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Case 激光位移

激光三角-基于激光位移傳感器的機(jī)床在位測量方法

日期: 2022-03-15
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為了提高自由曲面等元件的加工質(zhì)量,需要對制造過程中產(chǎn)生的誤差進(jìn)行評估,以便及時(shí)發(fā)現(xiàn)偏差,從而反饋給后續(xù)加工工序。特別是在不從機(jī)床上卸載工件的情況下進(jìn)行的在位測量(OMM),可以消除坐標(biāo)損失帶來的誤差。近年來,采用激光位移傳感器的激光三角測量OMM(LTOMM),是機(jī)械探頭之外新發(fā)展起來的在位測量技術(shù)。


來自南京航空航天大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院的DaweiDing等人提出了一種LTOMM誤差模型和一種在設(shè)定精度約束下提高效率的路徑規(guī)劃方法。利用生成的路徑,采用三坐標(biāo)測量機(jī)(CMM)、OMM探頭和LTOMM對自由曲面渦輪葉片進(jìn)行檢測,以評估各自的精度和效率。文章題為Error Modeling and Path Planning for Freeform Surfaces by LaserTriangulation On-Machine Measurement發(fā)表在IEEETransactions on Instrumentation and Measurement雜志。


激光三角-基于激光位移傳感器的機(jī)床在位測量方法

1. 激光束校準(zhǔn)誤差。(a)誤差校準(zhǔn)原理圖。(b)誤差導(dǎo)致的標(biāo)準(zhǔn)球測量偏差。


誤差方面,文章以Cook–Torrance(C-T) 照明模型,分析了傾角、位移和粗糙度的誤差影響,并以標(biāo)準(zhǔn)球校準(zhǔn)激光光束的指向性誤差,如圖1所示。在誤差模型驗(yàn)證過程中,還考慮了溫度、濕度、預(yù)熱時(shí)間、被測表面顏色的影響。

激光三角-基于激光位移傳感器的機(jī)床在位測量方法

2. 自由曲面測量角度和位移約束下的LTOMM路徑規(guī)劃。


路徑規(guī)劃方面。為了提高測量精度,需要對激光位移傳感器進(jìn)行詳細(xì)的路徑規(guī)劃,通過調(diào)整入射角和掃描位移來滿足要求。當(dāng)測量精度給定時(shí),可以計(jì)算出測量角度和位移的工作閾值。LTOMM的路徑規(guī)劃可以簡單地描述為:1)分析總測量誤差;2)將總誤差劃分到各個(gè)分量誤差;3)計(jì)算測量的角度閾值和位移閾值;4)調(diào)整工件位置,直至角度平分線平行于激光束;5)將各個(gè)分段的規(guī)劃路徑進(jìn)行連接。如圖2所示。


規(guī)劃的路徑主要有直線型路徑和輪廓型路徑兩種,它們的測量精度和效率各不相同。傳感器在基于直線型路徑上以特定的方向掃描,而在基于輪廓型路徑上,它以不變的位移沿輪廓移動?;谥本€路徑的誤差隨著測量角度和位移的增大而增大;而基于輪廓路徑的測量誤差不受測量角度的影響,測量誤差小于5 μm,在精度上具有優(yōu)勢。采用基于直線和基于輪廓的路徑測量一個(gè)剖面所需時(shí)間分別為20 s42 s。因此,兩種路徑的測量精度和效率不同,這將決定它們在生產(chǎn)線上的應(yīng)用;粗掃描采用更有效的路徑,而最終檢測采用更精確的路徑。


激光三角-基于激光位移傳感器的機(jī)床在位測量方法

3.用于加工工件輪廓測量的儀器配置。(a)自主研發(fā)的數(shù)據(jù)通信系統(tǒng)。(b) OMM采用機(jī)械探頭。(c)采用激光三角位移傳感器。


為了驗(yàn)證所提出的自由曲面測量方法,在車銑加工中心使用機(jī)械探頭和激光位移傳感器測量探頭,使用如圖3所示的配置。在實(shí)施在位測量之前,先對機(jī)械探頭和激光位移傳感器探頭進(jìn)行校準(zhǔn),并使激光位移傳感器預(yù)熱到穩(wěn)定的溫度。被測對象葉片型線先通過三坐標(biāo)測量機(jī)進(jìn)行測量,確定測量參考基準(zhǔn)。隨后,通過機(jī)械探針和激光位移傳感器探頭進(jìn)行在位測量,測量值與三坐標(biāo)的基準(zhǔn)值進(jìn)行對比進(jìn)行性能評估。


沿著基于葉片輪廓線的路徑,激光位移傳感器探頭測量的正負(fù)平均誤差分別為+8.9?9.9 μm,滿足10 μm約束精度的前提。采用該路徑完成測量所需時(shí)間為339 s,而采用內(nèi)置機(jī)械探頭所需的測量時(shí)間為1500 s。因此,采用激光位移傳感器探頭的測量時(shí)間顯著減少了77.4%


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    2023 - 03 - 08
    一、概述隨著現(xiàn)代工業(yè)的不斷發(fā)展和進(jìn)步,精度對于工業(yè)生產(chǎn)過程中所需要的各種測試測量技術(shù)要求也越來越高。而激光測量技術(shù)則是在這種背景下得以應(yīng)用的,這是利用激光作為工具進(jìn)行測量分析的一種方法。激光測量可以分為非接觸式和接觸式兩種方式。二、非接觸激光測量非接觸激光測量技術(shù)是指激光束在不與被測物體表面發(fā)生接觸的情況下,對被測物體進(jìn)行測量操作。它主要利用激光的高亮度、高單色性、高方向性等特點(diǎn),將測量對象和激光之間的無線電輻射或光輻射聯(lián)系起來,通過對測量信號的處理,來獲得被測物體的相關(guān)參數(shù)??梢詮V泛應(yīng)用于自動化制造、工業(yè)檢測、生命科學(xué)、質(zhì)量控制檢測等領(lǐng)域。2.1 非接觸式測量優(yōu)點(diǎn)(1)不會對被測物體造成損傷。激光測量技術(shù)是無損傷性的,測量過程中不會對被測物體造成任何損傷,也不會影響被測物體的結(jié)構(gòu)、形狀和性能。(2)精度高。非接觸激光測量技術(shù)具有高精密性、高靈敏性和高分辨力,能夠以亞微米級的精度獲得被測物體的相關(guān)參數(shù),減小了人為誤差和測量結(jié)果的不確定性。(3)高速度。非接觸激光測量技術(shù)具有快速高效的特點(diǎn),對于一些需要進(jìn)行即時(shí)在線檢測或高頻率的質(zhì)檢要求,非接觸激光測量技術(shù)具有獨(dú)特的優(yōu)勢。(4)測量安全。由于非接觸激光測量技術(shù)可以在安全距離的范圍內(nèi)進(jìn)行,因此保障了測量人員的身體健康和安全。2.2 非接觸式測量缺點(diǎn)(1)不適用于暗面測量。非接觸激光測量技術(shù)無法對于有光線被擋住的部位進(jìn)行測量,因此適用于透...
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    2025 - 01 - 14
    一、引言1.1 研究背景與意義在現(xiàn)代工業(yè)的廣闊版圖中,薄膜涂布生產(chǎn)工藝宛如一顆璀璨的明星,閃耀于包裝、電子、光學(xué)等諸多關(guān)鍵領(lǐng)域。從日常生活中輕盈便捷的食品包裝,到電子產(chǎn)品里精細(xì)入微的電子元件,再到光學(xué)儀器中不可或缺的光學(xué)鏡片,薄膜涂布工藝的身影無處不在,它以獨(dú)特的方式賦予產(chǎn)品卓越的性能與品質(zhì)。在包裝領(lǐng)域,經(jīng)過精心涂布的薄膜,能夠搖身一變成為食品的忠誠守護(hù)者,有效阻擋氧氣、水汽等外界因素的侵襲,極大地延長食品的保鮮期,確保其新鮮美味。在電子領(lǐng)域,薄膜涂布工藝如同神奇的魔法,為電子元件披上一層特殊的 “外衣”,顯著提升其絕緣性、導(dǎo)電性等關(guān)鍵性能,為電子產(chǎn)品的高效穩(wěn)定運(yùn)行奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。而在光學(xué)領(lǐng)域,它更是大展身手,通過精確控制涂布的厚度與均勻度,制造出具有高透光率、低反射率等優(yōu)異光學(xué)性能的薄膜,讓我們的視野更加清晰,成像更加精準(zhǔn)。然而,傳統(tǒng)的薄膜涂布生產(chǎn)工藝在發(fā)展過程中逐漸遭遇瓶頸。涂布厚度的均勻性難以精準(zhǔn)把控,這就如同在一幅精美的畫卷上出現(xiàn)了瑕疵,不僅會影響產(chǎn)品的性能,還可能導(dǎo)致產(chǎn)品的廢品率居高不下。同時(shí),生產(chǎn)過程中的實(shí)時(shí)監(jiān)測與調(diào)控也面臨諸多挑戰(zhàn),就像在茫茫大海中航行的船只,難以準(zhǔn)確把握前進(jìn)的方向。而光學(xué)傳感器的橫空出世,宛如一道曙光,為薄膜涂布生產(chǎn)工藝帶來了全新的變革契機(jī)。憑借其高精度、非接觸、響應(yīng)速度快等一系列卓越特性,光學(xué)傳感器能夠像敏銳的探測器一樣,實(shí)時(shí)、精準(zhǔn)地監(jiān)測涂布過程中的...
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藍(lán)光光源激光位移傳感器:優(yōu)勢、原理與特殊場景解決方案 —— 泓川科技 LTP 系列 405nm 定制... 2025 - 10 - 21 在工業(yè)精密測量中,傳統(tǒng)紅光激光位移傳感器常受高反射、半透明、高溫紅熱等特殊場景限制,而藍(lán)光光源(405nm 波長)憑借獨(dú)特物理特性實(shí)現(xiàn)突破。以下通過 “一問一答” 形式,詳解藍(lán)光傳感器的優(yōu)勢、原理構(gòu)造,并結(jié)合泓川科技 LTP 系列定制方案,看其如何解決特殊環(huán)境測量難題。1. 藍(lán)光光源激光位移傳感器相比傳統(tǒng)紅光,核心優(yōu)勢是什么?藍(lán)光傳感器的核心優(yōu)勢源于 405nm 波長的物理特性,相比傳統(tǒng) 655nm 左右的紅光,主要體現(xiàn)在三方面:更高橫向分辨率:根據(jù)瑞利判據(jù),光學(xué)分辨率與波長成反比。藍(lán)光波長僅為紅光的 62%(405nm/655nm≈0.62),相同光學(xué)系統(tǒng)下橫向分辨率可提升約 38%,能形成更小光斑(如泓川 LTP025 藍(lán)光版光斑最小達(dá) Φ18μm),適配芯片針腳、晶圓等微米級結(jié)構(gòu)測量。更強(qiáng)信號穩(wěn)定性:藍(lán)光單光子能量達(dá) 3.06eV,遠(yuǎn)高于紅光的 2.05eV。在低反射率材料(如橡膠、有機(jī)涂層)表面,能激發(fā)出更強(qiáng)散射信號;同時(shí)穿透性更低,僅在材料表層作用,避免內(nèi)部折射干擾,適合表面精準(zhǔn)測量。更優(yōu)抗干擾能力:藍(lán)光波段與紅熱輻射(500nm 以上)、戶外強(qiáng)光(可見光為主)重疊度低,搭配專用濾光片后,可有效隔絕高溫物體自發(fā)光、陽光直射等干擾,這是紅光難以實(shí)現(xiàn)的。2. 藍(lán)光激光位移傳感器的原理構(gòu)造是怎樣的?為何能實(shí)現(xiàn)高精度測量?藍(lán)光傳感器的高精度的核心是 “光學(xué)設(shè)計(jì) + 信號處理 + ...
泓川科技國產(chǎn)系列光譜共焦/激光位移傳感器/白光干涉測厚產(chǎn)品性能一覽 2025 - 09 - 05 高精度測量傳感器全系列:賦能精密制造,適配多元檢測需求聚焦半導(dǎo)體、光學(xué)膜、機(jī)械加工等領(lǐng)域的精密檢測核心痛點(diǎn),我們推出全系列高性能測量傳感器,覆蓋 “測厚、對焦、位移” 三大核心應(yīng)用場景,以 “高精準(zhǔn)、高速度、高適配” 為設(shè)計(jì)核心,為您的工藝控制與質(zhì)量檢測提供可靠技術(shù)支撐。以下為各產(chǎn)品系列的詳細(xì)介紹:1.LTS-IR 紅外干涉測厚傳感器:半導(dǎo)體材料測厚專屬核心用途:專為硅、碳化硅、砷化鎵等半導(dǎo)體材料設(shè)計(jì),精準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)晶圓等器件的厚度測量。性能優(yōu)點(diǎn):精度卓越:±0.1μm 線性精度 + 2nm 重復(fù)精度,確保測量數(shù)據(jù)穩(wěn)定可靠;量程適配:覆蓋 10μm2mm 測厚范圍,滿足多數(shù)半導(dǎo)體材料檢測需求;高效高速:40kHz 采樣速度,快速捕捉厚度數(shù)據(jù),適配在線檢測節(jié)奏;靈活適配:寬范圍工作距離設(shè)計(jì),可靈活匹配不同規(guī)格的檢測設(shè)備與場景。2. 分體式對焦傳感器:半導(dǎo)體 / 面板缺陷檢測的 “高速對焦助手”核心用途:針對半導(dǎo)體、面板領(lǐng)域的高精度缺陷檢測場景,提供高速實(shí)時(shí)對焦支持,尤其適配顯微對焦類檢測設(shè)備。性能優(yōu)點(diǎn):對焦速度快:50kHz 高速對焦,同步匹配缺陷檢測的實(shí)時(shí)性需求;對焦精度高:0.5μm 對焦精度,保障缺陷成像清晰、檢測無偏差;設(shè)計(jì)靈活:分體式結(jié)構(gòu),可根據(jù)檢測設(shè)備的安裝空間與布局靈活調(diào)整,降低適配難度。3. LT-R 反射膜厚儀:極薄膜厚檢測的 “精密管家”核心用途:專注于極薄膜...
多方面研究泓川科技LTP系列大量程全國產(chǎn)激光位移傳感器 2025 - 09 - 02 泓川科技激光位移傳感器產(chǎn)品技術(shù)報(bào)告尊敬的客戶: 感謝您對泓川科技激光位移傳感器產(chǎn)品的關(guān)注與信任。為幫助您全面了解我司產(chǎn)品,現(xiàn)將激光位移傳感器相關(guān)技術(shù)信息從參數(shù)指標(biāo)、設(shè)計(jì)原理、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)等八大核心維度進(jìn)行詳細(xì)說明,為您的選型、使用及維護(hù)提供專業(yè)參考。一、參數(shù)指標(biāo)我司激光位移傳感器涵蓋 LTP400 系列與 LTP450 系列,各型號核心參數(shù)經(jīng)納米級高精度激光干涉儀標(biāo)定驗(yàn)證,確保數(shù)據(jù)精準(zhǔn)可靠,具體參數(shù)如下表所示:表 1:LTP400EA參數(shù)表參數(shù)類別具體參數(shù)LTP400EA備注基礎(chǔ)測量參數(shù)測量中心距離400mm以量程中心位置計(jì)算(*1)量程200mm-重復(fù)精度(靜態(tài))3μm測量標(biāo)準(zhǔn)白色陶瓷樣件,50kHz 無平均,取 65536 組數(shù)據(jù)均方根偏差(*2)線性度±0.03%F.S.(F.S.=200mm)采用納米級激光干涉儀標(biāo)定(*3)光源與光斑光源類型-激光功率可定制,部分型號提供 405nm 藍(lán)光版本(*4)光束直徑聚焦點(diǎn)光斑 Φ300μm中心位置直徑,兩端相對變大(*5)電氣參數(shù)電源電壓DC9-36V-功耗約 2.5W-短路保護(hù)反向連接保護(hù)、過電流保護(hù)-輸出與通信模擬量輸出(選配)電壓:0-5V/010V/-1010V;電流:420mA探頭可獨(dú)立提供電壓、電流與 RS485 輸出(*6)通訊接口RS485 串口、TCP/IP 網(wǎng)口可選配模擬電壓 / 電流輸出模塊(*7)響應(yīng)...
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