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Case 激光位移

玻璃基板平整度與重疊度的激光位移傳感檢測(cè)技術(shù)應(yīng)用案例

日期: 2024-10-11
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摘要

在液晶顯示面板的生產(chǎn)過程中,玻璃基板的平整度和重疊度是決定產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵因素。本文介紹了一種基于激光位移傳感器的測(cè)量方法,該方法通過精確測(cè)量玻璃基板的厚度及重疊狀態(tài),有效提升了裝載過程的精確性和效率,降低了損壞風(fēng)險(xiǎn)。

玻璃基板平整度與重疊度的激光位移傳感檢測(cè)技術(shù)應(yīng)用案例

一、引言

液晶顯示面板(LCD)作為現(xiàn)代電子設(shè)備的重要組成部分,其性能直接受到玻璃基板質(zhì)量的影響。玻璃基板的平整度、重疊度等參數(shù)對(duì)LCD的分辨率、透光度、厚度、整體質(zhì)量及視角等特性具有重要影響。因此,開發(fā)一種高效、精確的玻璃基板檢測(cè)方法對(duì)于提升LCD產(chǎn)品質(zhì)量具有重要意義。

玻璃基板平整度與重疊度的激光位移傳感檢測(cè)技術(shù)應(yīng)用案例

二、測(cè)量原理與方法

  1. 激光位移傳感器工作原理

    激光位移傳感器通過發(fā)射激光束并接收其經(jīng)被測(cè)物體表面反射后的光信號(hào),來測(cè)量物體表面的位移或厚度。在本案例中,采用兩個(gè)LTP激光位移傳感器對(duì)射安裝,采用正反射模式,以實(shí)現(xiàn)對(duì)透明玻璃基板的有效檢測(cè)。

  2. 測(cè)量步驟

    a.?傳感器安裝與校準(zhǔn):首先,將兩個(gè)LTP激光位移傳感器對(duì)射安裝,確保激光束能夠準(zhǔn)確照射到玻璃基板的上表面,并進(jìn)行初始校準(zhǔn),以消除系統(tǒng)誤差。

    b.?設(shè)定閾值:根據(jù)單個(gè)玻璃基板的厚度,設(shè)定一個(gè)合理的閾值。例如,若單個(gè)玻璃基板厚度為0.7mm,則兩塊玻璃重疊后的厚度應(yīng)明顯超過1.4mm。

    c.?數(shù)據(jù)采集與分析:?jiǎn)?dòng)傳感器,對(duì)玻璃基板進(jìn)行連續(xù)掃描,采集反射光信號(hào)并轉(zhuǎn)換為厚度數(shù)據(jù)。通過比較實(shí)際測(cè)量值與設(shè)定閾值,判斷玻璃基板是否重疊或存在其他異常。

  3. 方法原理

    在正反射模式下,激光束垂直照射到玻璃基板表面,反射光被傳感器接收并轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。由于玻璃基板是透明的,直接測(cè)量其厚度較為困難。但當(dāng)兩塊玻璃重疊時(shí),總厚度增加,反射光強(qiáng)度發(fā)生變化,傳感器能夠捕捉到這一變化并輸出相應(yīng)的厚度值。

    設(shè)單個(gè)玻璃基板的厚度為d,重疊后的總厚度為D,則重疊度R可表示為:

    R = \frac{D}oasseke \] (當(dāng)R > 2時(shí),表示存在重疊) 通過實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)R的值,可以準(zhǔn)確判斷玻璃基板在裝載過程中的重疊狀態(tài)。

玻璃基板平整度與重疊度的激光位移傳感檢測(cè)技術(shù)應(yīng)用案例



三、實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)與結(jié)果分析

為了驗(yàn)證該方法的可行性,我們進(jìn)行了如下實(shí)驗(yàn):

  • 實(shí)驗(yàn)條件:使用兩塊厚度均為0.7mm的玻璃基板,傳感器型號(hào)為L(zhǎng)TP-XXX,測(cè)量范圍為0-5mm,精度為±0.01mm。

  • 實(shí)驗(yàn)結(jié)果:在單次測(cè)量中,當(dāng)兩塊玻璃基板未重疊時(shí),傳感器輸出的厚度值為0.70mm(接近單個(gè)玻璃基板的實(shí)際厚度);當(dāng)兩塊玻璃基板重疊時(shí),傳感器輸出的厚度值為1.42mm(明顯超過設(shè)定閾值)。

  • 數(shù)據(jù)分析:實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,該方法能夠準(zhǔn)確區(qū)分玻璃基板是否重疊,且測(cè)量精度滿足生產(chǎn)要求。通過連續(xù)監(jiān)測(cè)和數(shù)據(jù)分析,可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)并糾正裝載過程中的問題,降低損壞風(fēng)險(xiǎn)。


四、結(jié)論與展望

本文介紹了一種基于激光位移傳感器的玻璃基板平整度與重疊度檢測(cè)方法。該方法通過精確測(cè)量玻璃基板的厚度及重疊狀態(tài),有效提升了LCD生產(chǎn)過程中的精確性和效率。未來,隨著傳感器技術(shù)的不斷發(fā)展,該方法有望進(jìn)一步優(yōu)化和完善,為L(zhǎng)CD生產(chǎn)提供更加精準(zhǔn)、高效的檢測(cè)手段。


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    2023 - 03 - 20
    介紹工業(yè)光電傳感器是現(xiàn)代制造業(yè)中最常用的檢測(cè)設(shè)備之一,廣泛應(yīng)用于自動(dòng)化生產(chǎn)線、機(jī)械加工、裝配、物流搬運(yùn)等行業(yè)。隨著國(guó)民經(jīng)濟(jì)的不斷發(fā)展,中國(guó)的工業(yè)光電傳感器制造業(yè)也不斷發(fā)展壯大,成為制造業(yè)的一支重要力量。本文旨在對(duì)中國(guó)產(chǎn)的工業(yè)光電傳感器現(xiàn)狀進(jìn)行描述。發(fā)展歷史20世紀(jì)80年代初期,我國(guó)的工業(yè)自動(dòng)化程度比較低,大部分生產(chǎn)線仍采用人力操作,制造業(yè)存在高人力成本、低效率、品質(zhì)難以保證等問題。為了提高制造業(yè)的效率和品質(zhì),中國(guó)開始引入外國(guó)的工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備,其中就包括工業(yè)光電傳感器。80年代中后期,國(guó)內(nèi)開始試水制造工業(yè)光電傳感器,并逐步發(fā)展壯大。90年代初期,隨著國(guó)民經(jīng)濟(jì)的增長(zhǎng)和工業(yè)自動(dòng)化的加速推進(jìn),中國(guó)的工業(yè)光電傳感器制造業(yè)進(jìn)入快速發(fā)展期。如今,中國(guó)的工業(yè)光電傳感器制造業(yè)已經(jīng)處于全球領(lǐng)先地位,成為世界聞名的光電傳感器生產(chǎn)基地之一。產(chǎn)業(yè)鏈分析商業(yè)模式中國(guó)的工業(yè)光電傳感器制造業(yè)商業(yè)模式主要是以生產(chǎn)銷售為主,較少采用研發(fā)生產(chǎn)銷售一體化模式。生產(chǎn)企業(yè)主要供應(yīng)給自動(dòng)化設(shè)備制造商,然后這些自動(dòng)化設(shè)備制造商銷售給最終用戶,最終用戶則使用這些設(shè)備來自動(dòng)化生產(chǎn)線。除此之外,還有一些企業(yè)將工業(yè)光電傳感器產(chǎn)品應(yīng)用到自己的設(shè)備制造中,以提高自己產(chǎn)品的品質(zhì)和效率,然后再將自己的產(chǎn)品銷售給最終用戶。在商業(yè)模式上,中國(guó)的工業(yè)光電傳感器制造業(yè)與歐美等發(fā)達(dá)國(guó)家還存在一定的差距。技術(shù)研發(fā)中國(guó)的工業(yè)光電傳感器制造業(yè)在技術(shù)研發(fā)方面逐漸...
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    2025 - 01 - 22
    一、引言1.1 研究背景與目的在當(dāng)今科技迅猛發(fā)展的時(shí)代,傳感器作為獲取信息的關(guān)鍵設(shè)備,在工業(yè)自動(dòng)化、智能制造、航空航天、汽車制造等眾多領(lǐng)域中發(fā)揮著不可或缺的重要作用。激光位移傳感器憑借其高精度、非接觸式測(cè)量、快速響應(yīng)等顯著優(yōu)勢(shì),成為了現(xiàn)代精密測(cè)量領(lǐng)域的核心設(shè)備之一。近年來,隨著國(guó)內(nèi)制造業(yè)的轉(zhuǎn)型升級(jí)以及對(duì)高精度測(cè)量需求的不斷攀升,我國(guó)傳感器市場(chǎng)呈現(xiàn)出蓬勃發(fā)展的態(tài)勢(shì)。然而,長(zhǎng)期以來,高端激光位移傳感器市場(chǎng)大多被國(guó)外品牌所占據(jù),這不僅限制了國(guó)內(nèi)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的自主發(fā)展,還在一定程度上影響了國(guó)家的產(chǎn)業(yè)安全。在此背景下,國(guó)產(chǎn)激光位移傳感器的研發(fā)與推廣顯得尤為重要。本研究聚焦于國(guó)產(chǎn)激光位移傳感器 HCM 系列,旨在深入剖析該系列產(chǎn)品的技術(shù)特點(diǎn)、性能優(yōu)勢(shì)、應(yīng)用場(chǎng)景以及市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。通過對(duì) HCM 系列產(chǎn)品的全面研究,期望能夠?yàn)橄嚓P(guān)行業(yè)的企業(yè)提供有價(jià)值的參考依據(jù),助力其在設(shè)備選型、技術(shù)升級(jí)等方面做出更為明智的決策。同時(shí),本研究也希望能夠?yàn)橥苿?dòng)國(guó)產(chǎn)激光位移傳感器行業(yè)的發(fā)展貢獻(xiàn)一份力量,促進(jìn)國(guó)內(nèi)傳感器產(chǎn)業(yè)的技術(shù)進(jìn)步與創(chuàng)新,提升我國(guó)在高端傳感器領(lǐng)域的自主研發(fā)能力和市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。1.2 研究方法與數(shù)據(jù)來源本研究綜合運(yùn)用了多種研究方法,以確保研究的全面性、準(zhǔn)確性和可靠性。在研究過程中,首先進(jìn)行了廣泛的文獻(xiàn)研究,收集并深入分析了國(guó)內(nèi)外關(guān)于激光位移傳感器的學(xué)術(shù)論文、行業(yè)報(bào)告、專利文獻(xiàn)等資料,從而對(duì)激光位移傳感器的發(fā)展歷程...
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藍(lán)光光源激光位移傳感器:優(yōu)勢(shì)、原理與特殊場(chǎng)景解決方案 —— 泓川科技 LTP 系列 405nm 定制... 2025 - 10 - 21 在工業(yè)精密測(cè)量中,傳統(tǒng)紅光激光位移傳感器常受高反射、半透明、高溫紅熱等特殊場(chǎng)景限制,而藍(lán)光光源(405nm 波長(zhǎng))憑借獨(dú)特物理特性實(shí)現(xiàn)突破。以下通過 “一問一答” 形式,詳解藍(lán)光傳感器的優(yōu)勢(shì)、原理構(gòu)造,并結(jié)合泓川科技 LTP 系列定制方案,看其如何解決特殊環(huán)境測(cè)量難題。1. 藍(lán)光光源激光位移傳感器相比傳統(tǒng)紅光,核心優(yōu)勢(shì)是什么?藍(lán)光傳感器的核心優(yōu)勢(shì)源于 405nm 波長(zhǎng)的物理特性,相比傳統(tǒng) 655nm 左右的紅光,主要體現(xiàn)在三方面:更高橫向分辨率:根據(jù)瑞利判據(jù),光學(xué)分辨率與波長(zhǎng)成反比。藍(lán)光波長(zhǎng)僅為紅光的 62%(405nm/655nm≈0.62),相同光學(xué)系統(tǒng)下橫向分辨率可提升約 38%,能形成更小光斑(如泓川 LTP025 藍(lán)光版光斑最小達(dá) Φ18μm),適配芯片針腳、晶圓等微米級(jí)結(jié)構(gòu)測(cè)量。更強(qiáng)信號(hào)穩(wěn)定性:藍(lán)光單光子能量達(dá) 3.06eV,遠(yuǎn)高于紅光的 2.05eV。在低反射率材料(如橡膠、有機(jī)涂層)表面,能激發(fā)出更強(qiáng)散射信號(hào);同時(shí)穿透性更低,僅在材料表層作用,避免內(nèi)部折射干擾,適合表面精準(zhǔn)測(cè)量。更優(yōu)抗干擾能力:藍(lán)光波段與紅熱輻射(500nm 以上)、戶外強(qiáng)光(可見光為主)重疊度低,搭配專用濾光片后,可有效隔絕高溫物體自發(fā)光、陽光直射等干擾,這是紅光難以實(shí)現(xiàn)的。2. 藍(lán)光激光位移傳感器的原理構(gòu)造是怎樣的?為何能實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量?藍(lán)光傳感器的高精度的核心是 “光學(xué)設(shè)計(jì) + 信號(hào)處理 + ...
泓川科技國(guó)產(chǎn)系列光譜共焦/激光位移傳感器/白光干涉測(cè)厚產(chǎn)品性能一覽 2025 - 09 - 05 高精度測(cè)量傳感器全系列:賦能精密制造,適配多元檢測(cè)需求聚焦半導(dǎo)體、光學(xué)膜、機(jī)械加工等領(lǐng)域的精密檢測(cè)核心痛點(diǎn),我們推出全系列高性能測(cè)量傳感器,覆蓋 “測(cè)厚、對(duì)焦、位移” 三大核心應(yīng)用場(chǎng)景,以 “高精準(zhǔn)、高速度、高適配” 為設(shè)計(jì)核心,為您的工藝控制與質(zhì)量檢測(cè)提供可靠技術(shù)支撐。以下為各產(chǎn)品系列的詳細(xì)介紹:1.LTS-IR 紅外干涉測(cè)厚傳感器:半導(dǎo)體材料測(cè)厚專屬核心用途:專為硅、碳化硅、砷化鎵等半導(dǎo)體材料設(shè)計(jì),精準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)晶圓等器件的厚度測(cè)量。性能優(yōu)點(diǎn):精度卓越:±0.1μm 線性精度 + 2nm 重復(fù)精度,確保測(cè)量數(shù)據(jù)穩(wěn)定可靠;量程適配:覆蓋 10μm2mm 測(cè)厚范圍,滿足多數(shù)半導(dǎo)體材料檢測(cè)需求;高效高速:40kHz 采樣速度,快速捕捉厚度數(shù)據(jù),適配在線檢測(cè)節(jié)奏;靈活適配:寬范圍工作距離設(shè)計(jì),可靈活匹配不同規(guī)格的檢測(cè)設(shè)備與場(chǎng)景。2. 分體式對(duì)焦傳感器:半導(dǎo)體 / 面板缺陷檢測(cè)的 “高速對(duì)焦助手”核心用途:針對(duì)半導(dǎo)體、面板領(lǐng)域的高精度缺陷檢測(cè)場(chǎng)景,提供高速實(shí)時(shí)對(duì)焦支持,尤其適配顯微對(duì)焦類檢測(cè)設(shè)備。性能優(yōu)點(diǎn):對(duì)焦速度快:50kHz 高速對(duì)焦,同步匹配缺陷檢測(cè)的實(shí)時(shí)性需求;對(duì)焦精度高:0.5μm 對(duì)焦精度,保障缺陷成像清晰、檢測(cè)無偏差;設(shè)計(jì)靈活:分體式結(jié)構(gòu),可根據(jù)檢測(cè)設(shè)備的安裝空間與布局靈活調(diào)整,降低適配難度。3. LT-R 反射膜厚儀:極薄膜厚檢測(cè)的 “精密管家”核心用途:專注于極薄膜...
多方面研究泓川科技LTP系列大量程全國(guó)產(chǎn)激光位移傳感器 2025 - 09 - 02 泓川科技激光位移傳感器產(chǎn)品技術(shù)報(bào)告尊敬的客戶: 感謝您對(duì)泓川科技激光位移傳感器產(chǎn)品的關(guān)注與信任。為幫助您全面了解我司產(chǎn)品,現(xiàn)將激光位移傳感器相關(guān)技術(shù)信息從參數(shù)指標(biāo)、設(shè)計(jì)原理、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)等八大核心維度進(jìn)行詳細(xì)說明,為您的選型、使用及維護(hù)提供專業(yè)參考。一、參數(shù)指標(biāo)我司激光位移傳感器涵蓋 LTP400 系列與 LTP450 系列,各型號(hào)核心參數(shù)經(jīng)納米級(jí)高精度激光干涉儀標(biāo)定驗(yàn)證,確保數(shù)據(jù)精準(zhǔn)可靠,具體參數(shù)如下表所示:表 1:LTP400EA參數(shù)表參數(shù)類別具體參數(shù)LTP400EA備注基礎(chǔ)測(cè)量參數(shù)測(cè)量中心距離400mm以量程中心位置計(jì)算(*1)量程200mm-重復(fù)精度(靜態(tài))3μm測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)白色陶瓷樣件,50kHz 無平均,取 65536 組數(shù)據(jù)均方根偏差(*2)線性度±0.03%F.S.(F.S.=200mm)采用納米級(jí)激光干涉儀標(biāo)定(*3)光源與光斑光源類型-激光功率可定制,部分型號(hào)提供 405nm 藍(lán)光版本(*4)光束直徑聚焦點(diǎn)光斑 Φ300μm中心位置直徑,兩端相對(duì)變大(*5)電氣參數(shù)電源電壓DC9-36V-功耗約 2.5W-短路保護(hù)反向連接保護(hù)、過電流保護(hù)-輸出與通信模擬量輸出(選配)電壓:0-5V/010V/-1010V;電流:420mA探頭可獨(dú)立提供電壓、電流與 RS485 輸出(*6)通訊接口RS485 串口、TCP/IP 網(wǎng)口可選配模擬電壓 / 電流輸出模塊(*7)響應(yīng)...
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