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產(chǎn)品名稱:

Φ8mm微型光譜共焦探頭LTC3000 測量范圍7±1.5mm,線性誤差0.6um

上市日期: 2022-10-22
參考距離:7mm
測量范圍:±1.5mm
光斑直徑:Φ26μm
測量角度:±10°
靜態(tài)噪聲*2:240nm
線性誤差:<±0.6μm
橫向分辨率:13μm
外徑*長度:φ8*38.7mm
重量:10g
最小可測厚度:10% of F.S.
溫度特征:<0.03% of F.S. /℃
防護等級:IP40


Top / 精選推薦
  • 發(fā)布時間: 2023 - 12 - 09
    10kHz的超快采樣速度LTS采用了高亮度的彩色光源、高效率的光學鏡組和高靈敏度的電子器件,能夠?qū)崿F(xiàn)行業(yè)領(lǐng)先的采樣 速度,從而幫助客戶提高測量效率和加快產(chǎn)線的節(jié)拍。+20nm的超高線性精度獨立設(shè)計的高空間分辨率的白光干涉光學探頭,能夠帶來極為出色的線性特性?;诟缮嬖淼臏y厚探頭,無原理層面引入的非線性因素,只需要考慮光譜分析過程中的非線性誤差。1nm的超高重復(fù)精度采用高靈敏度、高信噪比的元器件,同時在探頭中實現(xiàn)內(nèi)部信號數(shù)字化,大大減小了噪聲干擾。同時基于干涉的測厚方式能夠大大提高傳感器對外部擾動的抑制能力。
  • 發(fā)布時間: 2021 - 09 - 06
    基于調(diào)頻連續(xù)波(FMCW)的相干接收原理,高精度的測距。實現(xiàn)微米級的遠距準確測距。通過集成光學原理實現(xiàn)超高精度的測量硅基光電集成技術(shù),一體化的光學封裝技術(shù),實現(xiàn)半導(dǎo)體激光器和探測器集成統(tǒng)一光學傳感模組。非凡的抗干擾性和穩(wěn)定性不受材質(zhì)顏色、環(huán)境光等干擾同軸測量無死角輕量、便攜無需控制器、放大器等,只一個傳感器即可測量。數(shù)字化 可與多個開放式現(xiàn)場網(wǎng)絡(luò)兼容。檢測不受限通過物體的表面反射或遮光量進行檢測,可檢測大多數(shù)物體(玻璃、金屬、塑料、木料及液體等)。長距離 高功率傳感器,輕松進行長距離檢測。非接觸采用激光非接觸測量方法,對被測設(shè)備無任何影響且不會產(chǎn)生接觸劃痕。壽命較長,無需進行維護。同軸回光 支持狹小空間間隙檢測。高精度 小光斑可精確檢測小微型物體。穩(wěn)定檢測 根據(jù)工件設(shè)置最優(yōu)的激光發(fā)射功率以及增益。
  • 發(fā)布時間: 2021 - 08 - 12
    泓川科技LTC全系列光譜共焦傳感器,量程橫跨±0.05mm至±25mm,0.02%FS線性精度+30kHz超高速采樣,支持Φ1.7μmΦ400μm三級光斑配置。深孔內(nèi)壁(LTCR側(cè)向出光)、透明多層測厚(LTC7000S)、超高溫場景(200°C定制)全覆蓋,適配21kHz高速控制器(LT-CCH)及16通道同步系統(tǒng)。專為半導(dǎo)體晶圓、新能源極片、航空航天精密件、醫(yī)療植入物等高端制造領(lǐng)域提供國產(chǎn)高性價比替代方案,重新定義工業(yè)檢測新標準!
  • 發(fā)布時間: 2021 - 04 - 20
    高韌性線纜,配備至機器人時也可放心使用。完全符合 IP67 標準的連接器,在潮濕或粉塵較多的現(xiàn)場環(huán)境中也可放心使用,傳感頭也完全符合 IP67 標準。光量自動調(diào)節(jié)功能,有效提高光亮調(diào)整的靈敏度,自動根據(jù)不同被測物的反光度調(diào)節(jié)激光亮度范圍。定制物鏡可將不規(guī)則的光束消除,同時將畸變的影響降至最低,大幅提高測量系統(tǒng)的線性精度。
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專業(yè)從事激光位移傳感器,激光焊縫跟蹤系統(tǒng)研發(fā)及銷售的科技公司
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  • 1
    2023 - 02 - 21
    激光位移傳感器是一種用于測量距離和輪廓表面的自動光學傳感技術(shù)。它的工作原理是發(fā)射激光束,激光束被目標表面或區(qū)域反射,然后光束返回所需的時間被轉(zhuǎn)換為距離測量。它的主要應(yīng)用是尺寸計量,可以精確測量長度、距離和粗糙度輪廓。激光位移傳感器也用于工業(yè)自動化、機器人和機器視覺應(yīng)用。什么是激光位移傳感器?       激光位移傳感器是一種用于測量距離和輪廓表面的自動光學傳感技術(shù)。該系統(tǒng)通過從激光源發(fā)射激光來工作。然后,該激光束從目標表面或區(qū)域反射回來。然后,光束覆蓋距離和返回所花費的時間被轉(zhuǎn)換為距離測量或輪廓。激光位移傳感器通常由三個主要部分組成:*激光源*光學探測器*處理器      激光源通常是激光二極管,其波長適合于目標區(qū)域及其光學特性。激光二極管產(chǎn)生激光束,該激光束被引導(dǎo)到目標表面或區(qū)域上。然后光束被反射回檢測器。根據(jù)應(yīng)用,可以用一定范圍的脈沖頻率調(diào)制光束。光束由光學檢測器檢測。檢測器將光轉(zhuǎn)換成電信號,然后將其發(fā)送到處理器。然后處理器處理信息并將測量數(shù)據(jù)發(fā)送到數(shù)字顯示器或計算機。然后,數(shù)據(jù)可用于進一步分析或控制自動化過程。歷史:       激光位移傳感器最初是在20世紀70年代開發(fā)的,是麻省理工學院研究項目的一部分。這項研究由美國陸軍研究實驗室和美國空軍賴特實驗室贊助。該技術(shù)最...
  • 2
    2025 - 01 - 09
    一、光譜共焦傳感技術(shù)解密光譜共焦技術(shù)的起源,要追溯到科學家們對傳統(tǒng)成像精度局限的深刻洞察。在 20 世紀 70 年代,傳統(tǒng)成像在精密測量領(lǐng)域遭遇瓶頸,為突破這一困境,基于干涉原理的光譜共焦方法應(yīng)運而生,開啟了高精度測量的新篇章。進入 80 年代,科研人員不斷改進儀器設(shè)計,引入特殊的分光元件,如同給傳感器裝上了 “精密濾網(wǎng)”,精準分辨不同波長光信號;搭配高靈敏度探測器,將光信號轉(zhuǎn)化為精確數(shù)字信息。同時,計算機技術(shù)強勢助力,實現(xiàn)數(shù)據(jù)快速處理、動態(tài)輸出測量結(jié)果,讓光譜共焦技術(shù)穩(wěn)步走向成熟。90 年代,納米技術(shù)、微電子學蓬勃發(fā)展,對測量精度要求愈發(fā)苛刻??蒲袌F隊迎難而上,開發(fā)新算法、模型優(yōu)化測量,減少誤差;增設(shè)溫度控制、機械振動抑制功能,宛如為傳感器打造 “穩(wěn)定護盾”,確保在復(fù)雜實驗環(huán)境下結(jié)果穩(wěn)定可靠,至此,光譜共焦技術(shù)成為精密測量領(lǐng)域的關(guān)鍵力量。添加圖片注釋,不超過 140 字(可選)二、HCY 光譜共焦傳感器工作原理(一)核心原理闡釋HCY 光譜共焦傳感器的核心在于巧妙運用光學色散現(xiàn)象。當內(nèi)部的白光點光源發(fā)出光線后,光線會迅速射向精密的透鏡組。在這里,白光如同被解開了神秘面紗,依據(jù)不同波長被精準地色散開來,形成一道絢麗的 “彩虹光帶”。這些不同波長的光,各自沿著獨特的路徑前行,最終聚焦在不同的高度之上,構(gòu)建起一個精密的測量范圍 “標尺”。當光線抵達物體表面,會發(fā)生反射,其中特定波長的光...
  • 3
    2025 - 09 - 02
    泓川科技激光位移傳感器產(chǎn)品技術(shù)報告尊敬的客戶: 感謝您對泓川科技激光位移傳感器產(chǎn)品的關(guān)注與信任。為幫助您全面了解我司產(chǎn)品,現(xiàn)將激光位移傳感器相關(guān)技術(shù)信息從參數(shù)指標、設(shè)計原理、結(jié)構(gòu)設(shè)計等八大核心維度進行詳細說明,為您的選型、使用及維護提供專業(yè)參考。一、參數(shù)指標我司激光位移傳感器涵蓋 LTP400 系列與 LTP450 系列,各型號核心參數(shù)經(jīng)納米級高精度激光干涉儀標定驗證,確保數(shù)據(jù)精準可靠,具體參數(shù)如下表所示:表 1:LTP400EA參數(shù)表參數(shù)類別具體參數(shù)LTP400EA備注基礎(chǔ)測量參數(shù)測量中心距離400mm以量程中心位置計算(*1)量程200mm-重復(fù)精度(靜態(tài))3μm測量標準白色陶瓷樣件,50kHz 無平均,取 65536 組數(shù)據(jù)均方根偏差(*2)線性度±0.03%F.S.(F.S.=200mm)采用納米級激光干涉儀標定(*3)光源與光斑光源類型-激光功率可定制,部分型號提供 405nm 藍光版本(*4)光束直徑聚焦點光斑 Φ300μm中心位置直徑,兩端相對變大(*5)電氣參數(shù)電源電壓DC9-36V-功耗約 2.5W-短路保護反向連接保護、過電流保護-輸出與通信模擬量輸出(選配)電壓:0-5V/010V/-1010V;電流:420mA探頭可獨立提供電壓、電流與 RS485 輸出(*6)通訊接口RS485 串口、TCP/IP 網(wǎng)口可選配模擬電壓 / 電流輸出模塊(*7)響應(yīng)...
  • 4
    2023 - 10 - 20
    面對反射率不同的目標物時,激光位移傳感器需要調(diào)整以下方面以確保測量的穩(wěn)定性:根據(jù)目標物的反射率變化,調(diào)整接收光量。反射率較高的目標物可能導(dǎo)致光量飽和,而反射率較低的目標物可能無法獲得足夠的接收光量。因此,需要根據(jù)目標物的反射特性,適時調(diào)整激光位移傳感器的接收光量,以使其處于最佳工作狀態(tài)。使用光量控制范圍調(diào)整功能。這種功能可以預(yù)先決定接收光量的上限和下限,縮短獲取最佳光量的時間,從而可以更快地調(diào)整光量。針對反射率較高的目標物,需要減小激光功率和縮短發(fā)射時間,以避免光量飽和。而對于反射率較低的目標物,則應(yīng)增大激光功率和延長發(fā)射時間,以確保獲得足夠的接收光量。在調(diào)整過程中,需要注意測量反射率急劇變化位置的穩(wěn)定程度,以及使用光量調(diào)整功能以外功能時的穩(wěn)定程度。如果無法穩(wěn)定測量反射率不同的目標物,可能是由于目標物的反射光因顏色、反光、表面狀況(粗度、傾斜度)等因素而發(fā)生變化,導(dǎo)致感光元件(接收光波形)上形成的光點狀態(tài)也會隨之變化。這種情況下,需要通過反復(fù)試驗和調(diào)整,找到最佳的激光位移傳感器工作參數(shù)。總結(jié)來說,激光位移傳感器需要根據(jù)目標物的反射率變化,調(diào)整接收光量、激光發(fā)射時間、激光功率和增益等參數(shù),以確保測量的穩(wěn)定性和準確性。同時,需要注意目標物的反射特性及其變化情況,以便及時調(diào)整激光位移傳感器的參數(shù)。
  • 5
    2025 - 01 - 19
    一、引言1.1 研究背景與意義在科技飛速發(fā)展的當下,半導(dǎo)體和電子部件制造行業(yè)正經(jīng)歷著深刻的變革。隨著電子產(chǎn)品的功能不斷增強,尺寸卻日益縮小,對半導(dǎo)體和電子部件的性能、精度以及可靠性提出了極為嚴苛的要求。從智能手機、平板電腦到高性能計算機、物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備,無一不依賴于先進的半導(dǎo)體和電子部件技術(shù)。而這些部件的質(zhì)量與性能,在很大程度上取決于制造過程中的測量、檢測和品質(zhì)管理環(huán)節(jié)。光學測量技術(shù)作為一種先進的測量手段,憑借其高精度、非接觸、快速測量等諸多優(yōu)勢,在半導(dǎo)體和電子部件制造領(lǐng)域中發(fā)揮著愈發(fā)關(guān)鍵的作用。它能夠精確測量微小尺寸、復(fù)雜形狀以及表面形貌等參數(shù),為制造過程提供了不可或缺的數(shù)據(jù)支持。舉例來說,在半導(dǎo)體芯片制造中,芯片的線寬、間距等關(guān)鍵尺寸的精度要求已經(jīng)達到了納米級別,光學測量技術(shù)能夠準確測量這些尺寸,確保芯片的性能符合設(shè)計標準。再如,在電子部件的封裝過程中,光學測量可以檢測焊點的形狀、尺寸以及位置,保障封裝的可靠性。光學測量技術(shù)的應(yīng)用,不僅能夠有效提高產(chǎn)品的質(zhì)量和性能,還能顯著降低生產(chǎn)成本,增強企業(yè)在市場中的競爭力。通過實時監(jiān)測和精確控制制造過程,能夠及時發(fā)現(xiàn)并糾正生產(chǎn)中的偏差,減少廢品率和返工率,提高生產(chǎn)效率。因此,深入研究光學測量在半導(dǎo)體和電子部件制造中的典型應(yīng)用,對于推動行業(yè)的發(fā)展具有重要的現(xiàn)實意義。1.2 研究目的與方法本報告旨在深入剖析光學測量在半導(dǎo)體和電子部件制造測量、檢測...
  • 6
    2025 - 01 - 14
    一、引言1.1 激光位移傳感器概述激光位移傳感器,作為工業(yè)測量領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備,憑借其卓越的非接觸測量特性,正日益成為眾多行業(yè)實現(xiàn)高精度測量與自動化控制的核心技術(shù)。它主要利用激光的反射特性,通過精確測量反射光的相關(guān)參數(shù),實現(xiàn)對目標物體的位移、距離、厚度等幾何量的精準測定。這一技術(shù)的誕生,為現(xiàn)代制造業(yè)、科研實驗以及諸多工業(yè)生產(chǎn)過程,提供了高效、可靠且精準的測量手段。其工作原理基于激光三角測量法和激光回波分析法。激光三角測量法常用于高精度、短距離測量場景。在該方法中,激光位移傳感器發(fā)射出一束激光,射向被測物體表面,物體表面反射的激光經(jīng)由特定的光學系統(tǒng),被傳感器內(nèi)部的探測器接收。根據(jù)激光發(fā)射點、反射點以及探測器接收點之間所構(gòu)成的三角幾何關(guān)系,通過精密的計算,能夠精確得出物體與傳感器之間的距離 。激光回波分析法更適用于遠距離測量,傳感器以每秒發(fā)射大量激光脈沖的方式,向被測物體發(fā)送信號,隨后依據(jù)激光脈沖從發(fā)射到被接收的時間差,精確計算出物體與傳感器之間的距離。在工業(yè)測量領(lǐng)域,激光位移傳感器的重要地位不容小覷。在汽車制造行業(yè),它被廣泛應(yīng)用于車身零部件的尺寸檢測、裝配精度控制等環(huán)節(jié)。通過對汽車零部件的精確測量,能夠確保各個部件的尺寸符合設(shè)計要求,從而提升整車的裝配質(zhì)量和性能。在電子制造領(lǐng)域,激光位移傳感器可用于檢測芯片的尺寸、平整度以及電子元件的貼裝精度等。在芯片制造過程中,其微小的尺寸和極高的精...
  • 7
    2025 - 01 - 29
    五、光譜共焦傳感器測量厚度的局限性及解決措施5.1 局限性分析5.1.1 測量范圍限制光譜共焦傳感器的測量范圍相對有限,一般在幾毫米到幾十毫米之間。這是由于其測量原理基于色散物鏡對不同波長光的聚焦特性,測量范圍主要取決于色散物鏡的軸向色差范圍以及光譜儀的工作波段。在實際應(yīng)用中,對于一些大尺寸物體的厚度測量,如厚壁管材、大型板材等,可能需要多次測量拼接數(shù)據(jù),增加了測量的復(fù)雜性和誤差來源。例如,在測量厚度超過傳感器量程的大型金屬板材時,需要移動傳感器進行多次測量,然后將測量數(shù)據(jù)進行拼接處理,但在拼接過程中可能會因測量位置的定位誤差、測量角度的變化等因素導(dǎo)致測量結(jié)果的不準確。5.1.2 對被測物體表面狀態(tài)的要求雖然光譜共焦傳感器對多種材料具有良好的適用性,但被測物體表面的粗糙度、平整度等因素仍會對測量精度產(chǎn)生一定影響。當被測物體表面粗糙度較大時,表面的微觀起伏會導(dǎo)致反射光的散射和漫反射增強,使得反射光的強度分布不均勻,從而影響光譜儀對反射光波長的準確檢測,導(dǎo)致測量誤差增大。對于表面平整度較差的物體,如存在明顯翹曲或彎曲的板材,會使傳感器與物體表面的距離在不同位置發(fā)生變化,超出傳感器的測量精度范圍,進而影響厚度測量的準確性。例如,在測量表面粗糙的橡膠板材時,由于橡膠表面的微觀紋理和不規(guī)則性,測量精度會明顯下降,難以達到對光滑表面測量時的高精度水平。5.1.3 成本相對較高光譜共焦傳感器作為...
  • 8
    2023 - 02 - 26
    今天我為大家展示安全激光掃描儀產(chǎn)品,安全激光掃描儀適用于各種應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域,      在設(shè)備開發(fā)期間我們給予了特別關(guān)注,以確保它能夠在廣泛應(yīng)用中發(fā)揮最佳功能,尤其重視大型工作區(qū)域的防護,例如機床正面區(qū)域或機器人工作區(qū)域。      其他應(yīng)用包括移動車輛的防護,例如側(cè)向滑動裝置或移動運輸設(shè)備,無人駕駛運輸系統(tǒng)。甚至垂直安裝激光掃描儀的出入口保護系統(tǒng)。盡管我們在安全激光掃描與領(lǐng)域,已經(jīng)有數(shù)10年的經(jīng)驗了,但該應(yīng)用領(lǐng)域仍然面對許多挑戰(zhàn)。不過我們的激光安全掃描儀具有獨一無二的功能屬性,例如具有8.25米檢測距離和270度掃描范圍。       屬于目前市場上的高端設(shè)備,非常適合側(cè)向滑動裝置正面區(qū)域等大型區(qū)域或長距離的防護。該設(shè)備的另一個亮點就是能夠同時監(jiān)測兩個保護功能。這在許多應(yīng)用領(lǐng)域中,獨具優(yōu)勢以前需要使用兩個設(shè)備,如今只需要使用一臺這樣的安全激光掃描儀,即可完成兩臺設(shè)備的功能。               實踐中遇到的一項挑戰(zhàn)是設(shè)計一款異常強骨的激光安全掃描儀。能夠適應(yīng)周圍環(huán)境中可能存在的灰塵和顆粒等惡劣條件,因此我們提供了較分辨率達到0.1度的設(shè)備。它在目前市場上具有非常高的價值。   ...
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藍光光源激光位移傳感器:優(yōu)勢、原理與特殊場景解決方案 —— 泓川科技 LTP 系列 405nm 定制... 2025 - 10 - 21 在工業(yè)精密測量中,傳統(tǒng)紅光激光位移傳感器常受高反射、半透明、高溫紅熱等特殊場景限制,而藍光光源(405nm 波長)憑借獨特物理特性實現(xiàn)突破。以下通過 “一問一答” 形式,詳解藍光傳感器的優(yōu)勢、原理構(gòu)造,并結(jié)合泓川科技 LTP 系列定制方案,看其如何解決特殊環(huán)境測量難題。1. 藍光光源激光位移傳感器相比傳統(tǒng)紅光,核心優(yōu)勢是什么?藍光傳感器的核心優(yōu)勢源于 405nm 波長的物理特性,相比傳統(tǒng) 655nm 左右的紅光,主要體現(xiàn)在三方面:更高橫向分辨率:根據(jù)瑞利判據(jù),光學分辨率與波長成反比。藍光波長僅為紅光的 62%(405nm/655nm≈0.62),相同光學系統(tǒng)下橫向分辨率可提升約 38%,能形成更小光斑(如泓川 LTP025 藍光版光斑最小達 Φ18μm),適配芯片針腳、晶圓等微米級結(jié)構(gòu)測量。更強信號穩(wěn)定性:藍光單光子能量達 3.06eV,遠高于紅光的 2.05eV。在低反射率材料(如橡膠、有機涂層)表面,能激發(fā)出更強散射信號;同時穿透性更低,僅在材料表層作用,避免內(nèi)部折射干擾,適合表面精準測量。更優(yōu)抗干擾能力:藍光波段與紅熱輻射(500nm 以上)、戶外強光(可見光為主)重疊度低,搭配專用濾光片后,可有效隔絕高溫物體自發(fā)光、陽光直射等干擾,這是紅光難以實現(xiàn)的。2. 藍光激光位移傳感器的原理構(gòu)造是怎樣的?為何能實現(xiàn)高精度測量?藍光傳感器的高精度的核心是 “光學設(shè)計 + 信號處理 + ...
泓川科技國產(chǎn)系列光譜共焦/激光位移傳感器/白光干涉測厚產(chǎn)品性能一覽 2025 - 09 - 05 高精度測量傳感器全系列:賦能精密制造,適配多元檢測需求聚焦半導(dǎo)體、光學膜、機械加工等領(lǐng)域的精密檢測核心痛點,我們推出全系列高性能測量傳感器,覆蓋 “測厚、對焦、位移” 三大核心應(yīng)用場景,以 “高精準、高速度、高適配” 為設(shè)計核心,為您的工藝控制與質(zhì)量檢測提供可靠技術(shù)支撐。以下為各產(chǎn)品系列的詳細介紹:1.LTS-IR 紅外干涉測厚傳感器:半導(dǎo)體材料測厚專屬核心用途:專為硅、碳化硅、砷化鎵等半導(dǎo)體材料設(shè)計,精準實現(xiàn)晶圓等器件的厚度測量。性能優(yōu)點:精度卓越:±0.1μm 線性精度 + 2nm 重復(fù)精度,確保測量數(shù)據(jù)穩(wěn)定可靠;量程適配:覆蓋 10μm2mm 測厚范圍,滿足多數(shù)半導(dǎo)體材料檢測需求;高效高速:40kHz 采樣速度,快速捕捉厚度數(shù)據(jù),適配在線檢測節(jié)奏;靈活適配:寬范圍工作距離設(shè)計,可靈活匹配不同規(guī)格的檢測設(shè)備與場景。2. 分體式對焦傳感器:半導(dǎo)體 / 面板缺陷檢測的 “高速對焦助手”核心用途:針對半導(dǎo)體、面板領(lǐng)域的高精度缺陷檢測場景,提供高速實時對焦支持,尤其適配顯微對焦類檢測設(shè)備。性能優(yōu)點:對焦速度快:50kHz 高速對焦,同步匹配缺陷檢測的實時性需求;對焦精度高:0.5μm 對焦精度,保障缺陷成像清晰、檢測無偏差;設(shè)計靈活:分體式結(jié)構(gòu),可根據(jù)檢測設(shè)備的安裝空間與布局靈活調(diào)整,降低適配難度。3. LT-R 反射膜厚儀:極薄膜厚檢測的 “精密管家”核心用途:專注于極薄膜...
多方面研究泓川科技LTP系列大量程全國產(chǎn)激光位移傳感器 2025 - 09 - 02 泓川科技激光位移傳感器產(chǎn)品技術(shù)報告尊敬的客戶: 感謝您對泓川科技激光位移傳感器產(chǎn)品的關(guān)注與信任。為幫助您全面了解我司產(chǎn)品,現(xiàn)將激光位移傳感器相關(guān)技術(shù)信息從參數(shù)指標、設(shè)計原理、結(jié)構(gòu)設(shè)計等八大核心維度進行詳細說明,為您的選型、使用及維護提供專業(yè)參考。一、參數(shù)指標我司激光位移傳感器涵蓋 LTP400 系列與 LTP450 系列,各型號核心參數(shù)經(jīng)納米級高精度激光干涉儀標定驗證,確保數(shù)據(jù)精準可靠,具體參數(shù)如下表所示:表 1:LTP400EA參數(shù)表參數(shù)類別具體參數(shù)LTP400EA備注基礎(chǔ)測量參數(shù)測量中心距離400mm以量程中心位置計算(*1)量程200mm-重復(fù)精度(靜態(tài))3μm測量標準白色陶瓷樣件,50kHz 無平均,取 65536 組數(shù)據(jù)均方根偏差(*2)線性度±0.03%F.S.(F.S.=200mm)采用納米級激光干涉儀標定(*3)光源與光斑光源類型-激光功率可定制,部分型號提供 405nm 藍光版本(*4)光束直徑聚焦點光斑 Φ300μm中心位置直徑,兩端相對變大(*5)電氣參數(shù)電源電壓DC9-36V-功耗約 2.5W-短路保護反向連接保護、過電流保護-輸出與通信模擬量輸出(選配)電壓:0-5V/010V/-1010V;電流:420mA探頭可獨立提供電壓、電流與 RS485 輸出(*6)通訊接口RS485 串口、TCP/IP 網(wǎng)口可選配模擬電壓 / 電流輸出模塊(*7)響應(yīng)...
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