產(chǎn)品名稱：
光譜干涉_白光干涉_膜厚測(cè)量_納米膜厚測(cè)量 白光干涉測(cè)厚傳感器LT-ITS系列
上市日期：
2023-02-10
? ? ? ?光譜干涉測(cè)量傳感器基于薄膜干涉原理，薄膜可以是透明固體、液體或由兩塊玻璃所夾的氣體薄層。入射光經(jīng)薄膜上表面反射后得第一束光，折射光經(jīng)薄膜下表面反射，又經(jīng)上表面折射后得第二束光，這兩束光在薄膜的同側(cè)，由同一入射光振動(dòng)分出，是相干光，屬分振幅干涉。當(dāng)由一組波長(zhǎng)組成的白光入射到薄膜上時(shí)，某些波長(zhǎng)的光被增強(qiáng)，而某些波長(zhǎng)的光則被減弱。通過(guò)對(duì)混合的兩個(gè)波前產(chǎn)生的光干涉條紋進(jìn)行光譜分光，測(cè)算干涉信號(hào)的頻率光譜，計(jì)算解析出被測(cè)樣品的厚度（或?qū)娱g隙）。