涂層在線測量與控制需求書
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一、????? 工藝概述：
1.???? 大致流程：
產品為帶狀柔性薄膜，收納為卷處于放卷處，放卷/收卷/主軸分別連接有伺服電機，可控制張力與轉速；收卷與放卷相對反向轉動為產品提供張力，主軸轉動時帶動產品移動，當產品經(jīng)過主軸下方在其表面生成涂層，該過程處于真空環(huán)境下；
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2.???? 產品特性：
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產品結構如圖示，表面有一定粗糙度；涂層為金屬材料，不同規(guī)格產品涂層量不同約1-10um。
3.???? 工作環(huán)境：
上下跳動 0.3mm內
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二、????? 需求概述：
1.???? 目標：
對產品表面涂層量在線測量，當涂層量與預設不符時，聯(lián)動生產設備對其糾正。??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????
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2.???? 產品結構：
應至少包含測量儀器，信號送變器，數(shù)據(jù)處理模塊，顯示模塊，操作模塊，控制輸出模塊；
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3.???? 流程：
在生產過程中，測量儀對產品寬度方向不同位置的涂層量測量，對該數(shù)據(jù)處理分析后，反饋并控制涂層制作設備，保證產品表面涂層量符合設定要求；
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4.???? 特性：
涂層測量精度：±1um,涂層控制精度：±1um;
解決方案：
測試方法：
將被測物放置于運動平臺上，控制運動平臺沿特定方向往復運動多次，通過編碼器觸發(fā)控制器采樣，從而測量得到被測物某一截面上不同位置的厚度。
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1. C1200靜態(tài)單點測量涂層厚度時，重復精度在100nm以內。
2. 由于被測物并不平整，所以被測物運動過程中測量不同位置厚度會有變化，但通過編碼器觸發(fā)測量時，在同一位置觸發(fā)測量得到的厚度值，依然有較好的重復精度。