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Case 激光位移

在激光測距傳感器選型過程中我們需要關(guān)注哪些參數(shù)和環(huán)節(jié)?

日期: 2023-10-13
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大家好,在現(xiàn)在的工業(yè)自動(dòng)化市場中,激光位移傳感器是自動(dòng)化設(shè)備檢測環(huán)節(jié)中必不可少的組成部分,它可以檢測和監(jiān)測生產(chǎn)工件,工裝位置的各個(gè)尺寸和狀態(tài),可是市場的的激光位移傳感器品牌和種類太多,可謂是五花八門,我們小白又該如何選擇呢?


今天小編就帶領(lǐng)著大家深度學(xué)習(xí)下如何選擇合適自己使用的激光位移傳感器。注意本次內(nèi)用主要是面對(duì)激光三角回差原理的激光位移傳感器,因?yàn)檫@種激光位移傳感器占用市場中60%以上的份額,它具有體積小,精度高,價(jià)格適中且穩(wěn)定性強(qiáng)的特點(diǎn),一般監(jiān)測范圍從1mm到3000mm。線性精度從萬分之二到百分之五之間,測量速度在500hz到500Khz之間??梢赃m用于絕大多數(shù)測量需求。


一 被測物的材料材質(zhì):為保障激光位移傳感器的測量精度,通常需要完整的三角光路。因此,并非所有結(jié)構(gòu)和材料的被測物都適合使用激光位移傳感器進(jìn)行檢測。以下情況可能導(dǎo)致無法進(jìn)行有效測量:被測物表面有深槽或復(fù)雜表面,遮擋了三角光路;黑色橡膠等吸光材料可能吸收大部分光強(qiáng),若未合理調(diào)節(jié)曝光時(shí)間,可能無法獲得足夠的測量信號(hào);反光強(qiáng)或鏡面反射的被測物可能導(dǎo)致光線垂直返回而無形成漫反射,影響測量效果;高溫發(fā)紅的被測物本身發(fā)出的紅光可能干擾激光位移傳感器。在選擇激光位移傳感器時(shí),應(yīng)與廠家充分溝通,不要盲目認(rèn)為可測量,以免獲得不理想的結(jié)果。

在激光測距傳感器選型過程中我們需要關(guān)注哪些參數(shù)和環(huán)節(jié)?



這里要注意的是對(duì)激光位移傳感器光源的選擇,目前市面上激光位移傳感器有兩種光源:紅光(650或者655nm),藍(lán)光(405nm)紅色激光傳感器和藍(lán)色激光傳感器在激光位移測量中具有不同的優(yōu)勢。紅色激光傳感器適用于大多數(shù)應(yīng)用,能夠準(zhǔn)確跟蹤非反射目標(biāo)和快速移動(dòng)的物體。然而,紅色激光在鏡面、透明材料和加熱金屬上存在一些問題。藍(lán)色激光傳感器則解決了這些問題,適用于有機(jī)材料、半透明材料和透明材料以及高溫金屬的檢測。因此,在選擇激光位移傳感器時(shí),需考慮具體應(yīng)用需求和被測對(duì)象的特性,以確定最合適的選擇。



二 測量范圍:測量范圍是指傳感器能夠覆蓋的位移范圍。根據(jù)實(shí)際應(yīng)用的需要,選擇合適的測量范圍能夠確保傳感器在工作過程中不會(huì)超出或被限制在范圍之內(nèi)。


激光位移傳感器在三角回差測量中存在盲區(qū),即無法進(jìn)行測量的范圍。為了確保準(zhǔn)確的測量結(jié)果,我們需要選擇能夠滿足測量需求的傳感器。例如,如果激光位傳感器的測量中心位為100mm,測量范圍為±10mm,則有效測量范圍為90-110mm之間的20mm。因此,在選擇傳感器時(shí),我們需要特別注意測量范圍是否能夠覆蓋被測物體的移動(dòng)范圍。如果您的被測物體的移動(dòng)范圍總體不會(huì)超過20mm,那么您可以選擇90~110毫米范圍內(nèi)的傳感器。當(dāng)然,還有許多其他中心距離可供選擇,例如30±5mm,80±15mm,50±20mm,100±50mm,1000±500mm等更大更長的距離范圍。根據(jù)實(shí)際需求,選擇合適的傳感器來確保測量的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。

在激光測距傳感器選型過程中我們需要關(guān)注哪些參數(shù)和環(huán)節(jié)?


三 測量精度:精度是指傳感器輸出值與實(shí)際位移之間的誤差。傳感器的精度越高,測量結(jié)果就越準(zhǔn)確。根據(jù)應(yīng)用要求選擇合適的精度能夠確保測量結(jié)果符合要求。


傳感器的精度可以從三個(gè)維度來考慮。


第一個(gè)是絕對(duì)的測量誤差,也稱為絕對(duì)精度。它指的是傳感器測量的數(shù)據(jù)結(jié)果與真實(shí)值之間的誤差。例如,如果傳感器測量物體的移動(dòng)為1毫米,但實(shí)際上物體移動(dòng)了1.001毫米,則可以說這個(gè)絕對(duì)測量誤差為0.001毫米。通常情況下,傳感器的絕對(duì)測量誤差有時(shí)候不會(huì)直接標(biāo)注在參數(shù)頁上。但我們可以觀察傳感器參數(shù)中的線性度。因?yàn)榻^對(duì)測量誤差也被稱為線性誤差,我們可以將傳感器的滿量程乘以線性度,從而得到它的線性誤差,即絕對(duì)測量誤差。例如,如果傳感器的滿量程為10毫米,而線性度為1‰,那么它的絕對(duì)測量誤差就是10微米。


第二個(gè)是重復(fù)性精度,它與測量值和真實(shí)值之間沒有直接關(guān)系,而是指傳感器本身多次測量時(shí)的誤差。這個(gè)也稱為相對(duì)精度。 這個(gè)參數(shù)傳感器選型表上都會(huì)標(biāo)注


第三個(gè)是傳感器的分辨率,它指的是傳感器在與被測物靜止的情況下,能夠捕捉到的最小測量變化。分辨率可以影響測量結(jié)果的精確度。 這個(gè)參數(shù)傳感器選型表上也會(huì)標(biāo)注。


四 響應(yīng)時(shí)間:響應(yīng)時(shí)間是指傳感器從接收到輸入信號(hào)到輸出結(jié)果的反應(yīng)時(shí)間。較短的響應(yīng)時(shí)間可提高傳感器的實(shí)時(shí)性和動(dòng)態(tài)性能,適用于快速變化的應(yīng)用。注意:響應(yīng)時(shí)間和采樣時(shí)間是兩個(gè)不同的概念。采樣時(shí)間指的是傳感器在一秒鐘內(nèi)能夠采集多少次距離數(shù)據(jù),而響應(yīng)時(shí)間則取決于傳感器內(nèi)部構(gòu)造和軟件設(shè)置。一般來說,傳感器的采樣時(shí)間要短于其響應(yīng)時(shí)間。如果產(chǎn)品樣冊(cè)上沒有標(biāo)明響應(yīng)時(shí)間,可以通過查看傳感器的響應(yīng)頻率來推算。通過將1除以響應(yīng)頻率,可以得到近似的響應(yīng)時(shí)間。響應(yīng)時(shí)間越快,表示傳感器的采集速度越快。對(duì)于高速振動(dòng)或移動(dòng)的物體,可以選擇具有高頻次響應(yīng)時(shí)間的傳感器。市面上激光位移傳感器的響應(yīng)時(shí)間范圍通常從500 Hz到500 MHz不等。


五 穩(wěn)定性:穩(wěn)定性是指傳感器在不同環(huán)境條件下輸出的一致性。選擇具有較高穩(wěn)定性的傳感器可以確保測量結(jié)果在各種工作環(huán)境下的準(zhǔn)確性和可靠性。這里可以參考傳感器品牌在市面上的份額。一般情況下越大的品牌出貨量越多相對(duì)于產(chǎn)品穩(wěn)定性就越強(qiáng)。


六 工作溫度范圍:工作溫度范圍是指傳感器能夠正常工作的環(huán)境溫度范圍。根據(jù)實(shí)際應(yīng)用場景選擇適合的工作溫度范圍,以確保傳感器在各種溫度條件下正常工作。一般三角回差激光位移傳感器的工作范圍在-10℃到-50℃這個(gè)區(qū)間,但是有一些在寒冷地區(qū)或者高溫工作地區(qū),工作的環(huán)境下需要傳感器具有寬溫的功能。也可以定制生產(chǎn),-40℃到70℃的激光位移傳感器。

在激光測距傳感器選型過程中我們需要關(guān)注哪些參數(shù)和環(huán)節(jié)?


七 接口類型:傳感器的接口類型包括模擬輸出和數(shù)字輸出。根據(jù)系統(tǒng)要求和使用便利性選擇適合的接口類型。傳感器的接口類型選擇主要依據(jù)上位機(jī)的接口。市面上主流主流的接口類型,包括開關(guān)量,模擬量,4~20ma,0~10V,-10V到10V,-5V到5V。串口包括232/422/RS485等,還有TCP IP modbus TCP這種網(wǎng)口輸出,另外還有一些進(jìn)口品牌的輸出是有總線形式,如比較主流的profitnet,profitbus,Ethercat, Ethernet,SSI等



八 價(jià)格和供應(yīng)商支持:根據(jù)預(yù)算和供應(yīng)商的信譽(yù)選擇適合的激光位移傳感器。同時(shí),確保供應(yīng)商能夠提供良好的售后支持和技術(shù)支持,以解決可能出現(xiàn)的問題。


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    2025 - 01 - 19
    一、引言1.1 研究背景與意義在科技飛速發(fā)展的當(dāng)下,半導(dǎo)體和電子部件制造行業(yè)正經(jīng)歷著深刻的變革。隨著電子產(chǎn)品的功能不斷增強(qiáng),尺寸卻日益縮小,對(duì)半導(dǎo)體和電子部件的性能、精度以及可靠性提出了極為嚴(yán)苛的要求。從智能手機(jī)、平板電腦到高性能計(jì)算機(jī)、物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備,無一不依賴于先進(jìn)的半導(dǎo)體和電子部件技術(shù)。而這些部件的質(zhì)量與性能,在很大程度上取決于制造過程中的測量、檢測和品質(zhì)管理環(huán)節(jié)。光學(xué)測量技術(shù)作為一種先進(jìn)的測量手段,憑借其高精度、非接觸、快速測量等諸多優(yōu)勢,在半導(dǎo)體和電子部件制造領(lǐng)域中發(fā)揮著愈發(fā)關(guān)鍵的作用。它能夠精確測量微小尺寸、復(fù)雜形狀以及表面形貌等參數(shù),為制造過程提供了不可或缺的數(shù)據(jù)支持。舉例來說,在半導(dǎo)體芯片制造中,芯片的線寬、間距等關(guān)鍵尺寸的精度要求已經(jīng)達(dá)到了納米級(jí)別,光學(xué)測量技術(shù)能夠準(zhǔn)確測量這些尺寸,確保芯片的性能符合設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)。再如,在電子部件的封裝過程中,光學(xué)測量可以檢測焊點(diǎn)的形狀、尺寸以及位置,保障封裝的可靠性。光學(xué)測量技術(shù)的應(yīng)用,不僅能夠有效提高產(chǎn)品的質(zhì)量和性能,還能顯著降低生產(chǎn)成本,增強(qiáng)企業(yè)在市場中的競爭力。通過實(shí)時(shí)監(jiān)測和精確控制制造過程,能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)并糾正生產(chǎn)中的偏差,減少廢品率和返工率,提高生產(chǎn)效率。因此,深入研究光學(xué)測量在半導(dǎo)體和電子部件制造中的典型應(yīng)用,對(duì)于推動(dòng)行業(yè)的發(fā)展具有重要的現(xiàn)實(shí)意義。1.2 研究目的與方法本報(bào)告旨在深入剖析光學(xué)測量在半導(dǎo)體和電子部件制造測量、檢測...
  • 6
    2025 - 01 - 14
    一、引言1.1 激光位移傳感器概述激光位移傳感器,作為工業(yè)測量領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備,憑借其卓越的非接觸測量特性,正日益成為眾多行業(yè)實(shí)現(xiàn)高精度測量與自動(dòng)化控制的核心技術(shù)。它主要利用激光的反射特性,通過精確測量反射光的相關(guān)參數(shù),實(shí)現(xiàn)對(duì)目標(biāo)物體的位移、距離、厚度等幾何量的精準(zhǔn)測定。這一技術(shù)的誕生,為現(xiàn)代制造業(yè)、科研實(shí)驗(yàn)以及諸多工業(yè)生產(chǎn)過程,提供了高效、可靠且精準(zhǔn)的測量手段。其工作原理基于激光三角測量法和激光回波分析法。激光三角測量法常用于高精度、短距離測量場景。在該方法中,激光位移傳感器發(fā)射出一束激光,射向被測物體表面,物體表面反射的激光經(jīng)由特定的光學(xué)系統(tǒng),被傳感器內(nèi)部的探測器接收。根據(jù)激光發(fā)射點(diǎn)、反射點(diǎn)以及探測器接收點(diǎn)之間所構(gòu)成的三角幾何關(guān)系,通過精密的計(jì)算,能夠精確得出物體與傳感器之間的距離 。激光回波分析法更適用于遠(yuǎn)距離測量,傳感器以每秒發(fā)射大量激光脈沖的方式,向被測物體發(fā)送信號(hào),隨后依據(jù)激光脈沖從發(fā)射到被接收的時(shí)間差,精確計(jì)算出物體與傳感器之間的距離。在工業(yè)測量領(lǐng)域,激光位移傳感器的重要地位不容小覷。在汽車制造行業(yè),它被廣泛應(yīng)用于車身零部件的尺寸檢測、裝配精度控制等環(huán)節(jié)。通過對(duì)汽車零部件的精確測量,能夠確保各個(gè)部件的尺寸符合設(shè)計(jì)要求,從而提升整車的裝配質(zhì)量和性能。在電子制造領(lǐng)域,激光位移傳感器可用于檢測芯片的尺寸、平整度以及電子元件的貼裝精度等。在芯片制造過程中,其微小的尺寸和極高的精...
  • 7
    2025 - 01 - 29
    五、光譜共焦傳感器測量厚度的局限性及解決措施5.1 局限性分析5.1.1 測量范圍限制光譜共焦傳感器的測量范圍相對(duì)有限,一般在幾毫米到幾十毫米之間。這是由于其測量原理基于色散物鏡對(duì)不同波長光的聚焦特性,測量范圍主要取決于色散物鏡的軸向色差范圍以及光譜儀的工作波段。在實(shí)際應(yīng)用中,對(duì)于一些大尺寸物體的厚度測量,如厚壁管材、大型板材等,可能需要多次測量拼接數(shù)據(jù),增加了測量的復(fù)雜性和誤差來源。例如,在測量厚度超過傳感器量程的大型金屬板材時(shí),需要移動(dòng)傳感器進(jìn)行多次測量,然后將測量數(shù)據(jù)進(jìn)行拼接處理,但在拼接過程中可能會(huì)因測量位置的定位誤差、測量角度的變化等因素導(dǎo)致測量結(jié)果的不準(zhǔn)確。5.1.2 對(duì)被測物體表面狀態(tài)的要求雖然光譜共焦傳感器對(duì)多種材料具有良好的適用性,但被測物體表面的粗糙度、平整度等因素仍會(huì)對(duì)測量精度產(chǎn)生一定影響。當(dāng)被測物體表面粗糙度較大時(shí),表面的微觀起伏會(huì)導(dǎo)致反射光的散射和漫反射增強(qiáng),使得反射光的強(qiáng)度分布不均勻,從而影響光譜儀對(duì)反射光波長的準(zhǔn)確檢測,導(dǎo)致測量誤差增大。對(duì)于表面平整度較差的物體,如存在明顯翹曲或彎曲的板材,會(huì)使傳感器與物體表面的距離在不同位置發(fā)生變化,超出傳感器的測量精度范圍,進(jìn)而影響厚度測量的準(zhǔn)確性。例如,在測量表面粗糙的橡膠板材時(shí),由于橡膠表面的微觀紋理和不規(guī)則性,測量精度會(huì)明顯下降,難以達(dá)到對(duì)光滑表面測量時(shí)的高精度水平。5.1.3 成本相對(duì)較高光譜共焦傳感器作為...
  • 8
    2023 - 02 - 26
    今天我為大家展示安全激光掃描儀產(chǎn)品,安全激光掃描儀適用于各種應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域,      在設(shè)備開發(fā)期間我們給予了特別關(guān)注,以確保它能夠在廣泛應(yīng)用中發(fā)揮最佳功能,尤其重視大型工作區(qū)域的防護(hù),例如機(jī)床正面區(qū)域或機(jī)器人工作區(qū)域。      其他應(yīng)用包括移動(dòng)車輛的防護(hù),例如側(cè)向滑動(dòng)裝置或移動(dòng)運(yùn)輸設(shè)備,無人駕駛運(yùn)輸系統(tǒng)。甚至垂直安裝激光掃描儀的出入口保護(hù)系統(tǒng)。盡管我們?cè)诎踩す鈷呙枧c領(lǐng)域,已經(jīng)有數(shù)10年的經(jīng)驗(yàn)了,但該應(yīng)用領(lǐng)域仍然面對(duì)許多挑戰(zhàn)。不過我們的激光安全掃描儀具有獨(dú)一無二的功能屬性,例如具有8.25米檢測距離和270度掃描范圍。       屬于目前市場上的高端設(shè)備,非常適合側(cè)向滑動(dòng)裝置正面區(qū)域等大型區(qū)域或長距離的防護(hù)。該設(shè)備的另一個(gè)亮點(diǎn)就是能夠同時(shí)監(jiān)測兩個(gè)保護(hù)功能。這在許多應(yīng)用領(lǐng)域中,獨(dú)具優(yōu)勢以前需要使用兩個(gè)設(shè)備,如今只需要使用一臺(tái)這樣的安全激光掃描儀,即可完成兩臺(tái)設(shè)備的功能。               實(shí)踐中遇到的一項(xiàng)挑戰(zhàn)是設(shè)計(jì)一款異常強(qiáng)骨的激光安全掃描儀。能夠適應(yīng)周圍環(huán)境中可能存在的灰塵和顆粒等惡劣條件,因此我們提供了較分辨率達(dá)到0.1度的設(shè)備。它在目前市場上具有非常高的價(jià)值。   ...
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藍(lán)光光源激光位移傳感器:優(yōu)勢、原理與特殊場景解決方案 —— 泓川科技 LTP 系列 405nm 定制... 2025 - 10 - 21 在工業(yè)精密測量中,傳統(tǒng)紅光激光位移傳感器常受高反射、半透明、高溫紅熱等特殊場景限制,而藍(lán)光光源(405nm 波長)憑借獨(dú)特物理特性實(shí)現(xiàn)突破。以下通過 “一問一答” 形式,詳解藍(lán)光傳感器的優(yōu)勢、原理構(gòu)造,并結(jié)合泓川科技 LTP 系列定制方案,看其如何解決特殊環(huán)境測量難題。1. 藍(lán)光光源激光位移傳感器相比傳統(tǒng)紅光,核心優(yōu)勢是什么?藍(lán)光傳感器的核心優(yōu)勢源于 405nm 波長的物理特性,相比傳統(tǒng) 655nm 左右的紅光,主要體現(xiàn)在三方面:更高橫向分辨率:根據(jù)瑞利判據(jù),光學(xué)分辨率與波長成反比。藍(lán)光波長僅為紅光的 62%(405nm/655nm≈0.62),相同光學(xué)系統(tǒng)下橫向分辨率可提升約 38%,能形成更小光斑(如泓川 LTP025 藍(lán)光版光斑最小達(dá) Φ18μm),適配芯片針腳、晶圓等微米級(jí)結(jié)構(gòu)測量。更強(qiáng)信號(hào)穩(wěn)定性:藍(lán)光單光子能量達(dá) 3.06eV,遠(yuǎn)高于紅光的 2.05eV。在低反射率材料(如橡膠、有機(jī)涂層)表面,能激發(fā)出更強(qiáng)散射信號(hào);同時(shí)穿透性更低,僅在材料表層作用,避免內(nèi)部折射干擾,適合表面精準(zhǔn)測量。更優(yōu)抗干擾能力:藍(lán)光波段與紅熱輻射(500nm 以上)、戶外強(qiáng)光(可見光為主)重疊度低,搭配專用濾光片后,可有效隔絕高溫物體自發(fā)光、陽光直射等干擾,這是紅光難以實(shí)現(xiàn)的。2. 藍(lán)光激光位移傳感器的原理構(gòu)造是怎樣的?為何能實(shí)現(xiàn)高精度測量?藍(lán)光傳感器的高精度的核心是 “光學(xué)設(shè)計(jì) + 信號(hào)處理 + ...
泓川科技國產(chǎn)系列光譜共焦/激光位移傳感器/白光干涉測厚產(chǎn)品性能一覽 2025 - 09 - 05 高精度測量傳感器全系列:賦能精密制造,適配多元檢測需求聚焦半導(dǎo)體、光學(xué)膜、機(jī)械加工等領(lǐng)域的精密檢測核心痛點(diǎn),我們推出全系列高性能測量傳感器,覆蓋 “測厚、對(duì)焦、位移” 三大核心應(yīng)用場景,以 “高精準(zhǔn)、高速度、高適配” 為設(shè)計(jì)核心,為您的工藝控制與質(zhì)量檢測提供可靠技術(shù)支撐。以下為各產(chǎn)品系列的詳細(xì)介紹:1.LTS-IR 紅外干涉測厚傳感器:半導(dǎo)體材料測厚專屬核心用途:專為硅、碳化硅、砷化鎵等半導(dǎo)體材料設(shè)計(jì),精準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)晶圓等器件的厚度測量。性能優(yōu)點(diǎn):精度卓越:±0.1μm 線性精度 + 2nm 重復(fù)精度,確保測量數(shù)據(jù)穩(wěn)定可靠;量程適配:覆蓋 10μm2mm 測厚范圍,滿足多數(shù)半導(dǎo)體材料檢測需求;高效高速:40kHz 采樣速度,快速捕捉厚度數(shù)據(jù),適配在線檢測節(jié)奏;靈活適配:寬范圍工作距離設(shè)計(jì),可靈活匹配不同規(guī)格的檢測設(shè)備與場景。2. 分體式對(duì)焦傳感器:半導(dǎo)體 / 面板缺陷檢測的 “高速對(duì)焦助手”核心用途:針對(duì)半導(dǎo)體、面板領(lǐng)域的高精度缺陷檢測場景,提供高速實(shí)時(shí)對(duì)焦支持,尤其適配顯微對(duì)焦類檢測設(shè)備。性能優(yōu)點(diǎn):對(duì)焦速度快:50kHz 高速對(duì)焦,同步匹配缺陷檢測的實(shí)時(shí)性需求;對(duì)焦精度高:0.5μm 對(duì)焦精度,保障缺陷成像清晰、檢測無偏差;設(shè)計(jì)靈活:分體式結(jié)構(gòu),可根據(jù)檢測設(shè)備的安裝空間與布局靈活調(diào)整,降低適配難度。3. LT-R 反射膜厚儀:極薄膜厚檢測的 “精密管家”核心用途:專注于極薄膜...
多方面研究泓川科技LTP系列大量程全國產(chǎn)激光位移傳感器 2025 - 09 - 02 泓川科技激光位移傳感器產(chǎn)品技術(shù)報(bào)告尊敬的客戶: 感謝您對(duì)泓川科技激光位移傳感器產(chǎn)品的關(guān)注與信任。為幫助您全面了解我司產(chǎn)品,現(xiàn)將激光位移傳感器相關(guān)技術(shù)信息從參數(shù)指標(biāo)、設(shè)計(jì)原理、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)等八大核心維度進(jìn)行詳細(xì)說明,為您的選型、使用及維護(hù)提供專業(yè)參考。一、參數(shù)指標(biāo)我司激光位移傳感器涵蓋 LTP400 系列與 LTP450 系列,各型號(hào)核心參數(shù)經(jīng)納米級(jí)高精度激光干涉儀標(biāo)定驗(yàn)證,確保數(shù)據(jù)精準(zhǔn)可靠,具體參數(shù)如下表所示:表 1:LTP400EA參數(shù)表參數(shù)類別具體參數(shù)LTP400EA備注基礎(chǔ)測量參數(shù)測量中心距離400mm以量程中心位置計(jì)算(*1)量程200mm-重復(fù)精度(靜態(tài))3μm測量標(biāo)準(zhǔn)白色陶瓷樣件,50kHz 無平均,取 65536 組數(shù)據(jù)均方根偏差(*2)線性度±0.03%F.S.(F.S.=200mm)采用納米級(jí)激光干涉儀標(biāo)定(*3)光源與光斑光源類型-激光功率可定制,部分型號(hào)提供 405nm 藍(lán)光版本(*4)光束直徑聚焦點(diǎn)光斑 Φ300μm中心位置直徑,兩端相對(duì)變大(*5)電氣參數(shù)電源電壓DC9-36V-功耗約 2.5W-短路保護(hù)反向連接保護(hù)、過電流保護(hù)-輸出與通信模擬量輸出(選配)電壓:0-5V/010V/-1010V;電流:420mA探頭可獨(dú)立提供電壓、電流與 RS485 輸出(*6)通訊接口RS485 串口、TCP/IP 網(wǎng)口可選配模擬電壓 / 電流輸出模塊(*7)響應(yīng)...
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