅、碳化硅、砷化鎵等半導(dǎo)體材料設(shè)計(jì),精準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)晶圓等器件的厚度測(cè)量。性能優(yōu)點(diǎn):精度卓越:±0.1μm 線性精度 + 2nm 重復(fù)精度,確保測(cè)量數(shù)據(jù)穩(wěn)定可靠;量程適配:覆蓋 10μm2mm 測(cè)厚范圍,滿足多數(shù)半導(dǎo)體材料檢測(cè)需求;高效高速:40kHz 采樣速度,快速捕捉厚度數(shù)據(jù),適配在線檢測(cè)節(jié)奏;靈活適配:寬范圍工作距離設(shè)計(jì),可靈活匹配不同規(guī)格的檢測(cè)設(shè)備與場(chǎng)景。2. 分體式對(duì)焦傳感器:半導(dǎo)體 / 面板缺陷檢測(cè)的 “高速對(duì)焦助手”核心用途:針對(duì)半導(dǎo)體、面板領(lǐng)域的高精度缺陷檢測(cè)場(chǎng)景,提供高速實(shí)時(shí)對(duì)焦支持,尤其適配顯微對(duì)焦類(lèi)檢測(cè)設(shè)備。性能優(yōu)點(diǎn):對(duì)焦速度快:50kHz 高速對(duì)焦,同步匹配缺陷檢測(cè)的實(shí)時(shí)性需求;對(duì)焦精度高:0.5μm 對(duì)焦精度,保障缺陷成像清晰、檢測(cè)無(wú)偏差;設(shè)計(jì)靈活:分體式結(jié)構(gòu),可根據(jù)檢測(cè)設(shè)備的安裝空間與布局靈活調(diào)整,降低適配難度。3. LT-R 反射膜厚儀:極薄膜厚檢測(cè)的 “精密管家”核心用途:專(zhuān)注于極薄膜...
多方面研究泓川科技LTP系列大量程全國(guó)產(chǎn)激光位移傳感器 2025 - 09 - 02 泓川科技激光位移傳感器產(chǎn)品技術(shù)報(bào)告尊敬的客戶: 感謝您對(duì)泓川科技激光位移傳感器產(chǎn)品的關(guān)注與信任。為幫助您全面了解我司產(chǎn)品,現(xiàn)將激光位移傳感器相關(guān)技術(shù)信息從參數(shù)指標(biāo)、設(shè)計(jì)原理、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)等八大核心維度進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明,為您的選型、使用及維護(hù)提供專(zhuān)業(yè)參考。一、參數(shù)指標(biāo)我司激光位移傳感器涵蓋 LTP400 系列與 LTP450 系列,各型號(hào)核心參數(shù)經(jīng)納米級(jí)高精度激光干涉儀標(biāo)定驗(yàn)證,確保數(shù)據(jù)精準(zhǔn)可靠,具體參數(shù)如下表所示:表 1:LTP400EA參數(shù)表參數(shù)類(lèi)別具體參數(shù)LTP400EA備注基礎(chǔ)測(cè)量參數(shù)測(cè)量中心距離400mm以量程中心位置計(jì)算(*1)量程200mm-重復(fù)精度(靜態(tài))3μm測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)白色陶瓷樣件,50kHz 無(wú)平均,取 65536 組數(shù)據(jù)均方根偏差(*2)線性度±0.03%F.S.(F.S.=200mm)采用納米級(jí)激光干涉儀標(biāo)定(*3)光源與光斑光源類(lèi)型-激光功率可定制,部分型號(hào)提供 405nm 藍(lán)光版本(*4)光束直徑聚焦點(diǎn)光斑 Φ300μm中心位置直徑,兩端相對(duì)變大(*5)電氣參數(shù)電源電壓DC9-36V-功耗約 2.5W-短路保護(hù)反向連接保護(hù)、過(guò)電流保護(hù)-輸出與通信模擬量輸出(選配)電壓:0-5V/010V/-1010V;電流:420mA探頭可獨(dú)立提供電壓、電流與 RS485 輸出(*6)通訊接口RS485 串口、TCP/IP 網(wǎng)口可選配模擬電壓 / 電流輸出模塊(*7)響應(yīng)...
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