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Case 激光位移

泓川科技 HC8-400 激光位移傳感器在 85°C 高溫石英舟工況環(huán)境下的應(yīng)用案例

日期: 2025-03-11
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在光伏硼擴(kuò)散工藝中,石英舟(石墨舟)到位檢測(cè)是確保工藝精準(zhǔn)度和產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。然而,該工況面臨著兩大技術(shù)難題:一是高溫環(huán)境,普通傳感器難以承受;二是石英舟的透光材質(zhì)特性,常規(guī)檢測(cè)手段無(wú)法有效檢測(cè)其位置。泓川科技的 HC8-400 系列激光位移傳感器憑借其卓越的性能,成功攻克這些難題,在 85°C 的石英舟工況環(huán)境下發(fā)揮了關(guān)鍵作用。

泓川科技 HC8-400 激光位移傳感器在 85°C 高溫石英舟工況環(huán)境下的應(yīng)用案例


一、項(xiàng)目背景


在光伏產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展的當(dāng)下,提高電池片轉(zhuǎn)換效率、降低生產(chǎn)成本成為行業(yè)追求的目標(biāo)。硼擴(kuò)散工藝作為光伏電池制造的重要環(huán)節(jié),對(duì)石英舟在高溫爐內(nèi)的位置精度要求極高。但在實(shí)際生產(chǎn)中,由于高溫爐內(nèi)溫度高達(dá) 85°C,普通傳感器在此環(huán)境下,電子元件性能會(huì)受到嚴(yán)重影響,導(dǎo)致測(cè)量精度下降甚至失效。同時(shí),石英舟的透光特性使得光線能夠穿透,普通光學(xué)傳感器無(wú)法通過(guò)反射光線獲取其位置信息,這給石英舟到位檢測(cè)帶來(lái)了極大挑戰(zhàn)。

泓川科技 HC8-400 激光位移傳感器在 85°C 高溫石英舟工況環(huán)境下的應(yīng)用案例


二、HC8-400 激光位移傳感器技術(shù)優(yōu)勢(shì)


  1. 耐高溫特性:HC8-400 系列激光位移傳感器的工作溫度范圍為 - 1050°C,但其特殊的散熱設(shè)計(jì)和選用的耐高溫材料,使其能夠在 85°C 的惡劣高溫環(huán)境下穩(wěn)定工作。該傳感器內(nèi)部采用了高效散熱結(jié)構(gòu),可快速將熱量散發(fā)出去,避免因溫度過(guò)高導(dǎo)致元件損壞或性能下降。同時(shí),選用的耐高溫電子元件,經(jīng)過(guò)嚴(yán)格篩選和測(cè)試,確保在高溫環(huán)境下仍能保持良好的電氣性能,為準(zhǔn)確檢測(cè)提供了可靠保障。


  2. 檢測(cè)透明材質(zhì)能力:這款傳感器采用先進(jìn)的激光測(cè)量技術(shù),能夠發(fā)射特定波長(zhǎng)的激光束。對(duì)于石英舟這種透光材質(zhì),它可以通過(guò)檢測(cè)激光束在透過(guò)石英舟過(guò)程中的微小折射和散射變化,精確計(jì)算出石英舟的位置。其光源波長(zhǎng)為 655nm,在該波長(zhǎng)下,激光束與石英舟的相互作用能夠產(chǎn)生可檢測(cè)的信號(hào)變化,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)透明石英舟的有效檢測(cè)。


  3. 高精度測(cè)量性能:HC8-400 激光位移傳感器具有出色的測(cè)量精度。其參考距離為 400mm,測(cè)量范圍為 ±200mm,在測(cè)量距離 200mm - 400mm 時(shí),重復(fù)精度可達(dá) 150μm,線性度為 ±0.2% 的 F.S.;在測(cè)量距離 400mm - 600mm 時(shí),重復(fù)精度為 400μm,線性度為 ±0.3% 的 F.S.。如此高的精度能夠滿足石英舟到位檢測(cè)對(duì)位置精度的嚴(yán)格要求,確保硅片在高溫爐內(nèi)的位置精準(zhǔn),進(jìn)而保證硼擴(kuò)散的均勻性,提高電池片轉(zhuǎn)換效率。


  4. 豐富的功能配置:傳感器具備多種實(shí)用功能。它擁有 1 個(gè) RS485 通信端口,支持 Modbus RTU 協(xié)議,方便與上位機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸和通信,實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控和控制。1 路模擬量輸出(模擬電壓 0 - 5V 或模擬電流 4 - 20mA),可根據(jù)實(shí)際需求選擇輸出方式,便于與其他設(shè)備集成。1 路 IO 輸入,支持激光器關(guān)閉、教導(dǎo)、觸發(fā)、歸零等功能,1 路 IO 輸出用于判定狀態(tài)輸出,這些功能為傳感器在復(fù)雜的工業(yè)環(huán)境中的應(yīng)用提供了便利。


泓川科技 HC8-400 激光位移傳感器在 85°C 高溫石英舟工況環(huán)境下的應(yīng)用案例

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三、實(shí)際應(yīng)用方案


  1. 傳感器安裝:在高溫爐上,根據(jù)石英舟的運(yùn)行軌跡和檢測(cè)需求,精確安裝 HC8-400 激光位移傳感器。安裝時(shí),確保傳感器的測(cè)量方向與石英舟的運(yùn)動(dòng)方向垂直,以獲取最準(zhǔn)確的測(cè)量數(shù)據(jù)。同時(shí),對(duì)傳感器進(jìn)行防護(hù)處理,防止高溫爐內(nèi)的灰塵、雜質(zhì)等對(duì)傳感器造成損害。


  2. 系統(tǒng)集成:將 HC8-400 激光位移傳感器與生產(chǎn)線上的控制系統(tǒng)進(jìn)行集成。通過(guò) RS485 通信端口,將傳感器采集到的石英舟位置數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)傳輸給控制系統(tǒng)??刂葡到y(tǒng)根據(jù)預(yù)設(shè)的位置標(biāo)準(zhǔn),對(duì)傳感器數(shù)據(jù)進(jìn)行分析處理。當(dāng)檢測(cè)到石英舟位置偏移或未到位時(shí),控制系統(tǒng)立即發(fā)出指令,調(diào)整石英舟的位置,確保工藝正常進(jìn)行。


  3. 數(shù)據(jù)處理與反饋:傳感器采集的大量位置數(shù)據(jù)在控制系統(tǒng)中進(jìn)行實(shí)時(shí)處理。通過(guò)數(shù)據(jù)分析,可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)石英舟位置的微小變化趨勢(shì),提前進(jìn)行調(diào)整,避免因位置偏差積累導(dǎo)致的產(chǎn)品質(zhì)量問(wèn)題。同時(shí),這些數(shù)據(jù)還可以用于對(duì)生產(chǎn)工藝進(jìn)行優(yōu)化,進(jìn)一步提高硼擴(kuò)散工藝的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量。

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四、應(yīng)用效果


  1. 提高產(chǎn)品質(zhì)量:使用 HC8-400 激光位移傳感器后,石英舟在高溫爐內(nèi)的位置得到精確控制,硼元素在硅片中的擴(kuò)散更加均勻,電池片轉(zhuǎn)換效率顯著提高。經(jīng)檢測(cè),采用該傳感器進(jìn)行位置檢測(cè)后,電池片的轉(zhuǎn)換效率平均提升了 [X]%,產(chǎn)品質(zhì)量得到了有效保障。


  2. 降低生產(chǎn)成本:精準(zhǔn)的位置檢測(cè)避免了硅片與爐壁的碰撞,大大降低了碎片率和材料損耗。據(jù)統(tǒng)計(jì),在應(yīng)用該傳感器之前,硅片碎片率約為 [X]%,使用后碎片率降低至 [X]%,有效降低了生產(chǎn)成本。


  3. 提升生產(chǎn)效率:傳感器的快速響應(yīng)和高精度測(cè)量,使得石英舟的位置調(diào)整更加及時(shí)準(zhǔn)確,減少了因位置問(wèn)題導(dǎo)致的生產(chǎn)中斷時(shí)間,生產(chǎn)效率得到明顯提升。生產(chǎn)線的整體產(chǎn)能提高了 [X]%,為企業(yè)帶來(lái)了更大的經(jīng)濟(jì)效益。

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五、總結(jié)


泓川科技 HC8-400 系列激光位移傳感器憑借其耐高溫、能檢測(cè)透明材質(zhì)、高精度測(cè)量和豐富功能配置等優(yōu)勢(shì),成功解決了光伏硼擴(kuò)散工藝中石英舟到位檢測(cè)的難題。在 85°C 的高溫石英舟工況環(huán)境下,該傳感器穩(wěn)定可靠地工作,為提高光伏電池片的質(zhì)量和生產(chǎn)效率做出了重要貢獻(xiàn)。隨著光伏產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展,對(duì)生產(chǎn)工藝精度的要求將越來(lái)越高,HC8-400 激光位移傳感器有望在更多領(lǐng)域得到應(yīng)用,推動(dòng)整個(gè)行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步和發(fā)展


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  • 4
    2024 - 03 - 05
    非接觸式激光位移傳感器在生產(chǎn)線上的應(yīng)用具有多方面的優(yōu)勢(shì),下面將從精度、速度、可靠性、靈活性和安全性等方面進(jìn)行逐一分析,并通過(guò)具體的應(yīng)用場(chǎng)景來(lái)說(shuō)明其應(yīng)用價(jià)值。同時(shí),還會(huì)與傳統(tǒng)的接觸式傳感器進(jìn)行比較,以突顯非接觸式激光位移傳感器的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)。精度:非接觸式激光位移傳感器采用激光三角測(cè)量法,具有極高的測(cè)量精度。例如,在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,需要精確控制薄膜的厚度,非接觸式激光位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)微米級(jí)的測(cè)量精度,從而確保產(chǎn)品質(zhì)量。相比之下,傳統(tǒng)接觸式傳感器可能會(huì)因?yàn)榻佑|力度的不同而影響測(cè)量精度。速度:非接觸式激光位移傳感器具有快速響應(yīng)的特點(diǎn),可以在生產(chǎn)線上實(shí)現(xiàn)高速測(cè)量。例如,在包裝機(jī)械中,需要實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)包裝材料的位置和速度,非接觸式激光位移傳感器可以迅速捕捉到這些變化,從而確保包裝過(guò)程的順利進(jìn)行。而傳統(tǒng)接觸式傳感器可能會(huì)因?yàn)榻佑|摩擦等因素而影響測(cè)量速度??煽啃裕悍墙佑|式激光位移傳感器無(wú)需與目標(biāo)物體直接接觸,因此可以避免因摩擦、磨損等因素導(dǎo)致的傳感器損壞。此外,非接觸式傳感器還具有較好的抗干擾能力,可以在惡劣的生產(chǎn)環(huán)境中穩(wěn)定工作。相比之下,傳統(tǒng)接觸式傳感器更容易受到環(huán)境因素的影響而出現(xiàn)故障。靈活性:非接觸式激光位移傳感器可以適應(yīng)不同的測(cè)量需求,通過(guò)調(diào)整激光發(fā)射角度、接收透鏡焦距等參數(shù),可以實(shí)現(xiàn)不同距離、不同角度的測(cè)量。此外,非接觸式傳感器還可以與計(jì)算機(jī)、PLC等設(shè)備進(jìn)行連接,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制和數(shù)據(jù)處理...
  • 5
    2025 - 03 - 27
    1. 引言在工業(yè)自動(dòng)化領(lǐng)域,激光位移傳感器是實(shí)現(xiàn)高精度非接觸測(cè)量的核心器件?;魇?IL-S025 作為市場(chǎng)主流產(chǎn)品,以其 1μm 重復(fù)精度和穩(wěn)定性能著稱。然而,隨著國(guó)產(chǎn)傳感器技術(shù)的突破,泓川科技 LTM3-030/LTM3-030W 型號(hào)憑借更高的性能參數(shù)和經(jīng)濟(jì)性,為用戶提供了新的選擇。本文將從技術(shù)參數(shù)、性能表現(xiàn)、應(yīng)用場(chǎng)景等方面,深入對(duì)比分析兩者的替代可行性。 2. 核心技術(shù)參數(shù)對(duì)比參數(shù)基恩士 IL-S025泓川科技 LTM3-030/LTM3-030W對(duì)比結(jié)論重復(fù)精度1μm0.25μm(LTM3-030)/ 0.25μm(LTM3-030W)LTM3 系列更優(yōu)(4 倍精度提升)線性誤差±0.075% F.S.(±5mm 范圍)LTM3-030W 更優(yōu)(接近 IL-S025)測(cè)量范圍±5mm(參考距離 25mm)±5mm(參考距離 30mm)等效采樣頻率3kHz(采樣周期 0.33ms)10kHzLTM3 系列更優(yōu)(3倍速度提升)光斑尺寸25×1200μm(線性光斑)Φ35μm(M3-030)/ Φ35×400μm(M3-030W)LTM3 系列光斑更?。c(diǎn)光斑更聚焦)光源類型660nm 激光(Class 2)655nm 激光(Class 2)等效接口配置需外接放大器單元(支持 EtherNet/IP 等)...
  • 6
    2025 - 01 - 16
    一、引言1.1 研究背景與目的在汽車行業(yè)邁向智能化與自動(dòng)化的進(jìn)程中,先進(jìn)駕駛輔助系統(tǒng)(ADAS)作為關(guān)鍵技術(shù),正發(fā)揮著愈發(fā)重要的作用。ADAS 憑借多種傳感器與智能算法,能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)車輛周邊環(huán)境,為駕駛員提供預(yù)警與輔助控制,極大地提升了駕駛的安全性與舒適性。本報(bào)告旨在深入剖析《ADAS 相關(guān)工具 核心功能 & 技術(shù)》中所涉及的 ADAS 相關(guān)工具應(yīng)用案例,通過(guò)詳細(xì)描述各案例的具體應(yīng)用場(chǎng)景、工作原理及達(dá)成的效果,深度挖掘這些工具在汽車制造及 ADAS 系統(tǒng)開(kāi)發(fā)過(guò)程中的重要價(jià)值,為行業(yè)內(nèi)相關(guān)人員提供具有實(shí)際參考意義的信息,助力推動(dòng) ADAS 技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展與廣泛應(yīng)用。 1.2 研究方法與數(shù)據(jù)來(lái)源本報(bào)告通過(guò)對(duì)《ADAS 相關(guān)工具 核心功能 & 技術(shù)》進(jìn)行全面細(xì)致的整理與深入分析,從中系統(tǒng)地提取出各類 ADAS 相關(guān)工具的應(yīng)用案例。在分析過(guò)程中,對(duì)每個(gè)案例的技術(shù)原理、應(yīng)用場(chǎng)景以及所實(shí)現(xiàn)的功能進(jìn)行了詳細(xì)闡述,并結(jié)合實(shí)際情況進(jìn)行了深入探討。本文所引用的 ADAS 相關(guān)工具的應(yīng)用案例及技術(shù)原理均來(lái)自《ADAS 相關(guān)工具 核心功能 & 技術(shù)》文檔,該文檔為此次研究提供了豐富且詳實(shí)的一手資料,確保了研究的準(zhǔn)確性與可靠性。 二、車載相機(jī)應(yīng)用案例剖析2.1 底部填充膠涂抹高度測(cè)量2.1.1 案例描述在汽車電子制造中,車載相機(jī)的底部填充膠涂抹高度對(duì)于確保相機(jī)的...
  • 7
    2022 - 12 - 03
    激光測(cè)距傳感器的功能,你了解多少呢?大家好,我是無(wú)錫宏川傳感學(xué)堂的李同學(xué)。激光測(cè)距傳感器的功能可分為距離測(cè)量和窗口測(cè)量。其中距離測(cè)量在測(cè)距應(yīng)用中傳感器可以隨時(shí)投入使用。直接給出與物體之間的距離。測(cè)量值可用于系統(tǒng)控制或者物體的精準(zhǔn)定位。此外還可以選擇對(duì)數(shù)字量模擬,量輸出進(jìn)行調(diào)整。如果需要檢測(cè)尺寸較小的物體??芍苯舆M(jìn)行窗口測(cè)量。通過(guò)對(duì)參照物進(jìn)行自學(xué)習(xí),傳感器可直接測(cè)得與標(biāo)稱尺寸的偏差。在這種情況下,數(shù)字量輸出也可以進(jìn)行相應(yīng)的參數(shù)進(jìn)行。除了傳感器的尺寸和測(cè)量范圍。光斑的形狀也尤其重要,點(diǎn)擊光代表精準(zhǔn)聚焦。能精確測(cè)量小尺寸的物體。線激光能可靠測(cè)量粗糙度比較大的表面積。帶紋理的彩色表面。在光澤不均勻或極其粗糙的表面上也能進(jìn)行穩(wěn)定的測(cè)量。
  • 8
    2023 - 10 - 01
    '新吳科之匠',泓川科技有限公司全新打造的傳感器新標(biāo)桿,我們凝聚高端技術(shù)力量,專注于高精度、高性能的激光位移傳感器LTP系列,光譜共焦傳感器LTC系列,白光干涉測(cè)厚傳感器,線光譜共焦傳感器,以及3D結(jié)構(gòu)光和3D線激光。 強(qiáng)大的研發(fā)能力和對(duì)細(xì)節(jié)無(wú)窮追求,讓我們的產(chǎn)品在每個(gè)細(xì)微處都彰顯出卓越品質(zhì)。'新吳科之匠'不僅寓意著尖端科技的集中體現(xiàn),更代表著對(duì)品質(zhì)的極致追求。我們相信,只有最好,才能過(guò)硬。
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藍(lán)光光源激光位移傳感器:優(yōu)勢(shì)、原理與特殊場(chǎng)景解決方案 —— 泓川科技 LTP 系列 405nm 定制... 2025 - 10 - 21 在工業(yè)精密測(cè)量中,傳統(tǒng)紅光激光位移傳感器常受高反射、半透明、高溫紅熱等特殊場(chǎng)景限制,而藍(lán)光光源(405nm 波長(zhǎng))憑借獨(dú)特物理特性實(shí)現(xiàn)突破。以下通過(guò) “一問(wèn)一答” 形式,詳解藍(lán)光傳感器的優(yōu)勢(shì)、原理構(gòu)造,并結(jié)合泓川科技 LTP 系列定制方案,看其如何解決特殊環(huán)境測(cè)量難題。1. 藍(lán)光光源激光位移傳感器相比傳統(tǒng)紅光,核心優(yōu)勢(shì)是什么?藍(lán)光傳感器的核心優(yōu)勢(shì)源于 405nm 波長(zhǎng)的物理特性,相比傳統(tǒng) 655nm 左右的紅光,主要體現(xiàn)在三方面:更高橫向分辨率:根據(jù)瑞利判據(jù),光學(xué)分辨率與波長(zhǎng)成反比。藍(lán)光波長(zhǎng)僅為紅光的 62%(405nm/655nm≈0.62),相同光學(xué)系統(tǒng)下橫向分辨率可提升約 38%,能形成更小光斑(如泓川 LTP025 藍(lán)光版光斑最小達(dá) Φ18μm),適配芯片針腳、晶圓等微米級(jí)結(jié)構(gòu)測(cè)量。更強(qiáng)信號(hào)穩(wěn)定性:藍(lán)光單光子能量達(dá) 3.06eV,遠(yuǎn)高于紅光的 2.05eV。在低反射率材料(如橡膠、有機(jī)涂層)表面,能激發(fā)出更強(qiáng)散射信號(hào);同時(shí)穿透性更低,僅在材料表層作用,避免內(nèi)部折射干擾,適合表面精準(zhǔn)測(cè)量。更優(yōu)抗干擾能力:藍(lán)光波段與紅熱輻射(500nm 以上)、戶外強(qiáng)光(可見(jiàn)光為主)重疊度低,搭配專用濾光片后,可有效隔絕高溫物體自發(fā)光、陽(yáng)光直射等干擾,這是紅光難以實(shí)現(xiàn)的。2. 藍(lán)光激光位移傳感器的原理構(gòu)造是怎樣的?為何能實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量?藍(lán)光傳感器的高精度的核心是 “光學(xué)設(shè)計(jì) + 信號(hào)處理 + ...
泓川科技國(guó)產(chǎn)系列光譜共焦/激光位移傳感器/白光干涉測(cè)厚產(chǎn)品性能一覽 2025 - 09 - 05 高精度測(cè)量傳感器全系列:賦能精密制造,適配多元檢測(cè)需求聚焦半導(dǎo)體、光學(xué)膜、機(jī)械加工等領(lǐng)域的精密檢測(cè)核心痛點(diǎn),我們推出全系列高性能測(cè)量傳感器,覆蓋 “測(cè)厚、對(duì)焦、位移” 三大核心應(yīng)用場(chǎng)景,以 “高精準(zhǔn)、高速度、高適配” 為設(shè)計(jì)核心,為您的工藝控制與質(zhì)量檢測(cè)提供可靠技術(shù)支撐。以下為各產(chǎn)品系列的詳細(xì)介紹:1.LTS-IR 紅外干涉測(cè)厚傳感器:半導(dǎo)體材料測(cè)厚專屬核心用途:專為硅、碳化硅、砷化鎵等半導(dǎo)體材料設(shè)計(jì),精準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)晶圓等器件的厚度測(cè)量。性能優(yōu)點(diǎn):精度卓越:±0.1μm 線性精度 + 2nm 重復(fù)精度,確保測(cè)量數(shù)據(jù)穩(wěn)定可靠;量程適配:覆蓋 10μm2mm 測(cè)厚范圍,滿足多數(shù)半導(dǎo)體材料檢測(cè)需求;高效高速:40kHz 采樣速度,快速捕捉厚度數(shù)據(jù),適配在線檢測(cè)節(jié)奏;靈活適配:寬范圍工作距離設(shè)計(jì),可靈活匹配不同規(guī)格的檢測(cè)設(shè)備與場(chǎng)景。2. 分體式對(duì)焦傳感器:半導(dǎo)體 / 面板缺陷檢測(cè)的 “高速對(duì)焦助手”核心用途:針對(duì)半導(dǎo)體、面板領(lǐng)域的高精度缺陷檢測(cè)場(chǎng)景,提供高速實(shí)時(shí)對(duì)焦支持,尤其適配顯微對(duì)焦類檢測(cè)設(shè)備。性能優(yōu)點(diǎn):對(duì)焦速度快:50kHz 高速對(duì)焦,同步匹配缺陷檢測(cè)的實(shí)時(shí)性需求;對(duì)焦精度高:0.5μm 對(duì)焦精度,保障缺陷成像清晰、檢測(cè)無(wú)偏差;設(shè)計(jì)靈活:分體式結(jié)構(gòu),可根據(jù)檢測(cè)設(shè)備的安裝空間與布局靈活調(diào)整,降低適配難度。3. LT-R 反射膜厚儀:極薄膜厚檢測(cè)的 “精密管家”核心用途:專注于極薄膜...
多方面研究泓川科技LTP系列大量程全國(guó)產(chǎn)激光位移傳感器 2025 - 09 - 02 泓川科技激光位移傳感器產(chǎn)品技術(shù)報(bào)告尊敬的客戶: 感謝您對(duì)泓川科技激光位移傳感器產(chǎn)品的關(guān)注與信任。為幫助您全面了解我司產(chǎn)品,現(xiàn)將激光位移傳感器相關(guān)技術(shù)信息從參數(shù)指標(biāo)、設(shè)計(jì)原理、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)等八大核心維度進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明,為您的選型、使用及維護(hù)提供專業(yè)參考。一、參數(shù)指標(biāo)我司激光位移傳感器涵蓋 LTP400 系列與 LTP450 系列,各型號(hào)核心參數(shù)經(jīng)納米級(jí)高精度激光干涉儀標(biāo)定驗(yàn)證,確保數(shù)據(jù)精準(zhǔn)可靠,具體參數(shù)如下表所示:表 1:LTP400EA參數(shù)表參數(shù)類別具體參數(shù)LTP400EA備注基礎(chǔ)測(cè)量參數(shù)測(cè)量中心距離400mm以量程中心位置計(jì)算(*1)量程200mm-重復(fù)精度(靜態(tài))3μm測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)白色陶瓷樣件,50kHz 無(wú)平均,取 65536 組數(shù)據(jù)均方根偏差(*2)線性度±0.03%F.S.(F.S.=200mm)采用納米級(jí)激光干涉儀標(biāo)定(*3)光源與光斑光源類型-激光功率可定制,部分型號(hào)提供 405nm 藍(lán)光版本(*4)光束直徑聚焦點(diǎn)光斑 Φ300μm中心位置直徑,兩端相對(duì)變大(*5)電氣參數(shù)電源電壓DC9-36V-功耗約 2.5W-短路保護(hù)反向連接保護(hù)、過(guò)電流保護(hù)-輸出與通信模擬量輸出(選配)電壓:0-5V/010V/-1010V;電流:420mA探頭可獨(dú)立提供電壓、電流與 RS485 輸出(*6)通訊接口RS485 串口、TCP/IP 網(wǎng)口可選配模擬電壓 / 電流輸出模塊(*7)響應(yīng)...
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