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高精度光譜共焦
產(chǎn)品名稱:
光譜共焦位移探頭LTC6000,測量范圍40±3mm,線性誤差1.2um
上市日期:
2022-10-22
參考距離:40mm
測量范圍:±3mm
光斑直徑:Φ22μm
測量角度:±14°
靜態(tài)噪聲*2:250nm
線性誤差:<±1.2μm
橫向分辨率:11μm
外徑*長度:φ30*71mm
重量:112g
最小可測厚度:5% of F.S.
溫度特征:<0.03% of F.S. /℃
防護等級:IP40
Detail
細節(jié)展示
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>高級光譜共焦位移傳感器LT-C系列--產(chǎn)品參數(shù)手冊下載
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1nm重復(fù)精度的白光干涉測厚儀LTS系列,可測厚度范圍1-100um
發(fā)布時間:
2023
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12
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09
10kHz的超快采樣速度LTS采用了高亮度的彩色光源、高效率的光學(xué)鏡組和高靈敏度的電子器件,能夠?qū)崿F(xiàn)行業(yè)領(lǐng)先的采樣 速度,從而幫助客戶提高測量效率和加快產(chǎn)線的節(jié)拍。+20nm的超高線性精度獨立設(shè)計的高空間分辨率的白光干涉光學(xué)探頭,能夠帶來極為出色的線性特性?;诟缮嬖淼臏y厚探頭,無原理層面引入的非線性因素,只需要考慮光譜分析過程中的非線性誤差。1nm的超高重復(fù)精度采用高靈敏度、高信噪比的元器件,同時在探頭中實現(xiàn)內(nèi)部信號數(shù)字化,大大減小了噪聲干擾。同時基于干涉的測厚方式能夠大大提高傳感器對外部擾動的抑制能力。
Details
帶可見紅色指引光的5Mhz高頻激光測振傳感器
發(fā)布時間:
2021
-
09
-
06
基于調(diào)頻連續(xù)波(FMCW)的相干接收原理,高精度的測距。實現(xiàn)微米級的遠距準確測距。通過集成光學(xué)原理實現(xiàn)超高精度的測量硅基光電集成技術(shù),一體化的光學(xué)封裝技術(shù),實現(xiàn)半導(dǎo)體激光器和探測器集成統(tǒng)一光學(xué)傳感模組。非凡的抗干擾性和穩(wěn)定性不受材質(zhì)顏色、環(huán)境光等干擾同軸測量無死角輕量、便攜無需控制器、放大器等,只一個傳感器即可測量。數(shù)字化 可與多個開放式現(xiàn)場網(wǎng)絡(luò)兼容。檢測不受限通過物體的表面反射或遮光量進行檢測,可檢測大多數(shù)物體(玻璃、金屬、塑料、木料及液體等)。長距離 高功率傳感器,輕松進行長距離檢測。非接觸采用激光非接觸測量方法,對被測設(shè)備無任何影響且不會產(chǎn)生接觸劃痕。壽命較長,無需進行維護。同軸回光 支持狹小空間間隙檢測。高精度 小光斑可精確檢測小微型物體。穩(wěn)定檢測 根據(jù)工件設(shè)置最優(yōu)的激光發(fā)射功率以及增益。
Details
光譜共焦位移傳感器/同軸光位移傳感器LT-C系列 可替代基恩士CL-3000系列
發(fā)布時間:
2021
-
08
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12
泓川科技LTC全系列光譜共焦傳感器,量程橫跨±0.05mm至±25mm,0.02%FS線性精度+30kHz超高速采樣,支持Φ1.7μmΦ400μm三級光斑配置。深孔內(nèi)壁(LTCR側(cè)向出光)、透明多層測厚(LTC7000S)、超高溫場景(200°C定制)全覆蓋,適配21kHz高速控制器(LT-CCH)及16通道同步系統(tǒng)。專為半導(dǎo)體晶圓、新能源極片、航空航天精密件、醫(yī)療植入物等高端制造領(lǐng)域提供國產(chǎn)高性價比替代方案,重新定義工業(yè)檢測新標準!
Details
高速高精度激光位移傳感器LTP系列 可替代keyence基恩士LK-G系列
發(fā)布時間:
2021
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04
-
20
高韌性線纜,配備至機器人時也可放心使用。完全符合 IP67 標準的連接器,在潮濕或粉塵較多的現(xiàn)場環(huán)境中也可放心使用,傳感頭也完全符合 IP67 標準。光量自動調(diào)節(jié)功能,有效提高光亮調(diào)整的靈敏度,自動根據(jù)不同被測物的反光度調(diào)節(jié)激光亮度范圍。定制物鏡可將不規(guī)則的光束消除,同時將畸變的影響降至最低,大幅提高測量系統(tǒng)的線性精度。
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中國 · 無錫 · 總部地址:無錫新吳區(qū)天山路6號
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1
如何在倉儲 物流 鋰電 煙草等行業(yè)實現(xiàn)自動化生產(chǎn)的安全防護?
2022
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12
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01
在煙草分級及倉儲環(huán)節(jié)中有大量的自動化設(shè)備,比如高速往復(fù)運動的穿梭車堆垛機等,如何建立完善的安全預(yù)防措施,保障作業(yè)人員的人身安全是企業(yè)在思考的方向,我們在煙草工業(yè)內(nèi)部系統(tǒng)里面已經(jīng)積累了眾多的成功案例,我們會通過機械安全控制以及電器這三個維度來幫助企業(yè)進行評估,具體的改造場景有,立庫輸送管道出入口防護百度極速可在經(jīng)過現(xiàn)場評估后我們會給客戶出具評估報告和推薦的安全整改。 機械設(shè)備,例如馬舵機,泄漏機纏繞機等在快消品行業(yè)是廣泛存在的,特別是碼作機器,經(jīng)常需要操作人員頻繁介入該區(qū)域應(yīng)用的工業(yè)機器人運行速度快存在著較高的安全隱患,在轉(zhuǎn)運站碼垛技術(shù)入口,經(jīng)常采用一套光幕和光電傳感器來實現(xiàn)屏蔽功能,從而實現(xiàn)人物分離,在這個應(yīng)用中,以物體在傳中帶上面時,車場光電傳感器,從而激活,屏蔽功能,當你為觸發(fā)屏蔽功能很簡單,有些操作人員會拿紙箱或者其他東西遮擋這個光電傳感器,從而很容易就操縱了這個屏蔽功能,存在著很大的安全隱患,針對這個問題,我們開發(fā)出創(chuàng)新高效的是入口防護替代方案,智能門控系統(tǒng),無錫屏蔽傳感器就和實現(xiàn)pp功能,這項專利技術(shù)是基于。 專利技術(shù)是激光幕,使出入口防務(wù)變得更加高效...
2
涂布行業(yè)目前主流的非接觸式測厚方案一覽
2023
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09
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11
非接觸測量涂布厚度的行業(yè)報告摘要:本報告將介紹非接觸測量涂布厚度的行業(yè)應(yīng)用場景及解決方案。涂布厚度的準確測量在多個行業(yè)中至關(guān)重要,如帶鋼、薄膜、造紙、無紡布、金屬箔材、玻璃和電池隔膜等行業(yè)。傳統(tǒng)的測量方法存在一定的局限性,而非接觸測量技術(shù)的應(yīng)用可以提供更準確、高效的測量解決方案。本報告將重點介紹X射線透射法、紅外吸收法和光學(xué)成像測量方法這三種主要的非接觸測量解決方案,并分析其適用場景、原理和優(yōu)勢。引言涂布厚度是涂覆工藝中的一個重要參數(shù),對于保證產(chǎn)品質(zhì)量和性能具有重要意義。傳統(tǒng)的測量方法,如接觸式測量和傳感器測量,存在一定局限性,如易受污染、操作復(fù)雜和不適用于特定行業(yè)。而非接觸測量方法以其高精度、實時性和便捷性成為行業(yè)中的理想選擇。行業(yè)應(yīng)用場景涂布厚度的非接觸測量方法適用于多個行業(yè),包括但不限于以下領(lǐng)域:帶鋼:用于熱鍍鋅、涂覆和鍍鋁等行業(yè),對涂層和薄膜的厚度進行測量。薄膜:用于光學(xué)、電子、半導(dǎo)體等行業(yè),對各種功能薄膜的厚度進行測量。造紙:用于測量紙張的涂布、涂膠和覆膜等工藝中的厚度。無紡布:用于紡織和過濾行業(yè),對無紡布的厚度進行測量。金屬箔材:用于食品包裝、電子器件等行業(yè),對箔材的厚度進行測量。玻璃:用于建筑和汽車行業(yè),對玻璃的涂層厚度進行測量。電池隔膜:用于電池制造行業(yè),對隔膜的厚度進行測量。解決方案一:X射線透射法X射線透射法是一種常用的非接觸涂布厚度測量方法,其測量原理基于射線...
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同軸測量利器:泓川科技國產(chǎn)LTPD08與基恩士LK-G08分體式激光位移傳感器性能全解析
2025
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03
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04
一、核心參數(shù)對比表參數(shù)項LK-G08(基恩士)LTPD08(泓川科技國產(chǎn))參考距離8 mm8 mm檢測范圍±0.8 mm±0.8 mm線性度±0.05% F.S.±0.03% F.S.重復(fù)精度0.02 μm0.03 μm采樣頻率20 μs1 ms(6檔可調(diào))6.25 μs1 ms(多檔可調(diào))激光類別1類(JIS C6802)2類(安全等級更高)光源功率0.3 mW0.5 mW(可定制更高功率)防護等級未標注IP67工作溫度+10+40°C0+50°C(可定制-4070°C)通訊接口未標注RS485、TCP/IP、開發(fā)包支持供電電壓-DC 936V(±10%波動兼容)重量245 g213 g二、性能差異深度解析1. 測量性能精度與速度: LK-G08在重復(fù)精度(0.02μm)上略優(yōu),適合超精密場景;而LTPD08的線性度(±0.03% F.S.)更優(yōu),且在采樣頻率上支持最高6.25μs(縮小量程時可達160kHz),動態(tài)響應(yīng)能力更強。激光適應(yīng)性: LTPD08提供405nm藍光版本可選,可應(yīng)對高反光或透明材質(zhì)測量,基恩士僅支持655nm紅光。2. 環(huán)境適應(yīng)性防護等級: LTPD08的IP67防護顯著優(yōu)于未標注防護的LK-G08,適...
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詳解激光三角位移傳感器的原理及市場應(yīng)用
2023
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09
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16
大家好,今天給大家詳細說明下目前我們市面上用的激光位移傳感器內(nèi)部構(gòu)造及詳細原理、應(yīng)用、市場種類、及未來發(fā)展,我在網(wǎng)上搜索了很多資料,發(fā)現(xiàn)各大平臺或者廠商提供的信息大多千篇一律或者式只言片語,要么是之說出大概原理,要買只講出產(chǎn)品應(yīng)用,對于真正想了解激光位移傳感器三角回差原理的朋友們來說總是沒有用辦法說透,我今天花點時間整理了各大平臺的大牛們的解釋,再結(jié)合自己對產(chǎn)品這么多年來的認識,整理出以下這篇文章,希望能給想要了解這種原理的小伙伴一點幫助!好了廢話不多說我們直接上干貨首先我們要說明市面上的激光測量位移或者距離的原理有很多,比如最常用的激光三角原理,TOF時間飛行原理,光譜共焦原理和相位干涉原理,我們今天給大家詳細介紹的是激光三角測量法和激光回波分析法,激光三角測量法一般適用于高精度、短距離的測量,而激光回波分析法則用于遠距離測量,下面分別介紹激光三角測量原理和激光回波分析原理。讓我們給大家分享一個激光位移傳感器原理圖,一般激光位移傳感器采用的基本原理是光學(xué)三角法:半導(dǎo)體激光器:半導(dǎo)體激光器①被鏡片②聚焦到被測物體⑥。反射光被鏡片③收集,投射到CMOS陣列④上;信號處理器⑤通過三角函數(shù)計算陣列④上的光點位置得到距物體的距離。一 、激光位移傳感器原理之激光三角測量法原理1.激光發(fā)射器通過鏡頭將可見紅色激光射向被測物體表面,經(jīng)物體反射的激光通過接收器鏡頭,被內(nèi)部的CCD線性相機接收,根據(jù)...
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白光干涉測厚傳感器在晶圓水膜厚度測量中的應(yīng)用及操作步驟詳解
2024
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01
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21
白光干涉測厚儀是一種非接觸式測量設(shè)備,廣泛應(yīng)用于測量晶圓上液體薄膜的厚度。其原理基于分光干涉原理,通過利用反射光的光程差來測量被測物的厚度。白光干涉測厚儀工作原理是將寬譜光(白光)投射到待測薄膜表面上,并分析返回光的光譜。被測物的上下表面各形成一個反射,兩個反射面之間的光程差會導(dǎo)致不同波長(顏色)的光互相增強或者抵消。通過詳細分析返回光的光譜,可以得到被測物的厚度信息。白光干涉測厚儀在晶圓水膜厚度測量中具有以下優(yōu)勢:1. 測量范圍廣:能夠測量幾微米到1mm左右范圍的厚度。2. 小光斑和高速測量:采用SLD(Superluminescent Diode)作為光源,具有小光斑和高速測量的特點,能夠?qū)崿F(xiàn)快速準確的測量。下面是使用白光干涉測厚儀測量晶圓上水膜厚度的詳細步驟:1. 準備工作:確保待測晶圓樣品表面清潔平整,無雜質(zhì)和氣泡。2. 參數(shù)設(shè)置:調(diào)整白光干測厚涉儀到合適的工作模式,并確定合適的測量參數(shù)和光學(xué)系統(tǒng)設(shè)置。根據(jù)具體要求選擇光譜范圍、采集速度等參數(shù)。3. 樣品放置:將待測晶圓放置在白光干涉測厚儀的測量臺上,并固定好位置,使其與光學(xué)系統(tǒng)保持穩(wěn)定的接觸。確保樣品與測量臺平行,并避免外界干擾因素。4. 啟動測量:啟動白光干涉測厚儀,開始測量水膜厚度。通過記錄和分析返回光的光譜,可以得到晶圓上水膜的厚度信息??梢酝ㄟ^軟件實時顯示和記錄數(shù)據(jù)。5. 連續(xù)監(jiān)測:對于需要連續(xù)監(jiān)測晶圓上水膜厚度變...
6
泓川科技LTC2600與基恩士CL-P015光譜共焦傳感器全方位對比及國產(chǎn)替代
2025
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03
-
22
一、核心性能參數(shù)對比:精度與場景適配性參數(shù)泓川科技LTC2600(標準版)泓川LTC2600H(定制版)基恩士CL-P015(標準版)參考距離15 mm15 mm15 mm測量范圍±1.3 mm±1.3 mm±1.3 mm光斑直徑9/18/144 μm(多模式)支持定制(最小φ5 μm)ø25 μm(單點式)重復(fù)精度50 nm50 nm100 nm線性誤差±0.49 μm(標準模式)分辨率0.03 μm0.03 μm0.25 μm(理論值)防護等級IP40IP67(定制)IP67耐溫范圍0°C ~ +50°C-20°C ~ +200°C(定制)0°C ~ +50°C真空支持不支持支持(10^-3 Pa,定制)支持(10^-6 Pa,標準版)重量228 g250 g(高溫版)180 g性能深度解析精度碾壓:LTC2600的重復(fù)精度(50 nm)顯著優(yōu)于CL-P015(100 nm),線性誤差(光斑靈活性:LTC2600支持多光斑模式(最小φ5 μm定制),可兼顧微小目標檢測與粗糙面穩(wěn)定性;CL-P015僅提供單點式光斑(ø25 μm),適用場景受限。環(huán)境適應(yīng)性:CL-P015標準版支持超高真空(10^-6 Pa),但C2600通過...
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一場關(guān)于基恩士光譜共焦傳感器:原理、特性與應(yīng)用的深度全面剖析好文(下)
2025
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01
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14
四、與其他品牌光譜共焦傳感器對比4.1 性能差異對比4.1.1 精度、穩(wěn)定性等核心指標對比在精度方面,基恩士光譜共焦傳感器展現(xiàn)出卓越的性能。以其超高精度型CL - L(P)015為例,直線性誤差可達±0.49µm,這一精度在眾多測量任務(wù)中都能實現(xiàn)極為精確的測量。相比之下,德國某知名品牌的同類型傳感器,其精度雖也能達到較高水平,但在一些對精度要求極高的應(yīng)用場景中,仍稍遜于基恩士。在測量高精度光學(xué)鏡片的曲率時,基恩士傳感器能夠更精確地測量出鏡片的微小曲率變化,確保鏡片的光學(xué)性能符合嚴格標準。在穩(wěn)定性上,基恩士光譜共焦傳感器同樣表現(xiàn)出色。其采用了先進的光學(xué)設(shè)計和穩(wěn)定的機械結(jié)構(gòu),能夠有效減少因環(huán)境因素和機械振動對測量結(jié)果的影響。即使在生產(chǎn)車間等振動較大的環(huán)境中,也能保持穩(wěn)定的測量輸出。而法國某品牌的傳感器,在穩(wěn)定性方面則存在一定的不足。在受到輕微振動時,測量結(jié)果可能會出現(xiàn)波動,影響測量的準確性和可靠性。在精密機械加工過程中,法國品牌的傳感器可能會因為機床的振動而導(dǎo)致測量數(shù)據(jù)不穩(wěn)定,需要頻繁進行校準和調(diào)整,而基恩士傳感器則能保持穩(wěn)定的測量,為生產(chǎn)過程提供可靠的數(shù)據(jù)支持。響應(yīng)速度也是衡量光譜共焦傳感器性能的重要指標。基恩士光譜共焦傳感器在這方面具備快速響應(yīng)的優(yōu)勢,能夠快速捕捉被測物體的位置變化。在對高速運動的物體進行測量時,能夠及時反饋物體的位置信息,確保測量的實時性。相比...
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一場穿越空間的光電舞蹈: TOF激光測距傳感器解碼記
2023
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09
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20
首先,讓我們對TOF進行一次短暫的“速讀”——它全稱叫'time-of-flight',中文怎么說呢?風(fēng)格灑脫地稱之為“飛行時間”。你沒聽錯,就是“飛行時間”。所有的顛覆與創(chuàng)新始于赤裸裸的想象,對吧?再來回過頭,看看我們的主角TOF激光測距傳感器。激光這東西,我想你肯定不陌生??苹么笃?,醫(yī)美廣告里都被頻繁提及。對這位明星,我們暫時按下暫停鍵, 我們聊一聊測距傳感器——那可是能把復(fù)雜的三維世界,硬是證明成一串串精準數(shù)據(jù)的硬核工具。當然,他倆的組合,并不是偶然撞壁造成的火花。在“鷹眼”TOF的身上,激光變得更加酷炫,傳感器技術(shù)也變得更為深邃。他們共舞的主線,就是光的飛行時間。想象一下,要在現(xiàn)實世界計算出光從物體發(fā)射出來,然后反射回傳感器的時間。你愣了一秒,覺得好像進入了'黑洞'的領(lǐng)域。實則不然,TOF激光測距傳感器就是這樣“耳提面命”。它以光速旅行者的姿態(tài),穿越空間,告訴我們物體與之間的距離。親,你有聽說過光速嗎?大約每秒走30萬公里哦,這個速度足夠你在一秒鐘內(nèi)去繞地球七點五圈了!TOF激光測距傳感器就是他們利用這么一個迅疾的光速,再加上高精度的時鐘,來高效精確地計算出飛行時間并轉(zhuǎn)化為距離數(shù)據(jù)。小編想說,TOF不僅玩科技,他更玩智謀,戰(zhàn)勝了同類的超聲波、紅外線等測距設(shè)備。畢竟,被物的顏色、亮度、表面材質(zhì),或者環(huán)境的溫濕度對他來說都不構(gòu)成鎖鏈。準確到“下毛...
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藍光光源激光位移傳感器:優(yōu)勢、原理與特殊場景解決方案 —— 泓川科技 LTP 系列 405nm 定制...
2025
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在工業(yè)精密測量中,傳統(tǒng)紅光激光位移傳感器常受高反射、半透明、高溫紅熱等特殊場景限制,而藍光光源(405nm 波長)憑借獨特物理特性實現(xiàn)突破。以下通過 “一問一答” 形式,詳解藍光傳感器的優(yōu)勢、原理構(gòu)造,并結(jié)合泓川科技 LTP 系列定制方案,看其如何解決特殊環(huán)境測量難題。1. 藍光光源激光位移傳感器相比傳統(tǒng)紅光,核心優(yōu)勢是什么?藍光傳感器的核心優(yōu)勢源于 405nm 波長的物理特性,相比傳統(tǒng) 655nm 左右的紅光,主要體現(xiàn)在三方面:更高橫向分辨率:根據(jù)瑞利判據(jù),光學(xué)分辨率與波長成反比。藍光波長僅為紅光的 62%(405nm/655nm≈0.62),相同光學(xué)系統(tǒng)下橫向分辨率可提升約 38%,能形成更小光斑(如泓川 LTP025 藍光版光斑最小達 Φ18μm),適配芯片針腳、晶圓等微米級結(jié)構(gòu)測量。更強信號穩(wěn)定性:藍光單光子能量達 3.06eV,遠高于紅光的 2.05eV。在低反射率材料(如橡膠、有機涂層)表面,能激發(fā)出更強散射信號;同時穿透性更低,僅在材料表層作用,避免內(nèi)部折射干擾,適合表面精準測量。更優(yōu)抗干擾能力:藍光波段與紅熱輻射(500nm 以上)、戶外強光(可見光為主)重疊度低,搭配專用濾光片后,可有效隔絕高溫物體自發(fā)光、陽光直射等干擾,這是紅光難以實現(xiàn)的。2. 藍光激光位移傳感器的原理構(gòu)造是怎樣的?為何能實現(xiàn)高精度測量?藍光傳感器的高精度的核心是 “光學(xué)設(shè)計 + 信號處理 + ...
泓川科技國產(chǎn)系列光譜共焦/激光位移傳感器/白光干涉測厚產(chǎn)品性能一覽
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高精度測量傳感器全系列:賦能精密制造,適配多元檢測需求聚焦半導(dǎo)體、光學(xué)膜、機械加工等領(lǐng)域的精密檢測核心痛點,我們推出全系列高性能測量傳感器,覆蓋 “測厚、對焦、位移” 三大核心應(yīng)用場景,以 “高精準、高速度、高適配” 為設(shè)計核心,為您的工藝控制與質(zhì)量檢測提供可靠技術(shù)支撐。以下為各產(chǎn)品系列的詳細介紹:1.LTS-IR 紅外干涉測厚傳感器:半導(dǎo)體材料測厚專屬核心用途:專為硅、碳化硅、砷化鎵等半導(dǎo)體材料設(shè)計,精準實現(xiàn)晶圓等器件的厚度測量。性能優(yōu)點:精度卓越:±0.1μm 線性精度 + 2nm 重復(fù)精度,確保測量數(shù)據(jù)穩(wěn)定可靠;量程適配:覆蓋 10μm2mm 測厚范圍,滿足多數(shù)半導(dǎo)體材料檢測需求;高效高速:40kHz 采樣速度,快速捕捉厚度數(shù)據(jù),適配在線檢測節(jié)奏;靈活適配:寬范圍工作距離設(shè)計,可靈活匹配不同規(guī)格的檢測設(shè)備與場景。2. 分體式對焦傳感器:半導(dǎo)體 / 面板缺陷檢測的 “高速對焦助手”核心用途:針對半導(dǎo)體、面板領(lǐng)域的高精度缺陷檢測場景,提供高速實時對焦支持,尤其適配顯微對焦類檢測設(shè)備。性能優(yōu)點:對焦速度快:50kHz 高速對焦,同步匹配缺陷檢測的實時性需求;對焦精度高:0.5μm 對焦精度,保障缺陷成像清晰、檢測無偏差;設(shè)計靈活:分體式結(jié)構(gòu),可根據(jù)檢測設(shè)備的安裝空間與布局靈活調(diào)整,降低適配難度。3. LT-R 反射膜厚儀:極薄膜厚檢測的 “精密管家”核心用途:專注于極薄膜...
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泓川科技激光位移傳感器產(chǎn)品技術(shù)報告尊敬的客戶: 感謝您對泓川科技激光位移傳感器產(chǎn)品的關(guān)注與信任。為幫助您全面了解我司產(chǎn)品,現(xiàn)將激光位移傳感器相關(guān)技術(shù)信息從參數(shù)指標、設(shè)計原理、結(jié)構(gòu)設(shè)計等八大核心維度進行詳細說明,為您的選型、使用及維護提供專業(yè)參考。一、參數(shù)指標我司激光位移傳感器涵蓋 LTP400 系列與 LTP450 系列,各型號核心參數(shù)經(jīng)納米級高精度激光干涉儀標定驗證,確保數(shù)據(jù)精準可靠,具體參數(shù)如下表所示:表 1:LTP400EA參數(shù)表參數(shù)類別具體參數(shù)LTP400EA備注基礎(chǔ)測量參數(shù)測量中心距離400mm以量程中心位置計算(*1)量程200mm-重復(fù)精度(靜態(tài))3μm測量標準白色陶瓷樣件,50kHz 無平均,取 65536 組數(shù)據(jù)均方根偏差(*2)線性度±0.03%F.S.(F.S.=200mm)采用納米級激光干涉儀標定(*3)光源與光斑光源類型-激光功率可定制,部分型號提供 405nm 藍光版本(*4)光束直徑聚焦點光斑 Φ300μm中心位置直徑,兩端相對變大(*5)電氣參數(shù)電源電壓DC9-36V-功耗約 2.5W-短路保護反向連接保護、過電流保護-輸出與通信模擬量輸出(選配)電壓:0-5V/010V/-1010V;電流:420mA探頭可獨立提供電壓、電流與 RS485 輸出(*6)通訊接口RS485 串口、TCP/IP 網(wǎng)口可選配模擬電壓 / 電流輸出模塊(*7)響應(yīng)...
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