量程:1500μm(F.S.)
檢測范圍:±750μm(以量程中心位置為基準)
測量中心距離:1.7mm(以量程中心計算)
靜態(tài)重復精度:0.1μm(測試條件:標準鍍銀膜反射鏡,1kHz 采樣率,無平均,連續(xù)采集 10000 組數(shù)據(jù)的均方根偏差)
線性誤差:<±0.75μm(采用納米級激光干涉儀標定驗證)
溫度漂移:<0.03% F.S/°C
測量角度范圍:±12°(標準平面反射鏡,1kHz 采樣率下傾斜測試)
工作溫度:0°C~+50°C(不可結露、結冰),保存溫度:-20°C~+70°C(可訂制 200°C 高溫版)
防護等級:IP40
材質:外殼為壓鑄鋁
尺寸:外徑 φ3.8mm× 長度 85mm
重量:23g(含跳線)
連接方式:FC/PC 接口光纖
1