今天我們利用線光譜共焦傳感器來對(duì)陶瓷基板的溝槽進(jìn)行掃描測(cè)量，首先我們介紹下光譜感覺傳感器的工作原理。光譜共焦測(cè)量通過使用特殊透鏡，延長不同顏色光的焦點(diǎn)光暈范圍，形成特殊放大色差，使其根據(jù)不同的被測(cè)物體到透鏡的距離，會(huì)對(duì)應(yīng)一個(gè)精確波長 的光聚焦到被測(cè)物體上。通過測(cè)量反射光的波長，就可以得到被測(cè)物體到透鏡的精確距離。
反射光的光強(qiáng)不會(huì)影響測(cè)量結(jié)果。這意味著，無論有多少反射光從被測(cè)物體反射回來，測(cè)量的距離結(jié)果可能是不變的。因?yàn)榉瓷涔獾墓鈴?qiáng)僅僅取決于反 射物體的反光程度。因此，采用的3D線光譜共焦傳感器，即使被測(cè)物體是強(qiáng)吸光材料，如黑色橡膠；或者是透明材料，如玻璃或者液體，都可以進(jìn) 行 正?？煽康臏y(cè)量。
根據(jù)客戶提供的測(cè)試需求， 利用我們的線光譜共焦傳感器 對(duì)陶瓷基板的凹槽進(jìn)行掃描，通過灰度顯示的ROI數(shù)據(jù)及3D點(diǎn)云測(cè)量凹槽深度以及寬度。
掃描取樣
陶瓷基板樣品經(jīng)掃描后凹槽處各個(gè)位置的深度寬度信息都能很好的在3D點(diǎn)云圖上面呈現(xiàn)出來，通過灰度圖與點(diǎn)云測(cè)量相結(jié)合能把需求測(cè)量范圍的深度寬度信息很好的測(cè)量出來。